下载一种掩膜版生产设备及其生产工艺的技术资料

文档序号:40959110

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本发明属于研磨板生产设备技术领域,尤其涉及一种掩膜版生产设备,包括:工作箱,驱动电机,分别间隔于工作箱一端壁的两侧,输出端均贯穿至工作箱内;丝锥杆,分别一端与驱动电机的输出端连接,另一端分别与工作箱背离驱动电机一侧的内壁转动连接;吸附装置,...
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