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本发明涉及类金刚石膜制备技术领域，具体公开了一种类金刚石膜的制备方法与设备，包括：机箱、机壳、转架台、支架和工件，机箱的顶部架设有机壳，且机壳内部的下端活动连接有转架台，转架台的顶部活动连接有支架，且支架的外部套设有工件；支撑机构，支撑机构...
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