涂敷方法及涂敷装置制造方法及图纸

一种涂敷方法，该方法通过使保持有基板的卡盘部旋转，而将液体材料扩散涂覆于所述基板的表面，其特征在于，包括：对位于基板载置位置的所述卡盘部载置基板的载置工序；将载置有所述基板的所述卡盘部从所述基板载置位置向进行旋转动作的旋转位置移动的移动工序；在所述旋转位置使所述卡盘部进行旋转的旋转工序，在所述载置工序和所述移动工序之间包括向载置于所述卡盘部的所述基板的表面滴下所述液体材料的滴下工序。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种能够缩短节拍且能够既经济又稳定地在基板上涂敷液体材料的涂敷方法及涂敷装置。本专利技术涉及通过使保持有基板的卡盘部旋转，将液体材料扩散涂覆于基板表面的涂敷方法。所述涂敷方法包括：对位于基板载置位置的卡盘部载置基板的载置工序(S1)、将载置有基板的卡盘部从基板载置位置移动到进行旋转动作的旋转位置的移动工序(S3)、在旋转位置使卡盘部旋转的旋转工序(S4)。在载置工序(S1)和移动工序(S3)之间具有向载置于卡盘部的基板的表面滴下所述液体材料的滴下工序(S2)。【专利说明】涂敷方法及涂敷装置本申请是申请日为2011年7月27日、申请号为201110212716.4、专利技术名称为“涂敷方法及涂敷装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及涂敷方法及涂敷装置。本申请基于2010年7月29日在日本申请的特愿2010-170475号及2010年7月29日在日本申请的特愿2010-170476号主张优先权，在此引用其内容。
技术介绍
近年来，太阳能电池在各种用途上备受关注。在太阳能电池用基板的制造工序中，包括在半导体基板的表面涂敷扩散材料的工序。在这种太阳能电池用涂敷装置上正在要求经济且高速节拍的装置。但是，一直以来，在制造IC等半导体装置时，作为使晶片及保持晶片的卡盘部旋转，用离心力在其表面涂敷抗蚀剂的涂敷装置，已知有旋涂机(例如，参照专利文献I)。因此，作为用于在太阳能电池用基板上涂敷扩散材料的装置，考虑使用上述的旋涂机。专利文献I日本特开平06-20935号公报但是，例如，当将旋涂机直接应用于扩散材料的涂敷时，需要耗费处理时间，不能经济地制造太阳能电池用基板，具有实用性低这种问题。另外，由于太阳能电池用基板比晶片还薄，因此例如当将上述旋涂机直接应用于扩散材料的涂敷时，保持于卡盘部的太阳能电池用基板就会向下垂，由此具有缺乏稳定性这种问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种课题而开发的，其目的在于，提供一种能够缩短节拍且能够既经济又稳定地在基板上涂敷液体材料的涂敷方法及涂敷装置，且提供一种能够对太阳能电池用基板那样薄的方形基板良好地涂敷扩散材料的涂敷装置。为了实现上述目的，本专利技术第一方式(aspect)提供一种涂敷方法，该方法通过使保持有基板的卡盘部旋转，而将液体材料扩散涂覆于所述基板的表面，其特征在于，包括:对位于基板载置位置的所述卡盘部载置基板的载置工序；将载置有所述基板的所述卡盘部从所述基板载置位置向进行旋转动作的旋转位置移动的移动工序；在所述旋转位置使所述卡盘部进行旋转的旋转工序，在所述载置工序和所述移动工序之间包括向载置于所述卡盘部的所述基板的表面滴下所述液体材料的滴下工序。根据本专利技术第一方式的涂敷方法，在载置工序和移动工序之间，向载置于卡盘部的基板的表面滴下液体材料，因此能够实现涂敷工序的节拍的缩短。另外，在本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，在所述滴下工序中，以使所述卡盘部进行旋转的状态进行。根据该结构，能够预先在基板的表面扩散涂覆液体材料，能够实现节拍缩短。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，所述滴下工序中的所述卡盘部的转速设定为比所述旋转工序的所述卡盘部的转速低。根据该结构，能够在不从基板溢出的范围内良好地扩散涂覆液体材料。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，所述滴下工序中的所述卡盘部的转速设定为50rpm以下。根据该结构，能够以不从基板溢出的方式扩散涂覆液体材料，因此能够缩短将液体材料甩开的旋转工序的时间。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，在所述旋转工序中，所述卡盘部在防止所述液体材料飞散的防飞散用杯内进行旋转。根据该结构，在旋转工序时，能够可靠地防止液体材料向周围飞散。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，所述旋转工序中的所述卡盘部的旋转动作为4000rpm以上的转数，且在5秒以内进行。根据该结构，能够将液体材料遍及基板的整个面而可靠地扩散涂覆。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，使向所述基板滴下所述液体材料的喷嘴相对于所述卡盘部进退。根据该结构，由于采用了喷嘴相对于卡盘部进退的结构，因此喷嘴不会妨碍基板向卡盘部的搬入工序。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，所述喷嘴的进退方向与所述基板相对于所述卡盘部的搬入方向平行。根据该结构，能够缩短喷嘴的移动距离，能够实现涂敷工序整体的节拍的缩短。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，在将所述基板向所述卡盘部载置的时刻的同时，使所述喷嘴与所述基板对置。根据该结构，由于在基板向卡盘部载置的时刻的同时，喷嘴与基板对置，因此消除了喷嘴移动到卡盘部时的等待时间。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，在所述旋转工序中，进行对所述基板的背面加以清洗的背面冲洗处理。根据该结构，通过在旋转工序时的同时进行背面冲洗处理，从而能够防止液体材料向背面侧蔓延。因此，与在旋转工序之后另外进行背面冲洗的情况相比，能够实现节拍缩短。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，作为所述液体材料，使用粘度在20cp以上的材料。根据该结构，由于使用粘度在20cp以上的液体材料，因此在旋转工序中能够防止液体材料向基板的背面侧蔓延。因此，能够省略对基板的背面进行清洗的背面冲洗处理，能够实现节拍的缩短。另外，本专利技术第一方式的涂敷装置中，优选的是，所述基板为太阳能电池用基板。如果采用本专利技术，则使用旋转涂敷就能够在太阳能电池用基板上涂敷例如扩散材料，因此能够经济地提供太阳能电池用基板。本专利技术第一方式提供一种涂敷装置，其通过使基板旋转，而在所述基板的表面扩散涂覆液体材料，其特征在于，具备:喷嘴，其向所述基板滴下所述液体材料；卡盘部，其在保持有所述基板的状态下可旋转，并在载置所述基板的基板载置位置和进行所述旋转的旋转位置之间进行升降动作；控制部，其控制所述喷嘴，以使该喷嘴在所述卡盘部开始向所述旋转位置移动之前的时刻，向载置在位于所述基板载置位置的所述卡盘部上的所述基板的表面滴下所述液体材料。根据本专利技术第一方式的涂敷装置，由于在卡盘部开始向旋转位置移动之前的时亥IJ，向载置于卡盘部的基板的表面滴下液体材料，因此能够提供一种能够缩短节拍且能够进行既经济又稳定的液体材料的涂敷的装置。本专利技术第二方式提供一种涂敷装置，具备:在吸附保持有平面形状为方形的基板的状态下可旋转的卡盘部；对旋转状态的所述基板的表面滴下扩散材料的滴下喷嘴；向所述基板的背面侧供给清洗液的清洗喷嘴，其特征在于，所述卡盘部在俯视的状态下形成为圆形状，且具有所述基板的短边长度的40?70%的直径。根据本专利技术第二方式的涂敷装置，由于卡盘部具有基板的短边长度的40?70%的直径，因此即使是例如平面形状为方形且厚度薄的基板，卡盘部也能够良好保持。因此，能够在卡盘部保持的基板上良好地涂敷扩散材料。另外，本专利技术第二方式的涂敷装置中，优选的是，所述清洗喷嘴在俯视的状态下，相对于所述卡盘部为同心状，且配置在所述卡盘部的外缘和所述基板的外缘之间的大致中央。根据该结构，由于在卡盘部的外缘和基板的外缘之间的大致中央配置清洗喷嘴，因此能够向相对于基板的背面的卡盘部的外缘成大致同心圆状的位置供给清洗液。另外，本专利技术第二方式的涂敷装置中，优选的是，所述清洗喷嘴配置在距所述基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷方法，该方法通过使保持有基板的卡盘部旋转，而将液体材料扩散涂覆于所述基板的表面，其特征在于，包括：对位于基板载置位置的所述卡盘部载置基板的载置工序；将载置有所述基板的所述卡盘部从所述基板载置位置向进行旋转动作的旋转位置移动的移动工序；在所述旋转位置使所述卡盘部进行旋转的旋转工序，在所述载置工序和所述移动工序之间包括向载置于所述卡盘部的所述基板的表面滴下所述液体材料的滴下工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大石诚士，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：