【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，包括罐体和过滤装置，靠近第二穿孔的罐体内侧壁上设有锥形结构的分离腔室，分离腔室的上环形开设有至少一个与罐体内腔相连通的进气孔，靠近第二穿孔的罐体外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管，第一穿孔上穿置有用于连通真空泵的清洁气体管，清洁气体管的另一端与分离腔室的前端部相连通，废气出口管通过第二穿孔与分离腔室相连通，过滤装置包括设在废气出口管外部的电动机和连接在电动机输出轴上的分离叶轮，分离叶轮设在分离腔室内。所述的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，采用离心叶轮将带有氧化物的废气进行高速旋转分离，分离后干净气体通过真空泵抽入，过滤效果好。【专利说明】一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器
本技术涉及晶体生长炉，尤其是一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器。
技术介绍
在传统的晶体生长炉中，利用过滤器对氧化物粉尘进行过滤，目前使用的过滤器采用过滤网，由于过滤网容易堵，而且过滤不干净，氧化物容易进入真空栗造成真空栗润滑油污染，从而造成真空栗易磨损抽真空效率下降。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了...
【技术保护点】
一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，其特征是：包括用于盛装氧化物粉尘的罐体（1）和过滤装置，所述的罐体（1）侧壁上横向开设有第一穿孔和与第一穿孔相对的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐体（1）内侧壁上设有锥形结构的分离腔室（2），分离腔室（2）的上环形开设有至少一个与罐体（1）内腔相连通的进气孔（3），靠近第二穿孔的罐体（1）外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管（4），第一穿孔上穿置有用于连通真空泵的清洁气体管（5），清洁气体管（5）的另一端与分离腔室（2）的前端部相连通，废气出口管（4）通过第二穿孔与分离腔室（2）相连通，所述的过滤装置包括设在废气出口管（4）外部的电动机（6...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋国庆，
申请(专利权)人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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