下载一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器的技术资料

文档序号:10079320

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本实用新型涉及一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器,包括罐体和过滤装置,靠近第二穿孔的罐体内侧壁上设有锥形结构的分离腔室,分离腔室的上环形开设有至少一个与罐体内腔相连通的进气孔,靠近第二穿孔的罐体外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管,第一...
该专利属于江苏华盛天龙光电设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华盛天龙光电设备股份有限公司授权不得商用。

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