【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种放射线检测面板的制造装置,其特征在于,具备:蒸发源,该蒸发源使闪烁材料蒸发并向正上方辐射该闪烁材料;以及保持机构,该保持机构位于所述蒸发源的正上方侧,将光电转换基板保持成所述光电转换基板的蒸镀面露出至所述蒸发源且相对于垂直轴倾斜的状态。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:千代间仁,吉田笃也,松山涉,山本丰雄,会田博之,榛叶勇一,
申请(专利权)人:株式会社东芝,东芝电子管器件株式会社,
类型:
国别省市:
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