一种真空隔离安全阀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了离子注入机系统中一种真空隔离安全阀装置，这种装置是真空泵一旦失电失去抽力能够隔离真空，起到保护真空系统和真空泵的作用。本装置包括：标准的法兰(1)、电磁阀(2)、活塞(3)、小孔(4)、弹簧(5)。说明书对该装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。本发明专利技术涉及离子注入机真空保护装置，隶属于半导体制造领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造装备离子注入机，离子注入机工作的基本条件是其真空状态，保证真空安全是设备重要的要求之一。技术背景离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，对晶片进行掺杂就要有离子束的产生，而离子束的产生，包括晶片的传输和晶片的掺杂都是在真空条件下进行的。随着对半导体制造设备的性能要求也就越来越高，对真空的安全也要求越来越高，一方面要对真空泵提高要求，而另一方面对真空阀门也提出了更高的要求。真空阀门安全对离子注入机是至关重要的，采用新的设计预防阀门控制失效对真空计设备的损坏。
技术实现思路
本专利技术公开了离子注入机系统中一种真空隔离安全阀装置。本专利技术通过以下方案实现：1.一种真空隔离安全阀装置，包括：标准法兰(1)电磁阀(2)、活塞(3)、小孔(4)、弹簧(5)。2.如权利要求1中所述的真空隔离安全阀装置，其特征在于电磁阀(2)开关控制大气与真空之间的隔离。3.如权利要求1中所述的真空隔离安全阀装置，其特征在于活塞(3)的运<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空隔离安全阀装置，包括：标准法兰(1)、电磁阀(2)、活塞
(3)、小孔(4)、弹簧(5)。
2.如权利要求1中所述的真空隔离安全阀装置，其特征在于电磁阀(2)
开关控制大气与活塞(3)上部真空之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡东京，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：