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本发明公开了离子注入机系统中一种真空隔离安全阀装置，这种装置是真空泵一旦失电失去抽力能够隔离真空，起到保护真空系统和真空泵的作用。本装置包括：标准的法兰(1)、电磁阀(2)、活塞(3)、小孔(4)、弹簧(5)。说明书对该装置工作原理进行了详...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了离子注入机系统中一种真空隔离安全阀装置，这种装置是真空泵一旦失电失去抽力能够隔离真空，起到保护真空系统和真空泵的作用。本装置包括：标准的法兰(1)、电磁阀(2)、活塞(3)、小孔(4)、弹簧(5)。说明书对该装置工作原理进行了详...