【技术实现步骤摘要】
一种超声波雾化等离子体处理装置
本专利技术属于等离子体处理装置,具体涉及一种超声波雾化等离子体处理装置。
技术介绍
材料表面改性处理技术是当前普遍使用的材料制备技术之一,它是在一定的外界条件下,材料外部物质和材料表面发生物理或化学反应,从而使材料表面状态发生变化或在材料表面产生新的元素和新的基团,最终满足实际应用的需要。但是,现代工业的迅猛发展对材料耐磨擦、磨损和抗腐蚀等性能提出了更高的要求,与此同时,对环保的要求也越来越高,从而有力地推动被称为绿色生产工艺的材料等离子表面改性技术的不断发展。在真空下,给反应气体环境施加高频电场,气体在高频电场的激励下电离产生等离子体。但是由于等离子体处理材料时会有处理不均匀的隐患,因此亟需一种既能雾化又能放电产生等离子体形成雾化的等离子体装置。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题,提供一种超声波雾化等离子体处理装置。本专利技术所采用的技术方案是:一种超声波雾化等离子体处理装置,包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座,上述超声波换能器上开设有通气孔,上述超声波换能器中还开设有注液孔,上述超声波喷嘴与上述超声波换能器连接设置,上述超声波换能器与上述超声波喷嘴设置于上述电极座上,上述超声波换能器连接高频电源正极,上述电极座接地,上述超声波换能器及上述超声波喷嘴与上述电极座之间设有绝缘层。优选的,上述注液孔通过通液管道连接设有注射泵。优选的,上述通气孔连接通气管道。优选的,上述通气管道上还设有流量调节阀。优选的,上述高频电源的频率范围为10Khz—100Khz。采用本技术方案的有益效果是:本专利技术将超声波换能器作 ...
【技术保护点】
一种超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座,所述超声波换能器上开设有通气孔,所述超声波换能器中还开设有注液孔,所述超声波喷嘴与所述超声波换能器连接设置,所述超声波换能器与所述超声波喷嘴设置于所述电极座上,所述超声波换能器连接高频电源正极,所述电极座接地,所述超声波换能器及所述超声波喷嘴与所述电极座之间设有绝缘层。
【技术特征摘要】
1.一种超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座,所述超声波换能器上开设有通气孔,所述超声波换能器中还开设有注液孔,所述超声波喷嘴与所述超声波换能器连接设置,所述超声波换能器与所述超声波喷嘴设置于所述电极座上,所述超声波换能器连接高频电源正极,所述电极座接地,所述超声波换能器及所述超声波喷嘴与所述电极座之间设有绝缘层。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:王红卫,沈文凯,
申请(专利权)人:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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