一种线性等离子体处理喷枪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种线性等离子体处理喷枪，所述线性等离子体处理喷枪包括结构单元、枪体单元及电极单元，所述结构单元的结构形式是带外壳的枪座，所述枪体单元的结构形式是带喷嘴的密封腔体，所述电极单元采用外部带有绝缘装置的圆锥形结构。本实用新型专利技术的装置根据所需处理产品幅宽的不同更换与处理幅宽相匹配的喷嘴，在低压状态下，所述电极单元与密封腔体之间的工作气体发生稳定辉光放电形成反应气，反应气穿过喷嘴内部的气道形成旋转气流，完成对目标产品的线性等离子体处理。本实用新型专利技术的装置利用喷嘴结构的特殊性改变反应气的喷射方式，使得本装置既能提高喷射出的等离子体的均匀性，又能扩大处理宽度。

【技术实现步骤摘要】
一种线性等离子体处理喷枪
本技术涉及等离子体处理的
，具体地说是一种线性等离子体处理喷枪。
技术介绍
随着高性能结构材料技术和先进材料加工技术的快速发展，人们对材料的韧性、刚性、环保性、循环利用性以及使用寿命等提出了更高的要求。因此，通过对材料表面处理来改变材料表面的形态、化学成分、组织结构等性质以提高材料各方面性能的技术在近年来得到了迅速发展。在物理处理、化学处理和机械处理等众多表面处理方法中，等离子体表面处理技术因其清洁高效、能耗低、无废弃物等优点而快速发展。目前，针对不同的产业应用，不同条件下的等离子体处理技术已经出现明显分工，需要连续处理的大面积天然或合成材料一般采用常压等离子体进行处理，半导体、生物医用材料等一般采用低压等离子体进行处理。现有技术中的直喷等离子体线性处理装置，采用具有点喷或旋喷功能的喷嘴，处理装置中的电极通过高频电缆与高频高压电源连接，以实现在低压条件下的稳定辉光放电，从而产生等离子体对目标产品进行处理。中国专利(CN201821550287.5)公开了一种直喷型大气低温等离子处理机，包括处理喷枪，处理喷枪包括喷枪喷嘴、外壳、电极、旋转气流轮、固定支架、固定端子、等离子电源、气源，气体通过旋转气流轮产生旋转气流，将电极上的等离子更加有效地喷射出去，减少了等离子体的流失，提高了效率。该技术可根据处理试件的外形尺寸及处理效果要求，灵活调整装置尺寸及处理工艺，且在常压空气中处理，处理成本低廉、效率高。但是该种装置采用的喷枪喷嘴为单孔结构，以点喷的处理方式对目标产品进行等离子体处理，这种处理方式的处理面积小，且均匀性有限。因此，如何提供一种直喷等离子体处理装置，在现有的直喷等离子体处理装置的基础上，通过改变喷枪喷嘴的结构形式，实现线性等离子体处理目标产品时处理效果均匀、处理宽度增大的技术效果，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种线性等离子体处理喷枪，采用直喷线性处理的方式，喷嘴内的流道设计为多喷口，通过将各喷口调整为不同方向制造旋转气流，以实现提高喷射等离子体的均匀性，扩大处理宽度的技术效果。为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案。一种线性等离子体处理喷枪，包括结构单元、枪体单元及电极单元，所述结构单元的结构形式是带外壳的枪座，用于承载枪体单元和放置高频电缆、工作气体传输管道，所述枪体单元的结构形式是带喷嘴的密封腔体，用于承载电极单元并作为线性等离子体处理喷枪的负极，所述电极单元外部带有绝缘装置，电极单元与高频高压电源连接，作为线性等离子体处理喷枪的正极；所述喷嘴采用组合结构形式，前端为内部设置有气道的结构，所述气道的进气口为一个，气道出口为若干个，后端为圆柱形套筒的结构形式，位于喷嘴中央的气道出口的方向为正前方，远离喷嘴中央的气道出口的方向朝喷嘴中央倾斜，且与喷嘴中央距离越远倾斜程度越大，倾斜程度根据每个气道出口的等离子体处理宽度进行调整，相邻两个气道出口的等离子体处理区域边缘相互重叠，确保等离子体处理的均匀性；所述结构单元，其包括枪座和外壳，所述外壳包括枪座盖和薄板，所述枪座设置于线性等离子体处理喷枪后端，所述枪座盖设置于所述枪座上方，枪座盖与枪座连接，所述薄板设置于所述枪座后方，薄板与枪座连接；所述枪体单元，其包括密封腔体、喷嘴，所述密封腔体包括枪体尾端、枪体外壳，所述枪体尾端设置于枪座上方，枪体尾端与枪座连接，所述枪体外壳设置于枪体尾端前方，枪体外壳与枪体尾端连接，所述喷嘴设置于所述枪体外壳前方，喷嘴与枪体外壳连接；所述电极单元，其包括绝缘套、电极座、电极、电极引线，所述绝缘套设置于枪体外壳内部，绝缘套与枪体尾端连接，所述电极座设置于枪体外壳内部，电极座与绝缘套连接，所述电极引线设置于所述电极座后方，所述电极设置于所述电极座前方，所述电极、电极座、电极引线三者连接；优选地，所述枪座的两侧和后方都设置有螺纹孔，所述枪座的上表面设置有贯穿螺纹孔，所述枪座盖与枪座连接，所述薄板与枪座连接。优选地，所述枪体尾端设置有螺纹孔，所述螺纹孔为竖直方向贯穿螺纹孔，所述枪体尾端与枪座连接，所述枪体外壳后端的内径与所述枪体尾端前端的外径相适配，所述枪体外壳与枪体尾端连接，所述喷嘴后端的外径与所述枪体外壳前端的内径相适配，喷嘴与枪体外壳连接；进一步的，所述线性等离子体处理喷枪采用增设喷嘴配装块体的方式为喷嘴增加配重，确保喷枪使用时的平衡性，所述喷嘴配装块体设置于所述气道出口外部，其数量与所述气道出口相同；优选地，所述绝缘套的外径与所述枪体尾端前端的内径相适配，绝缘套与枪体尾端连接，所述电极座采用中间开孔的圆盘结构，电极座四周设置有若干通孔，所述通孔间隔距离相等，沿所述电极座周向倾斜设置，所述电极座的外径与绝缘套的内径相适配，电极座与绝缘套连接，所述电极引线前端的形状与所述电极座中间开孔的形状相适配，电极引线的前端从电极座内部穿过，所述电极上设置有螺纹孔；进一步的，所述电极、电极座、电极引线三者连接，电极引线的前端从电极座中间穿过，利用电极引线后端将所述电极座与电极压紧，小螺丝从设置于电极上的螺纹孔内穿过，小螺丝前端抵在电极引线的前端，将电极、电极座、电极引线定位锁止。本申请的优点和效果如下：(1)在本技术披露的线性等离子体处理喷枪中，利用喷嘴转换气体喷射形式，喷嘴内的气道设计为多喷口，通过将各喷口调整为不同方向制造旋转气流，大大提高了等离子体喷射的均匀性和幅宽，等离子体处理幅宽最大可以达到50mm。(2)在本技术披露的线性等离子体处理喷枪中，所述喷嘴与枪体外壳采用机械连接的形式，安装拆卸非常便捷，方便操作人员根据所需处理产品的不同随时更换喷嘴，大大提高了所述喷枪的适用性。(3)在本技术披露的线性等离子体处理喷枪中，采用的电极座沿周向倾斜设置有若干个通孔，工作气体通过电极座形成旋转气流，将喷枪内各个位置的等离子体从喷嘴喷射出去，减少了等离子体的流失，大大提高了等离子体的利用率。(4)在本技术披露的线性等离子体处理喷枪中，与电源连接的电极单元设置于枪体外壳内部，电极单元与枪体外壳之间设置有绝缘套，保证喷枪外部表面的绝缘性，大大提高了所述喷枪工作时的安全性能。上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，从而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。根据下文结合附图对本申请具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本申请的上述及其他目的、优点和特征。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在所有附图中，类似的元件或部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线性等离子体处理喷枪，其特征在于，所述线性等离子体处理喷枪包括结构单元、枪体单元及电极单元，所述结构单元的结构形式是带外壳的枪座(1)，用于承载枪体单元和放置高频电缆、工作气体传输管道，所述枪体单元的结构形式是带喷嘴(6)的密封腔体，用于承载电极单元并作为线性等离子体处理喷枪的负极，所述电极单元外部带有绝缘装置，电极单元与高频高压电源连接，作为线性等离子体处理喷枪的正极，所述喷嘴(6)采用组合结构形式，前端为内部设置有气道的结构，所述气道的进气口为一个，气道出口为若干个，后端为圆柱形套筒的结构形式，位于喷嘴中央的气道出口的方向为正前方，远离喷嘴中央的气道出口的方向朝喷嘴中央倾斜，且与喷嘴中央距离越远倾斜程度越大，倾斜程度根据每个气道出口的等离子体处理宽度进行调整，相邻两个气道出口的等离子体处理区域边缘相互重叠，确保等离子体处理的均匀性。/n

【技术特征摘要】
1.一种线性等离子体处理喷枪，其特征在于，所述线性等离子体处理喷枪包括结构单元、枪体单元及电极单元，所述结构单元的结构形式是带外壳的枪座(1)，用于承载枪体单元和放置高频电缆、工作气体传输管道，所述枪体单元的结构形式是带喷嘴(6)的密封腔体，用于承载电极单元并作为线性等离子体处理喷枪的负极，所述电极单元外部带有绝缘装置，电极单元与高频高压电源连接，作为线性等离子体处理喷枪的正极，所述喷嘴(6)采用组合结构形式，前端为内部设置有气道的结构，所述气道的进气口为一个，气道出口为若干个，后端为圆柱形套筒的结构形式，位于喷嘴中央的气道出口的方向为正前方，远离喷嘴中央的气道出口的方向朝喷嘴中央倾斜，且与喷嘴中央距离越远倾斜程度越大，倾斜程度根据每个气道出口的等离子体处理宽度进行调整，相邻两个气道出口的等离子体处理区域边缘相互重叠，确保等离子体处理的均匀性。


2.如权利要求1所述线性等离子体处理喷枪，其特征在于，所述结构单元包括枪座(1)和外壳，所述外壳包括枪座盖(2)和薄板(3)，所述枪座(1)设置于线性等离子体处理喷枪后端，所述枪座盖(2)设置于所述枪座(1)上方，枪座盖(2)与枪座(1)连接，所述薄板(3)设置于所述枪座(1)后方，薄板(3)与枪座(1)连接。


3.如权利要求2所述线性等离子体处理喷枪，其特征在于，所述枪座(1)的两侧和后方都设置有螺纹孔，所述枪座(1)的上表面设置有贯穿螺纹孔，所述枪座盖(2)与枪座(1)连接，所述薄板(3)与枪座(1)连接。


4.如权利要求1所述线性等离子体处理喷枪，其特征在于，所述枪体单元包括密封腔体、喷嘴(6)，所述密封腔体包括枪体尾端(4)、枪体外壳(5)，所述枪体尾端(4)设置于枪座(1)上方，枪体尾端(4)与枪座(1)连接，所述枪体外壳(5)设置于枪体尾端(4)前方，枪体外壳(5)与枪体尾端(4)连接，所述喷嘴(6)设置于所述枪体外壳(5)前方，喷嘴(6)与枪体外壳(5)连接。


5.如权利要求4所述线性等离...

【专利技术属性】
技术研发人员：易强，王红卫，侯梦瑶，沈文凯，檀靓，
申请(专利权)人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32