本发明专利技术提供一种偏振光照射装置，其可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的。偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种偏振光照射装置，其可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的。偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。【专利说明】偏振光照射装置
本专利技术的实施方式涉及一种偏振光照射装置。
技术介绍
用于液晶面板的配向膜可通过对聚酰亚胺树脂等薄膜表面照射紫外线波长的直线偏振光而进行光配向。伴随着液晶面板的高精细化或大型化，对光配向膜用偏振光照射装置要求高偏光消光比、偏光方位的均匀化及照射区域的大面积化等。例如，为了使用包含折射率为1.6的透明板的偏光片来获得具有100: I以上的偏光消光比的透射光，所积层的透明板的数量必须为200以上，从而装置成为大型。而且，为了遍及大面积地获得沿长方形的照射区域的长度方向直线偏光的光，在重叠多个透明板而成的堆叠型偏光片中，必须使透明板沿长度方向倾斜。因此，必须抑制非偏振光从透明板的边界区域漏出。日本专利第3146998号公报
技术实现思路
本专利技术提供一种可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的偏振光照射装置。实施方式的偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第I面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的S偏光成分反射，使P偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。本专利技术提供一种可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的偏振光照射装置。【专利附图】【附图说明】图1是本专利技术的第I实施方式的偏振光照射装置的构成图。图2是本专利技术的第2实施方式的偏振光照射装置的构成图。图3是本专利技术的第3实施方式的偏振光照射装置的构成图。图4是说明偏振光形成部的示意图。图5是说明入射至具有不同折射率的2种介质的边界面的P偏光及s偏振光的反射的示意图。图6 (a)是振幅反射率相关性的曲线图，图6(b)是P偏光及s偏光相对于入射角的振幅反射率相关性的曲线图。图7是第I比较例的偏振光照射装置中所使用的偏光片的示意立体图。图8是将第I?第3实施方式中所使用的板型偏振分光镜紧密排列而成的偏振光形成部的示意立体图。图9(a)是第2比较例的板型偏振分光镜的示意立体图，图9 (b)是排列着多个板型偏振分光镜的示意立体图。图10(a)是第I?第3实施方式中所使用的板型偏振分光镜的变形例的示意平面图，图10(b)是示意前视图，图10(c)是沿C-C线的示意剖视图，图10(d)是将介电质多层膜局部放大的示意剖视图。图11 (a)是板型偏振分光镜的排列例，图11 (b)是图11 (a)的变形例。图12是第4实施方式的偏振光照射装置的构成图。图13(a)是第5实施方式的偏振光照射装置的示意平面图，图13(b)是示意剖视图。图14是第6实施方式的偏振光照射装置的构成图。附图标记:10:光源部12:紫外线灯13:棒状光源部(长弧灯)14:聚光镜20:平行光形成部22:光圈24:(平行光形成部的)光轴30:偏振光形成部32、34、36、60、70、73:板型偏振分光镜32a、34a:透明板32b、34b:介电质多层膜33:线栅型偏光板40:落射镜50:照射区域52:配向膜54:搬送部61:介电质多层膜61a:保护膜61b:表面62、162:非偏振光63、65:s 偏光71:倒角区域90:椭圆镜91、92、96:透镜93:平面镜94:球面镜95:狭缝95a:第 I 狭缝95b:第 2 狭缝96:圆柱透镜96a:第I圆柱透镜96b:第2圆柱透镜100:透明板123、124:偏光成分150:照射区域160a:基板160b:金属细线G1、G2、G3、G11、G12、G13:同族光束gl、g2、g3、gll、gl2、gl3:主光线D:间距p、s:偏光S1:边界面S2:入射面Θ、Θ2:入射角θ 1:折射角【具体实施方式】以下，一面参照附图一面对本专利技术的实施方式进行说明。图1是本专利技术的第I实施方式的偏振光照射装置的构成图。偏振光照射装置包括光源部10、平行光形成部20及偏振光形成部30。光源部10包括紫外线灯12及聚光镜14等。偏振光形成部30包括板型偏振分光镜32，将从平行光形成部20射出的紫外光分离为P偏光成分及s偏光成分,并将s偏光成分作为照射光束射出。另外，在说明书中，“紫外光”是波长为390nm以下的光，且包含深紫外光。平行光形成部20具有光轴24，使紫外光绕光轴24平行光化，且倾斜地入射至板型偏振分光镜32。优选的是平行光形成部20在与板型偏振分光镜32表面的介电质多层膜32b的表面垂直且包含光轴24的面内，使紫外光的扩散相对于光轴24在正负5度以内平行光化。进而，更优选的是平行光形成部20使紫外光的扩散实质上为零(即大致平行)。另夕卜，也可以在光源部10与平行光形成部20之间进而设置使光源部10的光聚光的聚光光学部。偏振光照射装置也可以包括落射镜40,该落射镜40将从偏振光形成部30射出的s偏光成分朝向照射区域50反射。照射区域50成为配置在搬送部54上的被照射体的表面。被照射体例如可设为设在透明基板的表面且包含树脂等的配向膜52等。配向膜52在照射直线偏振光时成为沿预定的偏光方向的光配向膜。这种光配向膜可用于液晶面板或视角补偿膜等。而且，偏振光照射装置可进而包括使配向膜52沿直线连续或间断地移动的搬送部54。这样一来，例如，通过将照射区域50设为长方形且将照射区域50的长度方向设为直线偏光方向，而能以高生产性制造光配向膜。图2是本专利技术的第2实施方式的偏振光照射装置的构成图。偏振光照射装置包括光源部10、平行光形成部20及偏振光形成部30。偏振光形成部30包括板型偏振分光镜32与线栅型偏光板33，利用板型偏振分光镜32将从平行光形成部20射出的紫外光分离为P偏光成分及s偏光成分，进而利用线栅型偏光板33使经板型偏振分光镜32分离所得的s偏光成分入射、透射，并作为照射光束射出。线栅型偏光板33例如是将含有铝的金属线等间隔且平行地设置在石英板的表面而成的偏光元件。图3是本专利技术的第3实施方式的偏振光照射装置的构成图。偏振光照射装置包括光源部10、平行光形成部20及偏振光形成部30。偏振光形成部30包括2个板型偏振分光镜32、34,将从平行光形成部20射出的紫外光分离为p偏光成分及s偏光成分,并将s偏光成分作为照射光束射出。图4是说明第3实施方式的偏振光形成部的示意图。偏振光形成部30例如包括第I板型偏振分光镜32及第2板型偏振分光镜34。第I板型偏振分光镜32包括透明板32a、及设在透明板32a的第I面且包含具有不同折射率的至少2种介电质的介电质多层膜32b。而且，第2板型偏振分光镜34包括透明板34a、及设在透明板34a的第I面且包含具有不同折射率的至少2种介电质的介电质多层膜34b。如果使第I及第2板型偏振分光镜32、34为相同形本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：前田祥平，野村博，
申请(专利权)人：东芝照明技术株式会社，
类型：发明
国别省市：
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