本实用新型专利技术提供一种光取向用偏振光照射装置，具备：一组载台，在照射区域的两侧配置有搭载对象物的各搭载位置；搬送机构，具有通过照射区域而连结各搭载位置的搬送路径；以及退避机构，使位于搭载位置的一组载台中的至少一个载台在另一个载台被搬送到通过位置的状态，移动到离开通过位置的退避位置。搭载位置相对于通过位置而配置成，位于搭载位置的至少一个载台与位于通过位置的另一个载台的至少一部分在同一平面上重合。因此，本实用新型专利技术抑制生产节拍的变长，并且抑制装置整体的设置空间的增大。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种光取向用偏振光照射装置，具备：一组载台，在照射区域的两侧配置有搭载对象物的各搭载位置；搬送机构，具有通过照射区域而连结各搭载位置的搬送路径；以及退避机构，使位于搭载位置的一组载台中的至少一个载台在另一个载台被搬送到通过位置的状态，移动到离开通过位置的退避位置。搭载位置相对于通过位置而配置成，位于搭载位置的至少一个载台与位于通过位置的另一个载台的至少一部分在同一平面上重合。因此，本技术抑制生产节拍的变长，并且抑制装置整体的设置空间的增大。【专利说明】光取向用偏振光照射装置
本技术的实施方式涉及一种光取向用偏振光照射装置。
技术介绍
在液晶面板等的制造工序中，要对液晶面板的取向膜或者视角补偿膜(film)的取向层等对象物进行取向处理。在取向处理中，已知有一种为了进行所谓的光取向而使用的光取向用偏振光照射装置，所述光取向是指通过对取向膜照射规定波长的偏振光来进行取向。作为此种光取向用偏振光照射装置，例如有一种结构，其具备:照射单元，照射偏振光;载台(stage)，搭载形成有取向膜的基板；以及搬送机构，以载台通过照射单元的照射区域的方式来搬送载台。而且，作为与所述光取向用偏振光照射装置类似的装置，已知有一种曝光装置，其以搭载有基板的第I载台及第2载台通过对基板进行曝光的曝光部的方式来搬送第I载台及第2载台。现有技术文献专利文献专利文献I:日本专利特开2008-191302号公报
技术实现思路
然而，液晶面板等对象物正趋于大型化，伴随于此，在光取向用偏振光照射装置中针对对象物的照射时间增加。因此，存在下述问题，即，每一个对象物的处理时间(以下称作生产节拍(takt time))变长，从而导致生产性下降。而且，随着对象物的大型化，存在光取向用偏振光照射装置大型化的问题。因此，本技术的目的在于提供一种能够抑制生产节拍的变长，并且能够抑制装置整体的设置空间(space)的增大的光取向用偏振光照射装置。实施方式的光取向用偏振光照射装置包括:照射单元，具有朝对象物照射偏振光的照射区域;第I载台及第2载台，配置有搭载所述对象物的第I搭载位置及第2搭载位置；以及搬送机构，具有通过所述照射区域而连结所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的至少一条搬送路径，且在所述搭载位置、与所述第I载台及所述第2载台通过所述照射区域而邻接于所述照射区域的通过位置之间，使所述第I载台及所述第2载台交替地沿着所述至少一条搬送路径而往复。光取向用偏振光照射装置还包括:退避机构，使位于所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的所述第I载台及所述第2载台中的至少一个载台在另一个载台被搬送到所述通过位置的状态，移动到离开所述通过位置的退避位置。所述搭载位置相对于所述通过位置而配置成，位于所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的所述至少一个载台、与位于所述通过位置的另一个载台的至少一部分在同一平面上重合。根据另一个实施方式，所述至少一个载台是所述退避位置与所述搭载位置位于同一平面上。根据另一个实施方式，所述至少一个载台是所述退避位置与所述搭载位置位于不同平面上。根据另一个实施方式，所述至少一个载台是所述搭载位置相对于所述通过位置而配置成:在同一平面上，在所述至少一个载台位于所述搭载位置的状态，与位于所述通过位置的另一个所述载台整体重合。根据另一个实施方式，所述退避机构使所述至少一个载台沿着与所述其中一个载台被往复搬送的搬送方向相同的方向而移动到所述退避位置。而且，在另一实施方式的光取向用偏振光照射装置中，所述搬送路径具有:第I搬送路径，从在所述第I载台上搭载所述对象物的第I搭载位置，将所述第I载台搬送到邻接于所述照射区域的照射开始位置;第2搬送路径，从在所述第2载台上搭载所述对象物的第2搭载位置，将所述第2载台搬送到所述照射开始位置为止；以及第3搬送路径，一端连结于所述照射开始位置，并且另一端通过所述照射区域而延伸到邻接于所述照射区域的通过位置为止，并搬送所述第I载台及所述第2载台。而且，所述搬送机构在所述第I搭载位置与所述通过位置之间，使所述第I载台沿着所述第I搬送路径及所述第3搬送路径而往复，并且在所述第2搭载位置与所述通过位置之间，使所述第2载台沿着所述第2搬送路径及所述第3搬送路径而往复。根据另一个实施方式，所述第I搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一条搬送路径的搬送方向、与所述第3搬送路径的搬送方向在同一平面上交叉。根据另一个实施方式，所述第I搬送路径与所述第2搬送路径在上下方向上并排配置。(技术的效果)根据本技术，能够抑制生产节拍的变长而提高生产性，并且能够抑制装置整体的设置空间的增大。【附图说明】图1是示意性地表示第I实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。图2是示意性地表示第I实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。图3是示意性地表示第I实施方式的变形例的光取向用偏振光照射装置的平面图。图4是示意性地表示第I实施方式的变形例的光取向用偏振光照射装置的平面图。图5是示意性地表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。图6是示意性地表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。图7是示意性地表示第3实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。图8是示意性地表示第4实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。图9(a)、图9(b)是示意性地表示第5实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。图10(a)、图10(b)是示意性地表示第5实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。图11是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。图12是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。图13是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。图14是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。图15是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。图16是示意性地表示第6实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。图17是示意性地表示第6实施方式的光取向用偏振光照射装置的变形例的平面图。图18(a)、图18(b)是示意性地表示第7实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图及平面图。附图标记说明:IA?1H、IJ?IK:偏振光照射装置9:基板10:照射单元1a:光源1b:反射板11:第I载台12:第 2载台15、25、35、45、55、65:搬送机构25a、35a、45a、55a、65a:引导轴15a:第I引导轴15b:第2引导轴16、26、36、46、56、66:搬送路径17、57:退避机构17a、57a:臂19a、29a、39a、49a:第I搬送路径19b、29b、39b、49b:第 2 搬送路径19c、29c、39c、49c:第 3 搬送路径A:照射区域Pla、Pl:第I搭载位置Plb、P2:第2搭载位置P2a、P2b、P4:通过位置P3a、P3b:退避位置P3:照射开始位置(照射结束位置)【具体实施方式】以下要说明的实施方式的光取向用偏振光照射装置(以下称作偏振光照射装置)IA具备照射单元1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括：照射单元，具有朝对象物照射偏振光的照射区域；第1载台及第2载台，配置有搭载所述对象物的第1搭载位置及第2搭载位置；以及搬送机构，具有通过所述照射区域而连结所述第1搭载位置及所述第2搭载位置的至少一条搬送路径，且在所述搭载位置、与所述第1载台及所述第2载台通过所述照射区域而邻接于所述照射区域的通过位置之间，使所述第1载台及所述第2载台交替地沿着所述至少一条搬送路径而往复。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：前田祥平，田中贵章，
申请(专利权)人：东芝照明技术株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP
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