【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置，属于精密仪器制造和精密测试计量
技术介绍
随着精密制造加工技术以及测量技术的不断发展，对二维小角度的测量精度提出越来越高的要求。光电自准直角度测量方法广泛用于小角度测量、高精度角度标校、平板的平面度测量、轴系的角晃动测量、导轨的直线度测量、转台位置不确定度等测量领域，是机械制造、造船、航空航天、计量测试、科学研究等部门必备的常规测量仪器。激光由于其单色性好、能量密度高的优点，常将其应用在远距离高精度角度测量中，已有许多单位研制出基于激光光源的高精度光电自准直仪(1.林玉池，张萍，赵美蓉， 洪昕.野外使用的半导体激光自准直仪.航空精密制造技术，2001，37 (3) 35-37 ；2.马福禄，张志利，周召发.基于M型分划丝的单线阵CXD直线度准直仪.光学技术，2002，28 (3) 224-225 ；3.张尧禹，张明慧，乔彦峰.一种高精度CCD激光自准直测量系统的研究.光电子·激光，2003，14(2) :168-170)，具有测量距离远、灵敏度高的优点，但由于自准直光束的漂移，限制了...
【技术保护点】
１．偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将激光光源发出的一束线偏振光束经分划板、分光镜和准直物镜后形成准直光束并发射；步骤二、所述准直光束经二维光束偏转装置反射后，入射至第一偏振分光镜，该第一偏振分光镜将入射光束全部透射，透射后的光束入射至分光式靶标探测器，所述分光式靶标探测器将该光束分离出反射光束和透射光束；步骤三、步骤二获取的反射光束作为测量光束，所述测量光束获取了分光式靶标探测器的二维角度变化量，所述测量光束再次经第一偏振分光镜透射后按原光路返回，直到入射至分光镜，并经该分光镜反射后入射至第二偏振分光镜，经该第二偏振分...
【技术特征摘要】
1.偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法，其特征在于，该方法包括以下步骤步骤一、将激光光源发出的一束线偏振光束经分划板、分光镜和准直物镜后形成准直光束并发射；步骤二、所述准直光束经二维光束偏转装置反射后，入射至第一偏振分光镜，该第一偏振分光镜将入射光束全部透射，透射后的光束入射至分光式靶标探测器，所述分光式靶标探测器将该光束分离出反射光束和透射光束；步骤三、步骤二获取的反射光束作为测量光束，所述测量光束获取了分光式靶标探测器的二维角度变化量，所述测量光束再次经第一偏振分光镜透射后按原光路返回，直到入射至分光镜，并经该分光镜反射后入射至第二偏振分光镜，经该第二偏振分光镜透射的光束由第一光电位置传感器接收，该第一光电位置传感器输出的信号作为测量信号输出给控制器；步骤四、步骤二获取的透射光束作为参考光束，所述参考光束获取了光束漂移量信息， 所述参考光束透过1/2波片后，再经45°放置的反射镜改变方向后，入射至第一偏振分光镜，经第一偏振分光镜反射后的光束经二维光束偏转装置反射后由准直物镜会聚，会聚后的光束经该分光镜反射后入射至第二偏振分光镜反射，经该第二偏振分光镜反射后由第二光电位置传感器接收，该第二光电位置传感器输出的位置信号作为光束漂移量参考信号输出给控制器，由控制器计算出光束漂移量；步骤五、控制器根据接收的光束漂移量参考信号来实时控制二维光束偏转装置转动， 将测量光束和参考光束同时向漂移量相反的方向进行偏转，同时根据接收到的测量信号计算出分光式靶标探测器随被测物偏转的角度，实现二维光电自准直角度测量。2.根据权利要求1所述的偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法，其特征在于，步骤四中的光束漂移量ε按下式获取3.根据权利要求1所述的偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法，其特征在于，步骤五中控制器根据接收的光束漂移量参考信号来实时控制二维光束偏转装置转动，二维光束偏转装置对光束空间角度的调整量Φ为Φ = ε。4.根据权利要求1或2所述的偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法，其特征在于，步骤五中的分光式靶标探测器随被测物偏转的角度θ按如下公式获取5.实现权利要求1至4任一权利要求所述的偏振光组合靶标共光路补偿...
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