紫外线照射装置制造方法及图纸

本技术提供一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。实施方式的紫外线照射装置包括：框体，呈箱状，其中一个端部开口；阻挡放电灯，设在所述框体的内部，能够照射紫外线；以及气流形成部，在所述框体的内部，使吹扫气体朝向所述阻挡放电灯流动。所述阻挡放电灯具有：发光管，沿一方向延伸，呈环状，在内部封入有气体；内部电极，设在所述发光管的内部；以及外部电极，设在所述发光管的外部。所述气流形成部形成在所述发光管中与所述框体的开口相向一侧的端部附近流动的所述吹扫气体的流动。

【技术实现步骤摘要】

本技术的实施方式涉及一种紫外线照射装置。

技术介绍

1、有一种紫外线照射装置，其包括照射紫外线的阻挡放电灯。包括阻挡放电灯的紫外线照射装置例如被用于附着于对象物表面的有机物的去除(光清洗处理)、表面改性、氧化膜的形成等表面处理。阻挡放电灯例如具有设在发光管内部的内部电极、以及设在发光管外部的外部电极。当对内部电极与外部电极施加交流电压时，产生介电质阻挡放电，从而对应于被封入至发光管内部的气体的种类而照射具有特定波长的紫外线。

2、此处，在进行利用紫外线的处理时，有时会从对象物放出气体。例如，在对象物的表面包含有机物的情况下，有时通过照射紫外线而使有机物分解，从而放出包含有机物的成分的气体。而且，在对象物的表面涂布有挥发性的材料的情况下，会放出包含挥发性的材料的成分的气体。当放出的气体到达阻挡放电灯时，气体中包含的成分会附着于阻挡放电灯的表面，阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度有时会下降。若均匀度下降，则容易产生处理不均，因此实施了处理的对象物的品质有可能下降。

3、因此，提出了一种在其中一个端部开口的箱状的框体的内部设置阻挡放电灯，利用氮气对箱状的框体的内部进行吹扫的技术。若阻挡放电灯设在以氮气充满的空间中，则即便从对象物放出气体，也能够抑制放出的气体到达阻挡放电灯。

4、但是，在处理时间长或处理数多的情况下，放出的气体有时会随时间的推移而到达阻挡放电灯。而且，在气体的放出量多的情况下，放出的气体也有时会到达阻挡放电灯。因此，即便单纯地以氮气充满阻挡放电灯的周边，阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度也有时会下降。

5、因此，期望开发一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。

6、[现有技术文献]

7、[专利文献]

8、[专利文献1]日本专利特开2013-191758号公报

技术实现思路

1、[技术所要解决的问题]

2、本技术所要解决的问题是提供一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。

3、[解决问题的技术手段]

4、实施方式的紫外线照射装置包括：框体，呈箱状，其中一个端部开口；阻挡放电灯，设在所述框体的内部，能够照射紫外线；以及气流形成部，在所述框体的内部，使吹扫气体朝向所述阻挡放电灯流动。所述阻挡放电灯具有：发光管，沿一方向延伸，呈环状，在内部封入有气体；内部电极，设在所述发光管的内部；以及外部电极，设在所述发光管的外部。所述气流形成部形成在所述发光管中与所述框体的开口相向一侧的端部附近流动的所述吹扫气体的流动。

5、[技术的效果]

6、通过本技术的实施方式，可提供一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。

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【技术保护点】

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述吹扫气体滞留在所述框体的内部空间中。

3.根据权利要求1或2所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述吹扫气体沿着所述框体的开口从与所述发光管延伸的方向正交的方向上的、所述发光管的其中一侧向另一侧流动。

【技术特征摘要】

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述吹扫气体滞留在所述框体的内部空间中。

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【专利技术属性】
技术研发人员：田中贵章，
申请(专利权)人：东芝照明技术株式会社，
类型：新型
国别省市：