【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体集成电路中半导体工艺方法,具体涉及一种用于离子注入设备自动清洁的方法,尤其涉及一种离子注入设备自动清洁离子腔体以提高部件寿命的方法。
技术介绍
离子注入设备是一种利用源离子化后,通过能量加速和筛选,从而控制需要的掺杂杂质注入到硅片预定的深度。通常应用的掺杂源为砷,磷,硼,锑。因为掺杂源离子化后只有5%的离子才会被注入到硅片中,而95%的掺杂物质会残留在腔室中,因此会导致高压绝缘不良问题和颗粒问题。为避免上述问题,必须对离子注入设备进行定期的维护保养,部件清洗或更换。因此占用了不少的设备作业时间,同时也造成了维护费用和人力成本的上升。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供一种离子注入机自动清洁离子腔体以提高部件寿命的方法,以避免现有技术因为掺杂物质残留而导致的维护时间和维护成本的增加,本专利技术通过引入氟离子与残留物质进行反应而达到自动清洁的效果,因此而达到增加机台利用率和节省成本以及减少机台颗粒水平。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种离子注入设备自动清洁离子腔体以提高部件寿命的方法,包括如下步骤:1)使用氟化物气体作为清洁气体导入离子注入腔体;2)反应时需控制腔体压力以维持充分的等离子体;3)用离子源灯丝进行加热和氟离子化,氟离子和离子注入腔中积累的离子注入掺杂残留物质发生化学反应;4)反应后反应物气体用真空泵进行去除。进一步地,步骤1)中,所述氟化物气体是无毒 ...
【技术保护点】
一种离子注入设备自动清洁离子腔体以提高部件寿命的方法,其特征在于:包括如下步骤:1)使用氟化物气体作为清洁气体导入离子注入腔体;2)反应时需控制腔体压力以维持充分的等离子体;3)用离子源灯丝进行加热和氟离子化,氟离子和离子注入腔中积累的离子注入掺杂残留物质发生化学反应;4)反应后反应物气体用真空泵进行去除。
【技术特征摘要】
1.一种离子注入设备自动清洁离子腔体以提高部件寿命的方法,其特征在于:包括如下
步骤:
1)使用氟化物气体作为清洁气体导入离子注入腔体;
2)反应时需控制腔体压力以维持充分的等离子体;
3)用离子源灯丝进行加热和氟离子化,氟离子和离子注入腔中积累的离子注入掺杂残
留物质发生化学反应;
4)反应后反应物气体用真空泵进行去除。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤1)中,所述氟化物气体是无毒无
害稳定性气体。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:步骤1)中,所述氟化物气体是任意含
量的六氟化硫或六氟化二碳。
4.根据权利要求1或2或3所述的方法,其特征在于:步骤1)中,所述氟化物气体
的流量在0.5升/分钟以上。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤2)中,所述腔体压力在20托~40
...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙建军,
申请(专利权)人:上海华虹宏力半导体制造有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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