本发明涉及一种电缆承载机构及其控制方法、天车轨道设备、天车系统，其包括承载部件和驱动装置。承载部件用于承接暴露于天车轨道的检修段外的外部电缆，并沿垂直于所述天车轨道的所述检修段的运动方向运动，使所述外部电缆可被带离所述检修段。驱动装置与...

本发明涉及天车搬运技术领域，提供了一种天车搬运系统的自动调平OHT提升装置，包括：顶部固定结构，提升结构，至少三个柔性同步传动结构，控制结构；至少三个所述柔性同步传动结构被配置为同时接收控制结构发送的脉冲信号，并实时将柔性同步传动结构的...

本申请公开一种轨道和轨道组件，该轨道包括轨道主体，所述轨道主体包括：走行面，位于所述轨道主体的第一表面；其中，所述第一表面沿所述轨道主体的长度方向设置主体安装槽；所述轨道主体中沿所述轨道主体的高度方向间隔分布有至少两个减重空腔。本申请所...

本发明的实施例涉及一种传动组件、防坠落装置与天车系统，传动组件包括：连杆、第一联动杆与第二联动杆。连杆具有枢转端、远离枢转端设置的第一连接端、远离枢转端设置的第二连接端。连杆绕枢转端可转动。第一联动杆与第一连接端转动连接，用于连杆绕枢转...

本发明涉及半导体载具仓储设备遥控技术领域，提供了一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，包括：S1：在用户控制软件上设置用户遥控界面，用户通过用户遥控界面向控制系统发出对半导体载具仓储设备中的设备模块的遥控指令；S2：半导体载具仓储...

本发明涉及控制软件技术领域，提供了一种半导体载具仓储设备控制软件可变式设计方法，包括：S100：对控制软件的基本结构进行设计，包括：设计包括半导体载具仓储设备表、堆垛机表和出入口表、微小组件表在内的三级数据库，并在所述三级数据库表中建立...

本发明涉及晶圆盒转运技术领域，提供了一种用于传送晶圆的机械臂，包括：底座机构、第一传送机构、第二传送机构和晶圆盒承载机构；所述第一传送机构与所述底座机构可转动连接，所述第一传送机构被配置为基于所述底座机构360度任意旋转；所述第二传送机...

本发明涉及晶圆储存搬运技术领域，提供了一种用于晶圆储存搬运的机械臂装置，包括：机械臂结构、内部线缆结构；所述机械臂结构包括底座机构和若干关节臂，所述底座机构与若干所述关节臂依次首尾连接，任意一个所述关节臂被配置为在一个固定的水平面上36...

本发明涉及自动盘库技术领域，提供了一种具备自动盘库功能的堆垛机，包括：晶圆盒转运结构、转运结构垂直轨道和RF读取器；所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道活动连接，依据晶圆盒的转运或盘库需求在所述转运结构垂直轨道上上下移动，同时在所述...