一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体载具仓储设备遥控技术领域，提供了一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，包括：S1：在用户控制软件上设置用户遥控界面，用户通过用户遥控界面向控制系统发出对半导体载具仓储设备中的设备模块的遥控指令；S2：半导体载具仓储设备的控制系统接收到遥控指令之后，在后端对遥控指令进行数据处理及逻辑判断，并对用户遥控界面进行回复，同时将遥控指令下达给半导体载具仓储设备的主控制器；S3：主控制器对接收到的遥控指令进行拆分，将拆分后的不同子遥控指令下发给设备模块中的不同执行单元执行。通过在现有的操作盒的基础上，在控制软件界面上另外增加了遥控程序，通过遥控程序完成复合指令的下达。通过遥控程序完成复合指令的下达。通过遥控程序完成复合指令的下达。

【技术实现步骤摘要】
一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法及系统


[0001]本专利技术涉及半导体载具仓储设备遥控的
，尤其涉及一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法及系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造领域中，Stocker(仓储设备)指的是用于存储半导体载具或晶圆盒的存储系统或设备。在半导体制造设施中，Stocker设备通常包括自动存取系统(ASRS)或专门设计用于半导体载具的机器人系统。这些系统提供控制环境，如洁净室或控制气氛室，以确保存储载具的完整性和清洁度。
[0003]Stocker系统具有以下几个优点：
[0004](1)存储容量：它们提供大容量的存储空间，以容纳大量的半导体载具，在洁净室环境中最大化利用空间。
[0005](2)组织管理：Stocker系统通常包括智能软件，用于管理库存、跟踪载具位置，并促进有效的取放载具操作。
[0006](3)自动化：这些系统采用机器人臂或输送系统来处理载具，减少人工操作，最大程度地减少污染或损坏的风险。
[0007](4)追溯性：Stocker系统提供载具的追溯性，可以跟踪载具的位置和历史记录。
[0008]Stocker仓储设备在实际运行中不可避免的会遇到各种意外情况，如传感器检测到危险情况或者人为在设备运行中急停。在这种情况下往往会导致设备运行中的任务被迫中断。而其中可能存在部分任务无法继续执行。又或者设备故障维修后与故障前最后状态不符合。因而需要人为完成将设备调整至与上位系统数据中的状态相同。因此Stocker往往需要一个单独的操控模式来进行设备的操控以应对上述情况。
[0009]在现有技术中，Stocker往往会配置一个简易的操作盒，通过将设备调整至特定模式及连接操作盒后，可操作设备。操作盒操作往往是对Stocker仓储设备中的各个模块的简易操作。操作方式多为触碰式即按下移动则设备缓慢移动，松开按钮则设备停止。举例来说，若需要Stocker出叉，则需要操作人员长按出叉对应按钮，靠经验判断出叉距离后松开按钮停下对应马达。
[0010]上述通过简易操作盒进行操作的方法，存在以下缺陷：
[0011](1)操作盒单次只能操作单个马达运动，无多部件的协力作业能力。
[0012](2)由于操作盒完全靠按压按钮来控制移动量，因此操作盒需要靠个人经验和现场人眼来判定移动位置。
[0013](3)操作盒需要连接到堆垛机上且依靠人眼判断移动量，因此人需要进入轨道进行操作。在这种情况下为了保证安全，移动只能采用最低速度进行移动。
[0014](4)操作盒对可编程控制器PLC直接进行操作。无法对操作行为进行记录，后续无法追溯由何人进行了何种操作。

技术实现思路

[0015]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法及系统，通过在现有的操作盒的基础上，在控制软件界面上另外增加了遥控程序，通过遥控程序完成复合指令的下达。
[0016]本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0017]一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，包括以下步骤：
[0018]S1：在半导体载具仓储设备的用户控制软件上设置用户遥控界面，用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的设备模块的遥控指令；
[0019]S2：所述半导体载具仓储设备的所述控制系统接收到所述遥控指令之后，在后端对所述遥控指令进行数据处理及逻辑判断，并对所述用户遥控界面进行回复，同时将所述遥控指令下达给所述半导体载具仓储设备的主控制器；
[0020]S3：所述主控制器对接收到的所述遥控指令进行拆分，将拆分后的不同子遥控指令下发给所述设备模块中的不同执行单元执行。
[0021]进一步地，在步骤S1中，用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的所述控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的所述遥控指令，具体为：
[0022]所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块包括堆垛机和出入口，其中所述堆垛机为在所述半导体载具仓储设备内部对晶圆盒进行转运存储的模块，所述出入口为将所述晶圆盒存入所述半导体载具仓储设备或从所述半导体载具仓储设备取出设备；
[0023]在所述用户遥控界面上，所述堆垛机包括走形、货叉出叉收叉、货叉抬升放下在内的可选的复合的所述遥控指令，所述出入口包括传送台移动、传送台抬升放下、出入口光栅状态在内的可选的复合的所述遥控指令；
[0024]当用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的所述控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的所述遥控指令时，根据需要选择所述遥控指令中的一个或具备执行顺序的多个指令。
[0025]进一步地，在步骤S1中，所述用户遥控界面，还设置有界面操作权限，仅具备所述界面操作权限的用户能够在所述用户遥控界面上对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块发出所述遥控指令，具体为：
[0026]所述控制软件的管理员为所述用户遥控界面设置具备不同操作权限的用户组，依据对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的遥控需求，将用户对应账号划分到具备不同操作权限的所述用户组中，仅具备所述界面操作权限的所述用户组中的用户在登录后能够在所述用户遥控界面上发出所述遥控指令；
[0027]同时，用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的所述控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的所述遥控指令时，对用户发出所述遥控指令的操作进行记录。
[0028]进一步地，在步骤S1中，还包括：
[0029]所述用户遥控界面通过Mqtt消息传输协议将所述遥控指令传送到所述半导体载具仓储设备的控制系统的后台。
[0030]进一步地，在步骤S2中，所述半导体载具仓储设备的所述控制系统接收到所述遥控指令之后，在后端对所述遥控指令进行数据处理及逻辑判断，具体为：
[0031]所述控制系统获取待遥控的所述设备模块的当前状态信息，根据待遥控的所述设备模块的所述当前状态信息进行初步判断，判断所述设备模块是否可执行所述遥控指令；
[0032]当所述遥控指令的执行需求状态与所述当前状态信息相匹配时，通知所述主控制器执行所述遥控指令；
[0033]当所述遥控指令的所述执行需求状态与所述当前状态信息不匹配时，向所述用户遥控界面发出报错，并提醒用户错误操作原因。
[0034]进一步地，在步骤S2中，将所述遥控指令下达给所述半导体载具仓储设备的所述主控制器，具体为：
[0035]所述控制系统与所述主控制器之间对完整的出入库动作流程按照所述堆垛机和所述出入口的所述遥控指令进行拆分，拆分后依据所述用户遥控界面下发的所述遥控指令的顺序通过分布遥控来完成预设动作；
[0036]所述控制系统与所述主控制器通过用户数据报协议UDP进行通信交互，所述控制系统直接将所述遥控指令对应数据写入所述主控制器的点本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在半导体载具仓储设备的用户控制软件上设置用户遥控界面，用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的设备模块的遥控指令；S2：所述半导体载具仓储设备的所述控制系统接收到所述遥控指令之后，在后端对所述遥控指令进行数据处理及逻辑判断，并对所述用户遥控界面进行回复，同时将所述遥控指令下达给所述半导体载具仓储设备的主控制器；S3：所述主控制器对接收到的所述遥控指令进行拆分，将拆分后的不同子遥控指令下发给所述设备模块中的不同执行单元执行。2.根据权利要求1所述的基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，其特征在于，在步骤S1中，用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的所述控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的所述遥控指令，具体为：所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块包括堆垛机和出入口，其中所述堆垛机为在所述半导体载具仓储设备内部对晶圆盒进行转运存储的模块，所述出入口为将所述晶圆盒存入所述半导体载具仓储设备或从所述半导体载具仓储设备取出设备；在所述用户遥控界面上，所述堆垛机包括走形、货叉出叉收叉、货叉抬升放下在内的可选的复合的所述遥控指令，所述出入口包括传送台移动、传送台抬升放下、出入口光栅状态在内的可选的复合的所述遥控指令；当用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的所述控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的所述遥控指令时，根据需要选择所述遥控指令中的一个或具备执行顺序的多个指令。3.根据权利要求1所述的基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，其特征在于，在步骤S1中，所述用户遥控界面，还设置有界面操作权限，仅具备所述界面操作权限的用户能够在所述用户遥控界面上对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块发出所述遥控指令，具体为：所述控制软件的管理员为所述用户遥控界面设置具备不同操作权限的用户组，依据对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的遥控需求，将用户对应账号划分到具备不同操作权限的所述用户组中，仅具备所述界面操作权限的所述用户组中的用户在登录后能够在所述用户遥控界面上发出所述遥控指令；同时，用户通过所述用户遥控界面向所述半导体载具仓储设备的所述控制系统发出对所述半导体载具仓储设备中的所述设备模块的所述遥控指令时，对用户发出所述遥控指令的操作进行记录。4.根据权利要求1所述的基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，其特征在于，在步骤S1中，还包括：所述用户遥控界面通过Mqtt消息传输协议将所述遥控指令传送到所述半导体载具仓储设备的控制系统的后台。5.根据权利要求1所述的基于界面化的半导体载具仓储设备遥控方法，其特征在于，在步骤S2中，所述半导体载具仓储设备的所述控制系统接收到所述遥控指令之后，在后端对所述遥控指令进行数据处理及逻辑判断，具体为：
所述控制系统获取待遥控...

【专利技术属性】
技术研发人员：偰在春，
申请(专利权)人：尊芯智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：