一种具备自动盘库功能的堆垛机及自动盘库方法技术

本发明专利技术涉及自动盘库技术领域，提供了一种具备自动盘库功能的堆垛机，包括：晶圆盒转运结构、转运结构垂直轨道和RF读取器；所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道活动连接，依据晶圆盒的转运或盘库需求在所述转运结构垂直轨道上上下移动，同时在所述晶圆盒转运结构上设置了能够在水平方向上360度旋转的机械臂；所述RF读取器设置在所述堆垛机的Z轴最低点，用于当所述晶圆盒转运结构携带所述晶圆盒运行到所述堆垛机的最低点时，对所述晶圆盒进行扫码，完成盘库操作。通过将RF读写器安装在用于对晶圆盒(即半导体载具)进行转运的堆垛机的最低点，借助堆垛机完成对晶圆盒的盘库操作，大大节约了晶圆盒的盘库时间成本。大大节约了晶圆盒的盘库时间成本。大大节约了晶圆盒的盘库时间成本。

【技术实现步骤摘要】
一种具备自动盘库功能的堆垛机及自动盘库方法


[0001]本专利技术涉及自动盘库的
，尤其涉及一种具备自动盘库功能的堆垛机及自动盘库方法。

技术介绍

[0002]工厂实际生产中都存在盘库需求，普通水平仓库通过人力对堆叠在地上的库存进行库存盘点。但自动化仓库的库存密集程度更高，人难以进入到库存区域且库存更为密集，全盘往往需要耗费大量的时间。因此盘库模式变为自动盘库及人工盘库两种。自动盘库为系统内部对库存进行一次库存ID扫描将扫描到的库存Id与数据库中的id自动比对。人工盘库为对部分库存的人工抽检及对自动盘库后存在问题库存区域进行再检查。其中自动盘库由于检查总量大所以对盘库速度有更高的需求。
[0003]半导体载具仓储设备(SemiconductorCarrierStocker)是一种专门用于存储和管理半导体载具(也称为半导体盒或半导体垛盘)的设备。在半导体制造过程中，半导体载具被用于运输、存储和保护半导体芯片和其他相关零部件。Stocker是一种自动化设备，用于组织、分类和存储半导体载具。它通常配备有机械臂、传送带系统和控制软件，能够自动将载具从一个位置转移至另一个位置，以满足生产线的需求。
[0004]半导体载具仓储设备的主要功能包括：
[0005](1)载具存储：Stocker能够提供大容量的存储空间，以容纳大量半导体载具。它可以按照预定的规则和策略，对载具进行分类和组织，以便于快速的存取和检索。
[0006](2)载具管理：Stocker配备有跟踪和管理系统，可以记录每个载具的位置、状态和历史信息。这样的管理系统有助于提高生产过程的可追溯性和可控性。
[0007](3)自动化操作：Stocker具备自动化操作功能，可以通过机械臂、传送带或其他自动化装置，将载具从输入区域移动到存储位置，并在需要时将其提供给生产线。
[0008](4)故障检测和报警：Stocker可以监测载具的状态，如果发现异常或故障，可以及时发出警报或通知操作人员进行处理。
[0009]半导体载具仓储设备的应用可以提高半导体制造过程中的物料管理效率和准确性，同时减少人工操作的需求，确保半导体制造线的顺畅运作。这些设备通常与其他半导体制造设备和自动化系统相结合，形成一个高度自动化的生产环境。
[0010]在半导体载具仓储设备Stocker中同样的存在盘库的需求，现有的半导体载具仓储设备Stocker的自动化盘库操作，往往是在特定货位上安装RF读取器或者在常规出库口额外加装RF读取器进行读取，通过将对应的库存移动到指定位置来进行扫码盘点比对。
[0011]但是现有的半导体载具仓储设备Stocker的盘库方法，通过在出库口或者特定货位上增加RF读取器的方式意味着一次盘点往往需要进行一次类似出入库的动作，而半导体载具仓储设备Stocker的单次入库标准通常为30S一次，而库内库存量通常到达200左右，意味着一次盘库就需要约12000S左右的时间，这个盘库的时间成本是比较大的。

技术实现思路

[0012]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种具备自动盘库功能的堆垛机及自动盘库方法，通过将RF读写器安装在用于对晶圆盒(即半导体载具)进行转运的堆垛机的最低点，借助堆垛机完成对晶圆盒的盘库操作，大大节约了晶圆盒的盘库时间成本。
[0013]本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0014]一种具备自动盘库功能的堆垛机，包括：晶圆盒转运结构、转运结构垂直轨道和RF读取器；
[0015]所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道活动连接，依据晶圆盒的转运或盘库需求在所述转运结构垂直轨道上上下移动，同时在所述晶圆盒转运结构上设置了能够在水平方向上360度旋转的机械臂；
[0016]所述RF读取器设置在所述堆垛机的Z轴最低点，用于当所述晶圆盒转运结构携带所述晶圆盒运行到所述堆垛机的最低点时，对所述晶圆盒进行扫码，完成盘库操作。
[0017]进一步地，具备自动盘库功能的堆垛机，还包括：维修梯；所述维修梯垂直设置于相对于所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道相反的另一侧。
[0018]进一步地，所述RF读取器借助于所述维修梯通过一块固定板安装于所述维修梯的背部。
[0019]进一步地，所述RF读取器借助所述维修梯侧面的布线槽进行布线。
[0020]进一步地，具备自动盘库功能的堆垛机，还包括：天轨和地轨；
[0021]所述转运结构垂直轨道与所述维修梯的顶端与所述天轨连接，所述转运结构垂直轨道与所述维修梯的底端与所述地轨连接；
[0022]所述转运结构垂直轨道、所述维修梯和所述晶圆盒转运结构作为一个整体在所述天轨和地轨上滑动，以实现所述转运结构垂直轨道、所述维修梯和所述晶圆盒转运结构整体结构的以平行于所述天轨和所述地轨的方向前后移动。
[0023]进一步地，所述晶圆盒上设置有能够被所述RF读取器读取，具备所述晶圆盒信息的芯片。
[0024]一种采用如上述的具备自动盘库功能的堆垛机进行盘库的自动盘库方法，包括以下步骤：
[0025]S1：用户发起自动盘库任务，并批量选择需要自动盘库的库存；
[0026]S2：所述堆垛机对应的上位控制系统按照顺序下发取晶圆盒的任务，并在取出所述晶圆盒之后，晶圆盒转运结构顺着所述转运结构垂直轨道下降到所述堆垛机的最低点；
[0027]S3：RF读取器启动读码工作，读取设置于所述晶圆盒上芯片的所述晶圆盒信息；
[0028]S4：所述堆垛机对应的上位控制系统下发放晶圆盒的任务，将所述晶圆盒放回原位。
[0029]进一步地，在步骤S2，所述堆垛机对应的所述上位控制系统按照顺序下发取晶圆盒的任务之前，还包括：
[0030]所述上位控制系统通过UDP协议与控制所述堆垛机的可编程控制器PLC连接，并通过所述可编程控制器PLC变更当前所述堆垛机的设备模式为盘库模式；
[0031]其中，所述盘库模式相比于常规转运模式在完成取货指令的同时需要额外增加扫码任务。
[0032]进一步地，在步骤S3，所述RF读取器启动读码工作，读取设置于所述晶圆盒上芯片的所述晶圆盒信息之后，还包括：
[0033]将所述晶圆盒信息写入所述可编程控制器PLC的点位中，并由所述上位控制系统自行读取所述晶圆盒信息。
[0034]进一步地，所述上位控制系统对反馈的所述晶圆盒信息进行验证，若所述晶圆盒信息正常则不处理，若所述晶圆盒信息中的编号异常则对所述晶圆盒进行冻结等待人员校验。
[0035]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0036]通过提供一种具备自动盘库功能的堆垛机，包括：晶圆盒转运结构、转运结构垂直轨道和RF读取器；所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道活动连接，依据晶圆盒的转运或盘库需求在所述转运结构垂直轨道上上下移动，同时在所述晶圆盒转运结构上设置了能够在水平方向上360度旋转的机械臂；所述RF读取器设置在所述堆垛机的Z轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具备自动盘库功能的堆垛机，其特征在于，包括：晶圆盒转运结构、转运结构垂直轨道和RF读取器；所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道活动连接，依据晶圆盒的转运或盘库需求在所述转运结构垂直轨道上上下移动，同时在所述晶圆盒转运结构上设置了能够在水平方向上360度旋转的机械臂；所述RF读取器设置在所述堆垛机的Z轴最低点，用于当所述晶圆盒转运结构携带所述晶圆盒运行到所述堆垛机的最低点时，对所述晶圆盒进行扫码，完成盘库操作。2.根据权利要求1所述的具备自动盘库功能的堆垛机，其特征在于，还包括：维修梯；所述维修梯垂直设置于相对于所述晶圆盒转运结构与所述转运结构垂直轨道相反的另一侧。3.根据权利要求2所述的具备自动盘库功能的堆垛机，其特征在于，还包括：所述RF读取器借助于所述维修梯通过一块固定板安装于所述维修梯的背部。4.根据权利要求2所述的具备自动盘库功能的堆垛机，其特征在于，所述RF读取器借助所述维修梯侧面的布线槽进行布线。5.根据权利要求2所述的具备自动盘库功能的堆垛机，其特征在于，还包括：天轨和地轨；所述转运结构垂直轨道与所述维修梯的顶端与所述天轨连接，所述转运结构垂直轨道与所述维修梯的底端与所述地轨连接；所述转运结构垂直轨道、所述维修梯和所述晶圆盒转运结构作为一个整体在所述天轨和地轨上滑动，以实现所述转运结构垂直轨道、所述维修梯和所述晶圆盒转运结构整体结构的以平行于所述天轨和所述地轨的方向前后移动。6.根据权利要求1所述的具备自动盘库功能的堆垛机，其特征在于，所述晶圆盒上设置有能够被所述RF读取器读取，具备所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵萌，孙明霞，柳宇涛，
申请(专利权)人：尊芯智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：