带有伸展／收缩折叠机构的臂件固定在转轴上。支承件以转动方式安装在臂的末端。该支承件与转轴保持恒定的相互关系。辅助支承件安装在固定于支承件的支承轴上，辅助支承件可以摆动。在支承件和辅助支承件的转动部分上设有凸轮机构。辅助支承件通过该凸轮机...

本发明提供一种不影响轻量紧凑性且可提高下一级部件（包括配件）的安装孔的设计自由度的机器人手腕驱动用的动力传递装置。通过将取出外齿齿轮（１３８）的自转成分的内销（１３６）和第１输出凸缘体（１００）用１个部件形成为一体，而在第１输出凸缘体（...

本发明提供一种夹紧装置，能进行Ｚ轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有３组由放置在支承构件（１０７～１０９）上的球（１３～１５）和在下部具有该球的接受部（１６－１～１８－１）且使该接受部...

提供一种自动换刀机构的驱动装置，不管电动机及减速器相对于自动换刀机构的固定框架如何配置，都能够容易地引绕电动机的电缆。该自动换刀机构（４６）的驱动装置（４８）具备减速器（５６），作为外齿轮（５０）和内齿轮（５２）之间的相对旋转而将减速输...

本发明提供一种微调载物台装置，即使在搭载负荷超过５ｋｇ时，也能够实现高停止稳定性和高响应性。微调载物台装置包括在基体（１００）上构筑的倾斜载物台、Ｘ－Ｙ载物台。倾斜载物台具有倾斜板（２０１），并且在倾斜板和基体之间具备至少３个转换机构，...

本发明提供一种能够防止微小振动产生的涂敷不匀的台式涂敷机用工作台装置。本工作台装置用滑动件在设置于工作台（１０）上的石平台（２０）上配置的基板台（３０）的上方沿一轴方向运送喷嘴（６０）。滑动件包括由２台线性电动机构成的２个Ｙ轴驱动机构（...

本发明提供一种通过降低滑动件部分的重心来使俯仰振动难以发生的工作台装置。本台式涂敷机用工作台装置包括：可以沿搭载被处理基板的基板台（１００）的表面沿Ｙ轴方向移动的第１滑动件和组装到第１滑动件上能够与第１滑动件一起沿Ｙ轴的方向移动的、用来...

本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置（１０）为使作为工件的基板（１１）沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座（１２）、沿Ｙ方向可移动地设置在基座上的...

本发明以与工件的大型化相对应地使吸着盘大型化，维持平面精度并使吸着盘与载物台一起顺畅地移动为课题。载物台装置（１０）具有：石平台（２０），在石平台的平面上移动的载物台（３０），载置在载物台上、吸着平板状工件的吸着盘（４０），以及使载物台...

本发明提供一种载物台装置的移动体，以减轻在台架上被驱动的移动体的重量和确保其刚性为课题。其中，用铝材通过挤压加工将龙门架（６０）形成为中空结构。并且，龙门架（６０）采用整体地设置有一对沿与前面壁部（６０ａ）和背面壁部（６０ｂ）垂直的方向...

本发明提供一种载物台装置，即使为了实现装置的大型化时，也可以不使用特殊车辆而能够进行运输，并且可以容易进行基座的机械加工。在载物台装置（１）中，能够在与起重机架部（９）的移动方向垂直的水平方向（Ｘ）上以分型面（１２、１３）为界线分割基座...

一种内啮合齿轮机构的销（滚柱）保持环的制造方法，使销（滚柱）保持孔１１３ａ内的销的滑动回转良好。内齿齿轮２０是由内周具有半圆形销（滚柱）保持孔的销（滚柱）保持环１１０与可回转地嵌合在各销保持孔内的销（滚柱）１１构成；外齿齿轮５ａ、５ｂ与...

一种回转体的装配方法，该回转体可回转地被装配在摆动体的内侧、在前述摆动体上生成伴随摆动运动的自转运动，在具有该回转体的动力传递装置的回转体的装配方法中，其特征在于，包括以下的步骤：将在前述回转体和前述摆动体之间设置的多个转动体，介由该转...

来自激光振荡器１０的脉冲激光束由光束分离器１３分离成两束。分离的激光束由Ｘ－Ｙ扫描仪１４和１６通过工作透镜１７和１８辐射到工件２０上。另外，在工件上，激光光束在Ｘ－轴和Ｙ－轴方向摆动。这些Ｘ－Ｙ扫描仪同时加工多个被分离并设置在工件上的加...

在激光光束的光学路径中，设放一反射镜（１１）以将激光光束分成两束分离的激光光束。通过使用分离的激光光束，同步地加工处理工件（１７ａ，１７ｂ）。

本发明公开的加工计划方法和装置、及其加工数据作成方法和装置，通过２单元的区域配置计划装置，优化左右的电流单元的距离（Ｌ轴值）Ａ，使射束扫描次数及载物台移动次数为最小。通过区域计划装置优化区域位置使区域数为最小。通过载物台.电流通路计划装...

一种激光钻孔的加工方法与装置，设置有将由激光振荡器（１０）发出的激光变换为具有线状的截面形状激光的均匀光学系统（１３）以及圆柱面透镜（１５）、将掩膜（１１）与印刷电路板（１２）同步移动的驱动机构；固定所述线状截面形状激光的照射位置，所述...

一种激光加工设备，其包含多个Ｘ－Ｙ扫描仪，每个Ｘ－Ｙ扫描仪用于通过一个ｆθ透镜在工件表面的Ｘ轴方向和Ｙ轴方向上摆动激光束，并通过所述多个电扫描系统对所述工件的加工区进行加工，其特征在于：从所述多个Ｘ－Ｙ扫描仪发射出的每个激光束被辐射到单...

一种生成球面蜗轮的高精度齿面而不使用球面蜗杆滚刀的方法，使用包括在其上嵌入磨粒的切削表面，然后精加工电解沉积切削工具，使其具有与可啮合球面蜗轮的球面蜗杆相同的齿面的电解沉积磨削工具磨削生成铜合金球面蜗轮的齿表面，该球面蜗轮的齿面的生成是...

提供一种提高外齿齿轮齿面的光洁度，降低伴随啮合产生的噪声的外齿齿轮的研磨方法和研磨装置。相对于外齿齿轮Ｗ的齿面，由压板１２０通过支撑按压薄膜研磨材料１１０，在此状态下外齿齿轮Ｗ相对薄膜研磨材料１１０在齿形方向上相对回转，同时外齿齿轮Ｗ在...