本发明提供一种式（Ⅰ）的盐，式中Ｘ表示含有１至３０个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有３至３０个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的－ＣＨ↓［２］－可以被－Ｏ－取代，并且Ｘ中的一个或多个氢原子任选被含有１至６...

本发明提供式（Ⅰ）的盐，其中环Ｘ表示含有３至３０个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有１至１０个碳原子的烷基、含有１至１０个碳原子的烷氧基、含有１至４个碳原子的全氟烷基、含有１至１０个碳原子的羟基烷基...

一种辐射敏感树脂组合物，其包含碱可溶性固化性树脂（Ａ）、醌二叠氮化合物（Ｂ）、含有鎓阳离子和选自式（１）给出的阴离子和式（２）给出的阴离子的阴离子的阳离子聚合引发剂（Ｃ），和溶剂（Ｈ），其中Ｒ↑［１］－Ｒ↑［３］、Ｒ↑［１１］和Ｒ↑［３...

一种着色的光敏树脂组合物，包括色料（Ａ）、粘合剂树脂（Ｂ）、可光聚合的化合物（Ｃ）、光聚合引发剂（Ｄ）和溶剂（Ｅ），其中可光聚合的化合物（Ｃ）含有邻苯二甲酸２，２，２－三（丙烯酰氧基）甲基乙基酯。

本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳－碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。

本发明提供了一种着色光敏树脂组合物，在其储藏之前和之后形成图象时，引起曝光量的细小变化。公开了一种着色光敏树脂组合物，包含染料、光酸产生剂、固化剂、碱性的可溶性树脂和溶剂，其中染料含有Ｃ．Ｉ．溶剂黄８８且光酸产生剂含有磺酸酯化合物。

本发明提供了一种着色光敏树脂组合物，当图象接受投射曝光时其引起曝光量细小的变化。公开了一种着色光敏树脂组合物，包含染料、光酸产生剂、固化剂、碱性的可溶性树脂、溶剂和式（１）表示的化合物：在式（Ⅰ）中Ｒ↑［１］－Ｒ↑［３］各自独立表示氢原...

一种包含（Ａ）着色剂、（Ｂ）粘合剂树脂、（Ｃ）可光聚合化合物、（Ｄ）光聚合引发剂和（Ｅ）溶剂的彩色光敏树脂组合物，其中着色剂（Ａ）的含量为基于彩色光敏树脂组合物固体含量的３５－６０重量％，可光聚合化合物（Ｃ）是包含双季戊四醇六丙烯酸酯、...

一种正型着色辐射敏感树脂组合物，其包括（Ａ）碱溶性可固化树脂、（Ｂ）醌二叠氮化合物和（Ｃ）着色剂，其中（Ａ）碱溶性可固化树脂是包含（ａ１）衍生自不包含羧酸的结构单元和（ａ２）衍生自除不饱和羧酸外的具有氧杂环丁基的不饱和化合物结构单元的共...

本发明提供一种式（Ⅰ）表示的盐，其中，Ｐ↑［１］、Ｐ↑［２］、Ｐ↑［３］、Ｑ↑［１］、Ｑ↑［２］和Ｒ具有与权利要求书和说明书中定义的相同含义，并且还提供一种含有上述式（Ⅰ）所示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

一种式（Ⅰ）表示的盐，其中，Ｘ表示Ｃ１－Ｃ１２二价直链或支链烃基，Ｙ表示可以被至少一个取代基取代的Ｃ１－Ｃ３０烃基，并且在所述Ｃ１－Ｃ３０烃基中的至少一个－ＣＨ↓［２］－可以被－Ｏ－或－ＣＯ－取代，Ｑ↑［１］和Ｑ↑［２］各自独立地表示氟...

本发明提供一种式（Ⅰ）表示的锍化合物，其中Ｑ↑［１］和Ｑ↑［２］各自独立地表示氟原子或Ｃ１－Ｃ６全氟烷基，并且Ａ↑［＋］表示有机抗衡离子。

本发明提供一种式（Ⅰ）表示的盐，其中，Ｘ表示含有至少一个二价脂环族烃基的Ｃ３－Ｃ３０二价基团，并且在所述Ｃ３－Ｃ３０二价基团中的至少一个－ＣＨ↓［２］－可以被－Ｏ－或－ＣＯ－取代；Ｙ表示可以被选自Ｃ１－Ｃ６烷氧基、Ｃ１－Ｃ４全氟烷基、Ｃ...

本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：（Ａ）树脂和（Ｂ）酸生成剂，所述的树脂可以通过酚醛清漆树脂、聚（羟基苯乙烯）和具有至少两个乙烯基醚结构的化合物反应得到。

本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：（Ａ）式（Ⅰ）表示的盐；（Ｂ）式（Ⅱ）表示的盐；和（Ｃ）树脂，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，式（Ⅰ）中，Ｒ↑...

一种感光性树脂组合物，含有粘合剂树脂（Ａ）、光聚合性化合物（Ｂ）、光聚合引发剂（Ｃ）和溶剂（Ｄ），其中粘合剂树脂（Ａ）是不饱和羧酸和／或不饱和羧酸酐（Ａ１）和脂肪族多环环氧化合物（Ａ２）的共聚物。根据本发明可以提供保存时的粘度小且可以解...

本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式（Ⅰ）表示的结构单元，其中Ｒ↑［１］表示氢原子或甲基，环Ｘ表示Ｃ３－Ｃ３０环烃基，其中一个－ＣＨ↓［２］－被－ＣＯＯ－取代，并且在所述Ｃ３...

本发明涉及一种着色感光性树脂组合物，它是含有（Ａ）颜料、（Ｂ）粘结剂树脂、（Ｃ）光聚合性化合物、（Ｄ）光聚合引发剂和（Ｅ）溶剂的着色感光性树脂组合物，其中，（Ａ）颜料相对于着色感光性树脂组合物固形物的含量，以质量分率计为３５～６０质量％...

本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：（Ａ）由式（Ⅰ）表示的盐、（Ｂ）由式（Ⅱ）表示的盐和（Ｃ）树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中...

本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂和至少两种盐，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式（Ⅰ）表示的结构单元，式（Ⅰ）中Ｒ↑［１］表示氢原子或甲基，环Ｘ表示Ｃ３－Ｃ３０环烃基，其中一个－ＣＨ↓［２］－被－ＣＯＯ－取代...