一种包含（Ａ）粘结剂树脂，（Ｂ）可光聚合的化合物，（Ｃ）光聚合引发剂和（Ｄ）溶剂的光敏树脂组合物，其中粘结剂树脂（Ａ）是通过下述方法获得的共聚物：将下述的（Ａ１）、（Ａ２）和（Ａ４）进行共聚形成共聚物１，使得到的共聚物１以其源自（Ａ４）...

本发明是有关于一种含有共聚物（Ａ）与醌二叠氮化合物（Ｂ）的辐射敏感的树脂组成物。其中共聚物（Ａ）含有衍生自一种不饱和化合物的结构单元（ａ１），此种不饱和化合物含有至少由活性亚甲基和活性次甲基组成的组中选择的一种。共聚物（Ａ）含有衍生自含...

一种辐射敏感树脂组合物，其包含（Ａ）具有硬化性能的碱溶性树脂、（Ｂ）醌二叠氮化合物、（Ｃ）溶剂和（Ｄ）硅烷偶联剂。

本发明提供一种星形聚合物及制备该星形聚合物的方法，所述的星形聚合物包含中心核和三个或更多个与中心核结合的分支，和具有的重均分子量为１，０００至１００，０００，其中包含至少一个重复单元的至少一个分支选自下面的重复单元（１）、（２）、（３）...

本发明提供一种化学放大型光刻胶组合物，其包含处理过的树脂（１）、酸生成剂和溶剂，其中树脂（１）是：（ａ）（甲基）丙烯酸类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含在它的侧链中含有脂环族烃基的重复单...

一种感放射线性树脂组合物，其为含有具有硬化性的碱可溶性树脂（Ａ）、醌二叠氮基化合物（Ｂ）、溶剂（Ｃ）和硅氧烷系表面活性剂（Ｄ）的感放射线性树脂组合物，其中，硅氧烷系表面活性剂（Ｄ）为含有ＨＬＢ值为１以上９以下的硅氧烷系表面活性剂（Ｄ１）...

一种感放射线性树脂组合物，其含有具有硬化性的碱可溶性树脂（Ａ）、醌二叠氮基化合物（Ｂ）、溶剂（Ｃ）、硅氧烷系表面活性剂（Ｄ）和氟系表面活性剂（Ｅ）。

一种感放射线性树脂组合物，其为含有具有硬化性的碱可溶性树脂（Ａ）、醌二叠氮基化合物（Ｂ）和溶剂（Ｃ）的感放射线性树脂组合物，其中溶剂（Ｃ）为含有乳酸丁酯的溶剂。

一种着色感光性树脂组合物，该组合物含有着色剂（Ａ）、具有由（甲基）丙烯酸衍生的结构单元和由（甲基）丙烯酸苄酯衍生的结构单元而不含（甲基）丙烯酰基的树脂（Ｂ１）、具有（甲基）丙烯酰基的树脂（Ｂ２）、光聚合性化合物（Ｃ）、光聚合引发剂（Ｄ）...

本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含（ｉ）一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，（ｉｉ）一种产酸剂，和（ｉｉｉ）一种式（Ⅰ）的化合物。本发明还提供可用作化学放大的阳性抗蚀剂组合物的...

本发明提供了一种式（Ⅰ）的盐，其中Ｘ代表－ＯＨ或－Ｙ－ＯＨ，ｎ表示１到９的整数，Ａ↑［＋］代表有机抗衡离子，Ｙ代表具有１到６个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式（Ⅰ）盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

一种感光树脂组合物，其包括（Ａ）粘合剂树脂，（Ｂ）可光聚合化合物，（Ｃ）光聚合引发剂，（Ｄ）溶剂和式（Ⅰ）的化合物，（在式（Ⅰ）中，Ｘ、Ｙ和Ｚ各自独立地表示单键、（Ⅰ－１）的基团或式（Ⅰ－２）的基团，Ｒ↑［１］～Ｒ↑［３］各自独立地表示...

一种着色组合物，包含（Ａ）染料、（Ｂ）高分子化合物和（Ｅ）溶剂，其中染料（Ａ）是用溶于溶剂（Ｅ）中的高分子化合物（Ｂ）分散处理过的染料。

一种着色感光性树脂组合物，其含有（Ａ）着色剂、（Ｂ）粘合剂树脂、（Ｃ）光聚合性化合物、（Ｄ）光聚合引发剂、（Ｅ）溶剂和（Ｆ）选自式（Ⅰ－１）表示的化合物和式（Ⅰ－２）表示的化合物中的至少一种化合物［式（Ⅰ－１）和式（Ⅰ－２）中，Ｒ↑［１...

一种感光间隙材料用感光性树脂组合物，其包含粘结剂树脂（Ａ）、光聚合性化合物（Ｂ）、光聚合引发剂（Ｃ）及溶剂（Ｄ），该光聚合性化合物（Ｂ）含有式（Ⅰ）表示的化合物，式（Ⅰ）表示的光聚合性化合物（Ｂ）的含量，相对粘结剂树脂（Ａ）、光聚合性化...

一种制备化学放大正性光刻胶用树脂的方法，该方法包括将至少一种单体和／或至少一种已聚合的低聚物进行聚合，从而提供化学放大正性光刻胶用树脂的步骤，其中采用两种或更多种聚合引发剂以引发聚合，由此以高产率获得树脂。

一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂树脂（Ａ）、光聚合性化合物（Ｂ）、光聚合引发剂（Ｃ）和溶剂（Ｄ），该粘合剂树脂（Ａ）是包含下述三种结构单元的聚合物（ＡＡ）：由选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种化合物获得的结构单元（Ａ１），由具有...

本发明提供一种着色感光性树脂组合物，其含有（Ａ）着色剂、（Ｂ）粘合剂树脂、（Ｃ）光聚合性化合物、（Ｄ）光聚合引发剂、（Ｅ）有机溶剂、　以及（Ｆ）式（Ⅰ）～式（Ⅲ）中的任一式表示的至少一种化合物，其中，相对于着色感光性树脂组合物的固体成分...

本发明提供式（Ⅰ）的盐，其中环Ｘ表示含有３至３０个碳原子的单环或双环烃基，并且环Ｘ中的一个或多个氢原子任选被含有１至６个碳原子的烷基、含有２至６个碳原子的烯基、含有２至６个碳原子的烷氧基或含有１至４个碳原子的全氟烷基取代；Ｑ↑［１］和Ｑ...

本发明提供一种式（Ⅰ）的盐，其中环Ｘ表示含有三环或更多环并且含有１０至３０个碳原子的多环烃基，并且环Ｘ中的一个或多个氢原子任选被含有１至６个碳原子的烷基、含有１至６个碳原子的烷氧基、含有１至４个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Ｑ↑［１］和Ｑ...