本发明的课题是提供一种成膜装置及其蒸镀方法，其能够实现蒸发速率的控制的稳定化，通过把向被成膜基板的蒸镀中的实际的蒸镀速率保持恒定，获得膜厚的均匀性。作为解决本发明课题的方法涉及一种蒸镀装置，其为具有保持被成膜基板的基板保持机构、设置在面...

本发明的第一技术的目的：提供一种适合于在分光光度仪中使用的凸部顶角约为90度且能够满足高衍射效率和低杂散光量的衍射光栅的制造技术。针对具有周期构造的开口部的掩模的开口部形状，设定曝光条件进行曝光，形成衍射光栅，使得通过曝光形成的基板上的...

带电粒子束装置，具有：试样台（146），其对试样进行支持；带电粒子束光学系统，其使得来自带电粒子源的带电粒子束会聚在试样上；带电粒子束柱（101），其容纳该带电粒子束光学系统；第一差动排气用节流阀（108），其设置在所述带电粒子束柱（1...

一种固相萃取装置，其为了在粘度不同的每个试样液体的测定中也能够提高测定成分的回收率的精度，保证恒定的处理能力，在固相萃取的吸附工序、清洗工序、溶出工序中自动控制通液速度，由此能够进行高精度的固相萃取。固相萃取装置具备：分注试样液体(1)...

本发明提供一种化学分析装置，其具备：设置有多个具有开口部的反应容器的反应容器设置台，从上方向该反应容器喷出空气来搅拌所述反应容器内的样品和试剂的空气喷出口，检测所述反应容器内的样品和试剂的反应结果的检测装置，驱动所述空气喷出口或所述反应...

本发明提供一种无需在带电粒子线装置中另行设置别的装置且在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工的装置以及方法。在带电粒子线装置的真空室内配置填充有离子液体的液池和超声波振动单元，并在离子液体和试料的加工对象区域接触的状态下，使超声波振...

一种使试样和试剂分别分注至多个反应容器进行反应，并测定反应了的液体的自动分析系统，其中，作为在移送路上处理具有栓的真空采血管等检体容器的方法，即，设置了在试样的分注之前取下所述检体容器的栓，并对结束了试样的分注的检体容器，使用对应于分注...

在本发明的自动分析系统中，具备：具备适合不同栓体的多种支撑体的栓体开闭机构；检测体容器的信息管理机构；根据检测体容器的识别处理进行开闭动作的栓体开闭机构；以及进行开闭动作的判断处理的开栓、闭栓监视机构，构成能进行不同栓体的开闭处理的栓体...

本发明的目的是提供一种质谱分析装置，其通过使喷雾后的试样溶液高效气化，从而生成微细的带电液滴，提高试样的离子化效率，离子强度高，通过使大液滴减少，从而检测灵敏度高。本发明的液相色谱质谱分析装置的特征在于，具有：将试样溶液按各成分进行分离...

在常规方法中，在能够单独控制温度的温度控制模块的温度绝对值的修正中使用校正完的温度测定探头的情况下，温度控制模块间残留有最大为0.5℃的温度差。与此相对，本发明将对应于各温度控制模块的各反应容器中容纳的温度校正试样的熔解温度作为测定熔解...

本发明提供一种具备供给可宽范围并且高精度地控制的进行了时间调制的高频电力的高频电源的等离子体处理装置以及使用了所述等离子体处理装置的等离子体处理方法。本发明提供一种等离子体处理装置，具备：真空容器；第1高频电源，用于在所述真空容器内生成...

本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的...

一种带电粒子束装置，在具有样品依赖性的FIB加工中，不受操作者的个人差异的影响，能够高效地加工成期望的形状。在带电粒子束装置中安装：将由离子源产生的离子束照射给样品的离子束光学系统装置及其控制装置；检测样品的组成元素的元素检测器及其控制...

在本发明的台装置中，在试样或试样支架或旋转桌上设置能够测定位置和方向的标记，依照预定的动作模式进行台的旋转并进移动，测定这时的标记的位置和方向，根据其结果确定旋转桌的旋转中心位置，并且求出修正旋转误差的旋转角修正量和修正旋转中心位置的位...

在从试样离子化装置（离子源）导入试样时，离子化不充分的试样滞留在导入部细孔以外的部位，通过热等能量，作为氧化物乃至碳化物等生成物堆积。该堆积的生成物成为质量分析装置的性能劣化的原因。本发明的质量分析装置具备：试样供给源、对从试样供给源供...

本发明提供一种带电粒子装置，其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简...

本发明实现了一种使用多个探针来进行静电电容检测式的液面检测的自动分析装置，其中，能够减少基于由发射器的频率差导致的干扰的液面误检测的发生，并能够高精度且迅速地进行分注。检测器振荡器（307）、（201）的频率f1、f2本来是同一频率，但...

本发明涉及生物聚合物的光学解析装置，其具备：生物聚合物的特性解析芯片1100，其具备固体基板1110、设置于固体基板1110的多个纳米孔1120，1121、和配置于固体基板1110的导电性薄膜1130a，1130b，1131a，1131...

本发明提供一种树脂基板太阳能电池模块。在轻型太阳能电池模块中防止破裂等破损。作为解决本发明课题的方法是使用一种树脂基板太阳能电池模块（100），其包含多个太阳能电池（102）、在相邻的太阳能电池（102）之间配置的支柱（104）、和2块...

本发明提供一种容易进一步提高膜厚的均匀性的光CVD膜的制造方法和制造装置。在光CVD膜的制造方法中，包括：工序(a)，向形成光CVD膜的反应室导入光CVD膜的原料气体，使反应室达到规定压力；工序(b)，在工序(a)之后，停止原料气体向反...