在输送砖

本公开的目的在于，即使是如半导体器件那样包含多个图案的样品，也能够进行基于适当的模型的参照图像生成和使用了该参照图像的缺陷检查

能够不追加复杂的机构而容易地执行压力传感器的检查和调整

本发明的目的在于，提供一种等离子处理方法，在硬掩模的蚀刻中，抑制来自下层的金属膜的析出物的产生，并得到各向异性形状

本发明的目的在于提供一种能够不依赖取得

自动分析装置

本公开的试剂保冷库的特征在于，具备：试剂盘，其能够保持容纳试剂的多个试剂容器；容器，其在内部容纳所述试剂盘；驱动装置，其使所述试剂盘沿水平方向旋转；以及风扇，其以能够沿所述试剂盘的旋转方向送风的朝向设置于所述试剂盘

本发明的液相色谱仪包括：连接送液装置和液体贮藏容器的供应配管；连接供应配管的中途和液体贮藏容器的循环配管；流路切换阀，其设置于供应配管和循环配管的连接部，选择性地切换为使液体贮藏容器侧和送液装置侧的供应配管流通的送液状态

本发明提供能抑制无意中拆卸分离柱的分析装置

在不停止分析和送液的情况下，能够向贮藏瓶提供流动相，实现能够抑制气泡向流路内混入的液相色谱仪

本发明提供一种自动分析装置，能够避免异常检测的精度降低

具备：将试剂从试剂瓶

本发明提供一种带电粒子束装置、带电粒子束系统、调整方法，对硬件的差异、例如由同一装置的硬件的经时劣化引起的信号强度的变化、或者不同装置间的信号强度的差异进行校正。本公开的调整方法通过对相同带电粒子束装置中的不同时间点之间的、或者不同带电...

提供能抑制处理条件所引起的偏差且判定半导体制造装置的排气装置或排气配管的异常的诊断技术。诊断装置诊断半导体制造装置的状态，该半导体制造装置具备：对样品进行处理的处理室；将样品向所述处理室运送并与处理室连接的运送室；配置于处理室与运送室之...

本发明提供一种抑制由搅拌装置的异常引起的分析精度的降低以及装置污染的技术

本发明的目的在于提供一种检体传送装置，即使在由于绕组发热而导致导体电阻变化的情况下，也能保持检体容器的传送推力

本发明具备：分离柱，其内置有固定相；柱盒，其收纳分离柱，且相对于预先设定的柱设置位置能够装卸地设置；上游侧配管，其相对于设置在柱设置位置的状态的柱盒能够装卸地设置，且向柱盒的分离柱供给流动相；下游侧配管，其相对于设置在柱设置位置的状态的...

自动分析装置

诊断半导体制造装置的状态的装置诊断系统具备装置诊断装置，在该装置诊断装置中，将从半导体制造装置收集的传感器数据作为输入，通过第一算法输出健全度指标，将健全度指标作为输入，通过第二算法输出半导体制造装置的正常时的阈值空间数据，将健全度指标...

本发明提供一种检体容器，即使在试管的口径存在偏差的情况下也能够高精度地分注检体