本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）...

本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）...

本发明的高速液体色谱分析装置可以获得与定速梯度洗脱法同样的分离效果，并且能够缩短测定时间。在通过数据处理装置（13）基于轨迹将过去的压力值变换为定压梯度程序的情况下，选择存储在压力轨迹存储部（13a）中的压力值轨迹文件并显示在显示器中，...

本发明提供保持光量变化并且减少气泡、杂物的影响的数据处理方法。在前方方向配置两个散射光受光器，将离光轴近的一侧的受光器（33a）设为主角度受光器，将离光轴远的一侧的受光器（33b）设为副角度受光器。根据副角度受光器的反应过程数据估计噪声...

本发明提供一种使用了氙气闪光灯的分光光度计及其性能测定方法，在所述分光光度计中能够与过去的存储数据核对。通常使用来自氙气闪光灯的光束，经由凹面镜后用分光器分光为任意波长，用光检测器检测透过试样的光束，由此进行分光分析。当进行性能测定时，...

本发明提供一种降低基板和掩模的挠曲或荫罩的翘曲的影响，能够高精度地蒸镀、或者通过将驱动部等配置在大气侧从而降低真空内的粉尘和气体的发生，生产性高或维修保养性高，工作效率高的有机EL器件制造装置或成膜装置。而且提供能够高精度地定位的定位装...

本发明提供分析装置，使用了散射光的分析装置降低在气泡等异物混入了测定对象的情况下，或附着在反应容器内的情况下产生的噪声的影响，且改善S/N比特性。在与向测定对象照射的光轴垂直的平面上且以光轴为中心的圆周上配置两个以上的检测器，且观察其输...

本发明提供一种在具有有机EL元件的设备中不使来自有机EL层的光提取效率恶化而阻水性和平坦化性高的密封膜及其制造方法。在具有从基板的主面侧起依次形成的阳极电极(103)、有机EL层(105)以及阴极电极(106)以及设置于基板上以覆盖该发...

本发明提供一种排热效果及重量平衡良好的小型质量分析装置。该质量分析装置是将重量件配置在高度尺寸H小于横宽尺寸W且进深尺寸D小于该高度尺寸H的箱体(100)的中央，并在横宽方向的两侧设置将多个电路基板9(50)分散收放的电路基板收放部(6...

本发明涉及能缩短蒸发源的冷却时间的蒸镀方法及蒸镀装置。在蒸镀准备工序中，在真空腔内配置蒸发源(10)及被处理物，蒸发源(10)具备：收容蒸镀材料(30)的坩埚(13)、加热坩埚(13)的加热部(14)以及向被处理物放出在坩埚(13)内气...

本发明以低成本提供一种具有防止Al的向上蠕动或Al蒸气浸入而难以引起破损的蒸发源的蒸镀装置。该蒸镀装置在真空腔室内具有蒸镀源单元(26)，其中，上述蒸镀源单元(26)具有：收容蒸发材料(5)的坩埚(1)、安装于上述坩埚(1)的开口部的喷...

本发明提供一种真空蒸镀装置及成膜装置，该真空蒸镀装置及成膜装置在大型基板上高速地形成膜厚均匀的有机EL上部电极用的铝金属薄膜，能够长时间连续运行。使用陶瓷制的坩埚，防止铝的向上蠕动，使用在横向上操作蒸发源列(3-2)进行蒸镀的机构，该蒸...

鉴于上述的问题点，本发明的目的在于提供不依存于材料和离子束照射角度的加工手法。为了达成上述目的，本发明提供一种加工装置，其向试料照射离子束而加工试料，其特征在于，具备使试料相对于所述离子束旋转倾斜的试料倾斜旋转机构，该试料旋转机构具备使...

本发明提供自动分析装置，其具有：容纳测定对象试样（1）的试样容器（2）、分注测定对象试样（2）的分注探针（5）、以及可装卸地安装于分注探针（5）中与测定对象试样（2）的浸渍部分的导电性针头（11），检测分注探针（5）的针头（11）与作为...

本发明提供一种在自动地进行容器的运送及利用盖部件密闭容器的分析装置中，适合用于实现可靠的密闭的机构。分析装置具备光传感器，该光传感器由至少一对光源（4）和受光器（5）构成，一对上述光源（4）和受光器（5）配置成隔着容器设置位置相对，并将...

在如下的测定方式中，即，在反应盘外周的圆周上配置反应容器和反应容器检测机构，在轨道上配置至少一个检测反应容器位置的检测器，隔着反应容器配置光源和分光检测器并测定反应容器的光量，具备如下的测定方式，即，以微细的分解度反复使反应盘进行动作和...

本发明提供不增加流道体积而能促进多个溶剂的混合的梯度方式的液相色谱仪。为此，设有：将多个溶剂从容器吸引并向试样注入装置输送的送液装置；将试样分离成成分的分离柱；以及检测从分离柱送液的试样的成分的检测器。在此，送液装置将多个溶剂从吸引口吸...

本发明提供一种有机EL器件制造装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室；将上述衬底搬入或搬出的交接室；以及将上述衬底在上述交接室和上述处理部之间进行搬运的搬运机构，其中，具有与上述交接...

本发明提供质量分析装置，其特征在于，具有：第一电极（11）；第二电极（12）；设于第一电极与第二电极之间且具有试样的导入部以及排出部的电介质部（10）；电源，其对第一电极与第二电极中的任意一方施加交流电压，并利用产生于第一电极与第二电极...

本发明提供一种即使连接有多台不同功能与处理能力的功能模块，也不会产生塞滞，整体分析效率高的分析装置。另外，提供一种即使追加了新的功能模块的情况，也无需考虑对现有功能模块的影响、无需再次构建用于提高整体处理能力的搬运计划等的自动分析系统。...