本发明公开了一种连杆型双臂真空机械手，涉及晶圆输送领域，包括：轴端输出部，端面开设有沿轴向延伸的约束孔；止动组件，具有径向约束块，径向约束块可部分或完全插入约束孔，径向约束块朝向所述轴端输出部的端面沿第一方向开设有楔形槽，所述楔形槽的槽...

本发明公开了一种紧凑型真空机械手，涉及半导体晶圆传递设备领域，包括，动力输出部；扭矩传递组件，包括锁固座和锁紧件，锁固座开设有供动力输出轴穿过的轴孔及自轴孔内缘轴向延伸的薄壁筒体，薄壁筒体上沿圆周方向均匀开设有多个轴向延伸的竖条孔，薄壁...

本发明公开了一种连杆型真空机械手，涉及晶圆输送领域，包括：两个相邻且能够独立转动的末端执行部；约束组件，包括至少两个沿第二方向间隔分布且相对设置的约束带，每个所述约束带的一端以不可活动方式连接于其中一个所述约束面的近侧端，另一端以可活动...

本发明公开了一种真空机械手臂，涉及半导体晶圆传递设备技术领域，包括扭矩传递机构，其包括：至少两个带轮，带轮具有围绕自身中心轴的外周面及位于轴向两侧端面；双重相对带，包括至少两个不同高度层级的扭矩传递带；容纳槽，沿所述带轮的一个端面向另一...

本技术公开了一种晶圆转移装置，包括：机械手，所述机械手用于取放晶圆，所述机械手包括底座；识别机构，所述识别机构用于识别晶圆的姿态，所述识别机构包括支架、感应器和驱动件，所述支架与所述底座滑动连接，所述感应器与所述支架连接，所述驱动件设置...

本技术提供一种电控制箱，应用于半导体制造系统，包括：箱体、支路开关单元、交流插接单元和开关电源；开关电源的输入端连接有交流电源；开关电源的输出端连接有若干不同支路开关单元的输入端；每个支路开关单元的输出端均连接有不同的交流插接单元；支路...

本技术提供了一种机械手的升降设备用倾斜调整装置，用于升降设备在支撑板上倾斜度的调整，所述升降设备被固定设于固定板上；还包括支撑件，固定在支撑板上与固定板的底部连接，用于固定板转动时提供支撑和高度调节；至少一个偏转部，固定设于支撑板上，用...

本技术提供了一种用于机械手执行器的水平调整装置，涉及半导体器械领域，用于机械手执行器的调平，包括第一安装板；安装外罩，安装在第一安装板上；第二安装板，设置在第一安装板的一侧，用于放置机械手执行器；多个调整部，安装在第一安装板上，分别与第...

本技术提供一种晶圆盒传输系统，包括：机械手、控制单元和板卡；所述机械手内设置有电机，所述机械手用于装载晶圆盒；当所述电机进入工作状态时，用于带动所述机械手和晶圆盒共同移动；所述板卡固定于机械手上，所述板卡包括共同设置在基板上的供电接口、...

本技术提供了一种丝杠抱闸装置，包括丝杠、设置在所述丝杠的抱闸装置、控制所述丝杠旋转的驱动电机、以及在所述驱动电机的驱动下沿着所述丝杠移动的执行器和设置在所述执行器上的重力传感部，所述重力传感部用于监测所述执行器是否处于正常状态，当所述驱...

本发明公开了一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法，涉及半导体技术领域，驱动组件至少包括驱动集成部，所述驱动集成部包括多个并列排布设置的直驱电机，且具有多个传动层级高度；其中，所述驱动集成部的其中一个所述直驱电机驱动所述第一臂绕第二臂...

本发明公开了一种不等臂长真空机械手，涉及半导体设备技术领域，包括安装主体、至少一个机械臂组件和传动组件；所述机械臂组件包括第一臂、第二臂、末端执行器；所述第一臂具有驱动端和第一传动端；所述第二臂具有第二传动端和执行端，所述第二臂与所述第...

本发明公开了一种多轴真空机械手，涉及半导体设备技术领域，包括安装主体和至少两个转移组件，转移组件包括两个机械臂组件；每个机械臂组件均包括第一臂、第二臂、末端执行器；第一臂具有驱动端和第一传动端，驱动端和第一传动端均有关节中心；第二臂具有...

本发明公开了一种双独立真空机械手，涉及半导体设备技术领域，包括安装主体和至少两个机械臂组件；每个机械臂组件均包括第一臂、第二臂、末端执行器；第一臂具有驱动端和第一传动端，均具有关节中心；第二臂具有第二传动端和执行端，均具有关节中心；所末...

本发明公开了一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法，涉及半导体技术领域，至少包括主供应结构和传输组件；所述传输组件包括供气管路和传输部，所述供气管路两端分别连通于主供应结构和传输部，所述传输部包括至少两组气路；其中，所述主供应结构的...

本发明公开了一种供电组件、晶圆搬运装置及电路的走线方法，涉及半导体技术领域，包括主供应结构和传输组件，所述传输组件包括至少两组供电线路和传输部，所述供电线路一端电连接于所述主供应结构，另一端电连接于所述传输部，所述传输部用于连接末端执行...

本技术提供了一种用于半导体设备的执行机构，包括基板、执行件、安装在基板上的丝杆传动机构、安装在基板上的驱动电机以及安装在基板上的锁紧装置；丝杆传动机构包括丝杆以及与丝杆螺纹连接的内螺纹管，驱动电机通过传动带与丝杆连接以带动丝杆转动，内螺...

本发明提供了一种传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法，真空机械手包括第一摆臂、第二摆臂以及晶圆拿取手，传动装置包括：第一传动机构设于第一摆臂内且沿第一摆臂的长度方向设置，第一传动机构的其中一个端部延伸出第一摆臂并与第二摆臂的其中一...

本技术提供一种供电板卡和半导体传输系统，该供电板卡应用于半导体机械手，包括：设置于同一基板的控制接口和若干执行接口；每个所述执行接口电连接开关单元或传感单元；每个执行接口均设置有第一信号端子和第一供电端子对；所述控制接口包括第二信号端子...

本发明公开了一种晶圆转运装置，包括：底座；末端执行器，所述末端执行器设置于所述底座上，所述末端执行器包括第一末端执行器和两组第二末端执行器，两组所述第二末端执行器相对设置于第一末端执行器的两侧；第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述第二末...