本发明提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，所述方法应用于半导体制真空设备，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过N个传感器，N为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中...

本发明提供一种设备系统测控方法，包括：生成测试程序；对所述测试程序进行参数配置，以匹配待测试的设备；利用配置后的测试程序对待测试的设备进行测试，以获得测试结果；可视化展示所述测试结果。通过对测试程序进行参数配置并以此对待测试的设备进行测...

本发明提供了一种传片机械手关节组件，包括第一活动部和第二活动部，第一活动部和第二活动部转动连接，回转限位结构包括长行程弧形滑道

本实用新型提供了一种机械手传动装置，包括壳体

本发明提供了一种信号翻转电路，包括信号翻转产生电路和保护电路，所述保护电路用于对所述信号翻转产生电路起到保护作用，所述信号翻转产生电路包括光电开关

本发明提供了一种晶圆预对准控制方法，包括以下步骤：数据采样；数据预处理；缺口区域检测；晶圆偏心计算；缺口角度计算；晶圆位置调整，通过脉冲触发方式获取所述晶圆旋转过程中的边缘数据，去除预对准设备运动性能和/或启动加减速对数据采样的影响，提...

本发明提供了一种机体设备控制系统，所述机体设备控制系统包括外部控制模块和第一插头，所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。本发明解决了现有技术中Z轴抱闸不可控的问题。现...

本发明提供了一种晶圆搬运装置和生产装置，包括机械臂组件、旋转驱动组件、升降组件和线缆组件；所述旋转驱动组件包括第一旋转驱动组件和第二旋转驱动组件，所述线缆组件包括弹性线缆件，所述弹性线缆件分别与所述第一旋转驱动组件和所述第二旋转驱动组件...

本发明提供了一种晶圆输送装置和生产装置，包括机械臂组件、旋转驱动组件和升降组件；所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与下大臂连接以驱动下大臂进行旋转运动，上...

本发明提供了一种晶圆运输装置和生产装置，包括机械臂组件和旋转驱动组件；所述机械臂组件包括依次连接的大臂、小臂和末端执行器；所述旋转驱动组件包括与所述大臂连接的第一旋转驱动组件和与所述小臂连接的第二旋转驱动组件；所述第一旋转驱动组件和所述...