晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，所述方法应用于半导体制真空设备，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过N个传感器，N为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中心位置；根据触发信号和手指中心位置计算出传感器的触发点位置，以及所述触发信号的延迟时间；控制机械手第三次以及之后经过所述传感器时，计算补偿所述延迟时间后的传感器触发时手指中心位置；根据传感器的位置参数，使用加权最小二乘法对传感器的触发点位置进行迭代计算，以提高偏差计算精度，得出晶圆的实际偏心值。该方法用于提高对晶圆偏心值计算的精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质。

技术介绍

1、半导体制真空设备通常具有一个放置预处理晶圆的装载台，一个用于处理晶圆的反应模块，和用于装载台与反应模块之间传输晶圆的处理系统。目前半导体制造设备中，晶圆处理系统通过机械手在不同制造设备中取放晶圆，机器手可以根据在制造设备中预设的位置自动化执行晶圆处理任务。

2、在传输晶圆的过程中，晶圆中心放置的位置精度是机械手的重要技术指标，现有技术中存在传感器响应时间噪声，会干扰晶圆偏心值的计算，晶圆放在偏心位置可能导致破损或者错位，不利于提升晶圆质量。因此，亟需一种新型的晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质以改善上述问题。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，该方法用于提高对晶圆偏心值计算的精度。

2、第一方面，本专利技术提供一种晶圆偏心检测方法，应用于半导体制真空设备，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过n个传感器，n为正整数，实时采集晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆偏心检测方法，应用于半导体制真空设备，其特征在于，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过N个传感器，N为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中心位置；

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过N个传感器，N为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中心位置,包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据触发信号和手指中心位置计算出传感器的触发点位置，以及所述触发信号的延迟时间包括：

...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆偏心检测方法，应用于半导体制真空设备，其特征在于，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过n个传感器，n为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中心位置；

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过n个传感器，n为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中心位置,包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据触发信号和手指中心位置计算出传感器的触发点位置，以及所述触发信号的延迟时间包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据触发信号和手指中心位置计算出传感器的触发点位置，以及所述触发信号的延迟时间，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制机械手第三次以及之后经过所述传感器时，计算补偿所述延迟时间后的传感器触发时手指中心位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱玉东，何海龙，高路为，莫涵，
申请(专利权)人：中科芯微智能装备沈阳有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载 我是这个专利的主人