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本发明提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，所述方法应用于半导体制真空设备，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过N个传感器，N为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中心位...
该专利属于中科芯微智能装备（沈阳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科芯微智能装备（沈阳）有限公司授权不得商用。

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