本发明涉及半导体生产领域，提供一种用于洁净机器人设备的示教方法、示教器、系统和介质，该方法包括：S1，获取初始配置文件，初始化示教器的配置信息；S2，根据示教器当前的配置信息，获取可连接的洁净机器人设备信息；所述洁净机器人设备信息对应N...

本发明提供一种应用于晶圆预对准的数据采集方法、装置、设备和介质，该方法包括：S1，获取晶圆触发的第一脉冲信号；S2，当获取到上位机输出的开始采集指令时，开始对所述第一脉冲信号做分频处理，以获得第二脉冲信号；S3，以所述第二脉冲信号作为触...

本发明提供了一种或门信号翻转电路，或门信号翻转电路包括控制模块、第一信号模块、N个第二信号模块、以及与第二信号模块电连接的N个NPN型传感器，N个第二信号模块之间串联，第二信号模块与第一信号模块电连接，第一信号模块与控制模块电连接，当N...

本发明提供了一种稳压滤波电路，包括供电模块、第一滤波模块、第二滤波模块、连接模块和伺服电机，所述供电模块、所述第一滤波模块、所述第二滤波模块、所述连接模块和所述伺服电机依次电连接，所述供电模块提供的电流经过所述第一滤波模块和所述第二滤波...

本发明提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，该方法包括：控制机械手带动晶圆以低速经过N个传感器；根据晶圆以低速和高速触发传感器时对应的机械手的手指中心位置信息计算第一坐标和第二坐标；根据第一坐标和第二坐标计算延迟位置误差；根据...

本发明提供一种动态晶圆纠偏方法、装置、设备和介质。该方法包括：S1，初始化机械手的运动参数；S2，驱动器控制机械手沿运动方向平移，以使晶圆触发N个传感器；每个传感器对应晶圆边缘上的至少一组触发信号；根据配置指令，在机械手沿同一运动方向平...

本发明提供一种晶圆状态检测方法、装置、设备和介质，该方法包括：根据传感器经过晶圆过程中的触发信号，确定传感器的触发阈值；采集传感器慢速和快速经过放置有晶圆的不同晶圆槽时触发数据，计算速度影响因子；驱动传感器移动并扫描不同晶圆槽，记录晶圆...

本发明提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，所述方法应用于半导体制真空设备，包括：控制机械手带动晶圆以低速和高速两次经过N个传感器，N为正整数，实时采集晶圆边缘触发所述传感器时的触发信号，同时获取每次传感器触发时机械手的手指中...

本发明提供一种设备系统测控方法，包括：生成测试程序；对所述测试程序进行参数配置，以匹配待测试的设备；利用配置后的测试程序对待测试的设备进行测试，以获得测试结果；可视化展示所述测试结果。通过对测试程序进行参数配置并以此对待测试的设备进行测...

本发明提供了一种传片机械手关节组件，包括第一活动部和第二活动部，第一活动部和第二活动部转动连接，回转限位结构包括长行程弧形滑道

本实用新型提供了一种机械手传动装置，包括壳体

本发明提供了一种信号翻转电路，包括信号翻转产生电路和保护电路，所述保护电路用于对所述信号翻转产生电路起到保护作用，所述信号翻转产生电路包括光电开关

本发明提供了一种晶圆预对准控制方法，包括以下步骤：数据采样；数据预处理；缺口区域检测；晶圆偏心计算；缺口角度计算；晶圆位置调整，通过脉冲触发方式获取所述晶圆旋转过程中的边缘数据，去除预对准设备运动性能和/或启动加减速对数据采样的影响，提...

本发明提供了一种机体设备控制系统，所述机体设备控制系统包括外部控制模块和第一插头，所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。本发明解决了现有技术中Z轴抱闸不可控的问题。现...

本发明提供了一种晶圆搬运装置和生产装置，包括机械臂组件、旋转驱动组件、升降组件和线缆组件；所述旋转驱动组件包括第一旋转驱动组件和第二旋转驱动组件，所述线缆组件包括弹性线缆件，所述弹性线缆件分别与所述第一旋转驱动组件和所述第二旋转驱动组件...

本发明提供了一种晶圆输送装置和生产装置，包括机械臂组件、旋转驱动组件和升降组件；所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与下大臂连接以驱动下大臂进行旋转运动，上...

本发明提供了一种晶圆运输装置和生产装置，包括机械臂组件和旋转驱动组件；所述机械臂组件包括依次连接的大臂、小臂和末端执行器；所述旋转驱动组件包括与所述大臂连接的第一旋转驱动组件和与所述小臂连接的第二旋转驱动组件；所述第一旋转驱动组件和所述...