中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本实用新型涉及一种水文多要素一体化监测设备,包括外壳、复合传感器探测模块、主控处理模块、无线专网传输模块和电池模块,所述外壳的底部设置有所述复合传感器探测模块,所述外壳内设置有主控处理模块、无线专网传输模块和电池模块;所述外壳的顶部设置...
  • 本发明提供一种MEMS微镜单元,所述MEMS微镜单元包括:镜面层,包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构;致动器层,包括交叉排列的三个致动器,每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦...
  • 本发明涉及一种胶体二氧化硅的制备方法,本发明采用胶体二氧化硅颗粒边生长边过滤边超滤浓缩排水的方法,实现颗粒制造周期缩短一半以上,生产效率大大提高;制备得到的胶体二氧化硅,粒径在60nm‑150nm,大颗粒数(≥0.56微米的颗粒数)&l...
  • 本发明涉及一种相变存储器件仿真模型,包括:相变电阻模块,用于计算当前的所述相变单元的阻值;相变电压电流模块,用于根据所述当前的所述相变单元的阻值、结晶率、熔融率、以及设置的参数由电路仿真器得到所述相变单元的电压和电流;温度计算模块,用于...
  • 本发明提供一种SQUID测试组件串扰的标定、消除方法及系统,包括:模拟与实际被测磁场强度相等或相同量级的正弦磁场;在多通道SQUID测量模块中被串扰通道及串扰通道均正常工作的情况下,测量被串扰通道及串扰通道的输出信号;在被串扰通道正常工...
  • 本发明提供一种改性电极及其制备方法和用途,所述改性电极包括电极,所述电极的工作区域覆盖有复合材料层,所述复合材料层为含有银铂合金纳米颗粒和还原氧化石墨烯的高分子聚合物膜层。本发明提供一种简单有效的改性电极,基于电化学技术与丝网印刷电极,...
  • 本发明提供一种集成超导器件及其制备方法,该集成超导器件包括衬底及位于衬底上的超导纳米线单光子探测器与超导单磁通量子电路,其中,超导纳米线单光子探测器包括超导曲折纳米线;超导单磁通量子电路包括电感层、约瑟夫森结及电阻层,电感层及电阻层均与...
  • 本发明提供一种基于超表面结构的超导纳米线单光子探测器及其制备方法,该探测器包括:衬底;超导纳米线单光子探测器,形成于衬底的一面,包括形成于衬底上的超导纳米线层;超表面结构,形成于衬底的另一面,且通过刻蚀衬底的另一面形成,超表面结构由具有...
  • 本发明涉及一种用于SOI基GaN晶圆及其制备方法,所述GaN晶圆由下到上依次包括:SOI衬底、AlN成核层、Al
  • 本发明提供了一种室温磷光检测毒品气体的芳香酚类化合物及其传感薄膜以及应用。所述芳香酚化合物具有如式I所示的结构。所述薄膜中的有机物包括含有酚羟基的共轭芳香性大环化合物,同时芳环上还包含吸电子取代基,选取合适溶剂配制成溶液后通过滴涂、浸涂...
  • 本发明涉及一种连接有硅基微阀的微腔式数字PCR(digital Polymerase Chain Reaction,dPCR)碟式芯片,包括碟式圆盘(1)和若干个反应单元(2),所述反应单元(2)由圆盘内到外依次包括通过连接管道相连的样...
  • 本发明提供一种顺磁性手性石墨烯量子点及其制备方法和用途,所述顺磁性手性石墨烯量子点的原料组分包括手性石墨烯量子点、螯合剂和顺磁性金属离子,所述手性石墨烯量子点与螯合剂通过相互之间官能团反应形成共价键,所述螯合剂与所述顺磁性金属离子通过配...
  • 本发明涉及一种PDMS微流控芯片注塑模具及制作方法,包括刚性模具和半刚性上盖;所述半刚性上盖由上至下包括支撑层、弹性密封层和防粘附层;所述支撑层或弹性密封层上设有支撑微柱阵列,所述支撑微柱阵列之间的空隙形成空腔。本发明可以制作出精确形状...
  • 本发明提供一种微纳光纤‑波导‑超导纳米线单光子探测器及制备方法;固定于V型槽的微纳光纤可以和波导实现高精度的光耦合对准,并使微纳光纤由粗变细的过渡段悬空,防止光向衬底的泄露,进而减少光传输过程的损耗;波导型超导纳米线结构可以在片上实现对...
  • 本发明涉及一种应用于时分多址物联网中的终端模拟平台,包括:平台控制层、协议处理层、终端模拟层和模拟终端管理层,所述模拟终端管理层作为所述终端模拟层与节点交互的中间层,通过单个射频通道与节点相连,并管理所述终端模拟层的行为;所述终端模拟平...
  • 本发明涉及一种集成可调硅光延时单元及延时线,其中,延时单元包括依次相连的光开关、延时结构和可调光衰减器;光开关包括多模干涉输入器和多模干涉输出器,多模干涉输入器与多模干涉输出器通过两段厚膜深刻蚀的硅光波导分别连接,两段厚膜深刻蚀的硅光波...
  • 本申请实施例所公开了一种浸渍式点样仪及微悬臂梁传感芯片的制备方法,通过控制注射器的针头中的敏感材料样品液充满针尖,再控制移动平台将待点样微悬臂梁传感芯片的待点样区域插入针头中,使得样品液粘附在待点样微悬臂梁传感芯片的待点样区域,如此,无...
  • 本发明涉及一种柔性光伏组件及其制备方法,从下至上依次是正面封装薄膜、封装胶膜、太阳能电池串、封装胶膜、背板衬底,所述太阳能电池串由太阳能电池通过互联条互联而得;其中,所述太阳能电池正反两面设置有细栅线电极、与细栅线交叉的主栅线电极,以及...
  • 本实用新型涉及一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪,包括输入Y分支波导和输出Y分支波导,所述输入Y分支波导和输出Y分支波导的结构相同,所述输入Y分支波导的第一输出端通过第一直波导与输出Y分支波导的第一输入端相连;所述输入Y分支波...
  • 本实用新型提供一种硅基集成量子芯片,将超导纳米线集成在硅波导的上方,使得超导纳米线与硅波导通过氧化硅覆盖层形成倏逝波耦合,可实现波导耦合的片上单光子探测;通过位于超导纳米线与硅波导之间的氧化硅覆盖层,可实现较高的倏逝波吸收率,且氧化硅覆...