本发明涉及深紫外投影光刻物镜技术领域，具体公开一种一体式轴向精密微调装置。本发明提供一种一体式轴向精密微调装置，包括镜框、驱动器，镜框为圆环结构，包括平动部、固定部和连接部，平动部和固定部由沿圆周的间接切割线分开，连接部为整体切割的铰链...

本发明涉及位移控制技术领域，尤其涉及一种压电陶瓷驱动装置，包括一电压基准、一微处理器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一电压放大器、第二电压放大器及压电陶瓷，微处理器的两输出端分别与所述第一数模转换器及第二数模转换器的输入端连接，第一...

本发明公开了一种基于平行四边形机构的磨头连接装置，属于精密光学加工装置技术领域。该装置包括由芯轴、磨头盘面、立杆、球头、上三角板和下三角板；芯轴垂直安装在上三角板和下三角板上，三根立杆通过球面关节轴承与上三角板和下三角板上的顶角部位连接...

本发明提供一种用于光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法，所述方法包括：在显微成像装置中加入波前编码板；根据显微成像装置的物镜的倍率对加入波前编码板后的光线入射角度进行分析；根据景深延拓及适应不同倍率显微物镜成像的要求，对波前编码板位...

本发明涉及光学镜头技术领域，具体公开一种适用于远距离成像的长焦距复消色差光学镜头。沿光线入射方向此光学镜头依次包括第一透镜组、孔径光阑、第二透镜组、第三透镜组、像面；第一透镜组包括依次排列的第一折射正透镜，第一折射负透镜，第二折射正透镜...

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量装置、调整机构、球冠网格板和数据处理装置，球冠网格板，用于对所述被检光学元件进行畸变标定；调整机构调整光学被检光学元件处...

本发明公开了一种光栅刻划刀定向角的测量装置，包括底座、刀架安装座、刻度盘和光源组件，其中，刀架安装座用于安装具有待检测的刻划刀的刀架，刀架安装座和刻度盘均安装在底座上，并且刻度盘上设置有观测视口，以对刻划刀的位置进行定位，指针用于指示光...

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及凸非球面镜面形检测系统，点衍射干涉装置产生衍射光，并与被测凸非球面镜的反射光进行干涉；基准凹球面镜将衍射光反射至被测凸非球面镜，并将被测凸非球面镜的反射光反射至点衍射干涉装置；基准凹球面镜调整机构调整...

本发明公开了一种光栅刻划刀方位角的测量装置及其测量方法，其包括安装座、旋转台和观察镜，其中，安装座用于待检测刀架的安装与定位，而旋转台包括固定部和旋转部，旋转部和固定部沿周向均具有角度刻度，安装座安装在旋转部上；观察镜具有位于基准位置的...

本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频电源和匹配器为感...

本发明提供的一种去除拼接检测中支撑的方法及装置，采用最大似然估计除去拼接检测中支撑误差，避免了多次全口径面形的检测，减少检测时间、机械误差的累积，提高检测的效率和精度，有效分离出了支撑面形。

本发明公开了一种非球面补偿镜的设计和装配方法、非球面光学检测系统和方法。所述非球面补偿镜的设计方法包括步骤：将干涉仪参考面设置于非球面补偿镜的内部；将设置好干涉仪参考面的非球面补偿镜通过标准具接口直接安装于干涉仪的标准具接口位置。本发明...

本发明了一种用于磁流变加工设备中缎带凸起的光学标定方法，属于光学加工技术领域。该方法是将抛光轮移置于扫描仪激光出射口的正上方，利用高速激光轮廓扫描仪来完成对抛光轮底部一定范围内的磁流变液缎带凸起的轮廓进行三维扫描，然后对扫描得到的三维数...

高集成度太阳模拟器，涉及太阳光辐照特性领域，解决了现有太阳模拟器装调和检测中存在的过程反复繁杂、耗时耗力的问题。包括底座、上箱体、下箱体、调平地脚、脚轮、氙灯光源、电动调节机构、两个折转反射镜、连接镜筒、光学积分器组件、垂直镜筒、准直镜...

一种用于视频小卫星载荷的一体化图像处理系统，视频小卫星载荷电子学系统研制领域，为了解决现有技术存在成本高、工作效率低、体积重量功耗大，的问题，该系统包括系统控制模块、图像接口模块、数传接口模块、高速缓存模块、图像压缩模块、图像存储模块和...

本发明公开一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，一、分别对主反射镜和第三反射镜进行加工直至各单镜全口径干涉检测面形的RMS值均优于1/10λ，λ为激光干涉仪工作波长；二、根据设计参数，设计并加工用于固定主反射镜和第三反射镜的一...

视频卫星对地面区域目标进行凝视成像的仿真方法及系统，涉及光电成像技术领域，解决现有仿真系统无法验证实时姿态机动的视频卫星对地面目标进行凝视成像的问题，包括球面P3型LED显示系统，航天CMOS相机成像系统和三轴气浮仿真平台姿态控制系统，...

本发明公开了一种光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法，其包括基座、转盘、基准镜、支架和刀架安装座，测量时，测量装置处于基准位置，即第一定位标识和第二定位标识重合，将带有刀刃不倾斜的刻划刀的刀架安装在刀架安装座上，刻划刀的刀刃在测量面上...

空间光学遥感器碳纤维结构稳定性的自动测试系统及方法，涉及空间光学遥感技术领域，解决现有空间光学遥感器的结构由于采用金属材料，无法满足比刚度要求，采用碳纤维材料时无法确定其稳定性等问题，气浮平台安装在减振地基上，多窗口空间环境模拟设备和电...

一种用于无人机前起落架的全电动转向减摆装置属于无人机技术领域，目的在于解决飞机滑跑时产生侧偏的问题。本发明的一种用于无人机前起落架的全电动转向减摆装置包括：固定支柱，所述固定支柱为中空结构；整体固定在固定支柱内部的转向驱动模块；上端和所...