中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本发明公开了一种半导体器件的制作方法,包括:在衬底上形成基本功能层;在基本功能层上形成导电掩膜层;刻蚀导电掩膜层,以在导电掩膜层上形成向下凹陷的窗口;在导电掩膜层和窗口上形成绝缘介质层;刻蚀绝缘介质层,以在窗口内形成侧墙,侧墙位于导电掩...
  • 本公开提供了一种光电三极管,应用于半导体领域,包括:衬底;本征I层,设置于在所述衬底上;N+集电极层,设置于在所述本征I层内;P+基极层,设置于在所述本征I层内;N+发射极层,设置在所述P+基极层内;钝化减反膜,设置于所述本征I层上,所...
  • 本公开提供一种掩埋结构半导体激光器及其制备方法,方法包括:在衬底上依次叠设生长有源层和盖层;在盖层上制作介质掩模;根据介质掩模在盖层上覆盖的掩模图形,刻蚀掩模图形以外区域的盖层和有源层至衬底,暴露部分衬底并形成一固定结构;在固定结构相对...
  • 本发明提供一种基于静电传感器的烟气流型识别方法及装置,涉及烟气排放测量技术领域。该方法包括:在烟气排放管道中采集静电传感器的输出信号;基于互相关运算,计算所述输出信号的渡越时间以及颗粒物的速度估计值;计算单带电颗粒经过所述静电传感器敏感...
  • 一种基于温度场重构计算的传感器芯片检测系统,包括上位机、温箱、设置于温箱内的标件组件及检测台组件;标件组件包括:第一支板;多个温度检测单元,均匀间隔设置于第一支板上;采集单元,适用于采集每个温度检测单元所检测的第一温度信号、并将第一温度...
  • 本发明提供一种基于机器学习的半导体工艺过程控制方法,涉及外延半导体薄膜生长技术领域。该方法包括:步骤S1,获取当前的生产条件参数,控制样品在生产条件参数下生长;步骤S2,获取原位监测仪器采集到的样品的当前生长数据,使用机器学习算法预测当...
  • 本发明公开了一种健康监测系统的制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上形成柔性压力传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化太阳能电池,形成柔性压力传感器包括:采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状...
  • 本公开提供一种基于角锥阵列的雷达感知装置及位置检测方法。其中,该雷达感知装置包括:支撑件,用于将装置固定于预设位置;旋转件,设置于支撑件相对预设位置的方向上,用于相对支撑件执行旋转操作;角锥阵列,用于向目标雷达器件发送目标激光,以便目标...
  • 本公开提供了一种高速随机数发生器,包括:微腔混沌激光器(1),用于在无外光注入、外光反馈或外光电反馈条件下,利用模式间相互作用产生大频谱带宽的混沌光信号,其中,所述微腔混沌激光器(1)为片上半导体自发微腔混沌激光器;光纤耦合器(2),用...
  • 本发明涉及半导体光电子技术领域,提供一种锁模激光器及其驱动方法,该锁模激光器包括:饱和吸收体、输入端波导区、多模干涉耦合器以及多个不同长度的反射臂,每个反射臂包括依次排列的输出端波导区、相位控制区以及多模干涉反射镜;其中,饱和吸收体设置...
  • 本公开涉及雷达技术领域,尤其涉及一种基于微波光子变频技术的雷达系统。其中,该雷达系统,包括:天馈分机、多通道微波光子变频分机、光电混合频率源分机、高速信号处理分机、显控分机和电源分机;天馈分机定向辐射雷达射频功率信号,并定向接收所述雷达...
  • 本发明提供了一种地应力和微震一体化监测装置及系统,其中,该装置包括:管体,管体内形成有注浆通道;应力监测组件,套设于管体,应力监测组件与管体之间形成有空腔;微震监测组件,套设于管体;线缆连接组件,套设于管体,应力监测组件与微震监测组件均...
  • 本公开提供一种MEMS开关,包括:衬底;第一触点(5)和第二触点(7),设置在衬底上;可变形的导电悬臂(8),导电悬臂的第一端与第一触点(5)电连接;以及第一可动触点(9),设置在导电悬臂(8)的第二端,使得导电悬臂(8)通过第一可动触...
  • 本公开提供一种光电探测器、应变锗基LED以及制备方法,光电探测器包括:依次叠加的衬底、第一半导体层、光探测层和第二半导体层;微纳米孔阵,依次贯穿第二半导体层、光探测层和第一半导体层中的至少一层,用于增强光沿层面方向的传播;应力层,用于产...
  • 本发明公开了一种利用半导体激光器实现全息光刻的装置,可以应用于半导体光电器件技术领域。该装置包括:激光发射组件,检测组件和干涉装置。激光发射组件包括:蓝光激光二极管,准直透镜,驱动/温控模块,光栅构成光栅外腔结构,用于产生并输出单纵模蓝...
  • 本公开提供了一种光加密智能门锁装置,包括锁组件和钥匙组件,其中,所述锁组件,包括:第一接口;第一控制芯片,包括第一识别口令;以及接收单元,与所述第一控制芯片电性连接;其中,所述钥匙组件,包括:第二接口,被配置为与所述第一接口电性连接,以...
  • 本公开涉及被动探测技术领域,尤其涉及一种宽带被动探测系统。其中,该宽带被动探测系统,包括:光电混合频率源分机给多通道微波光子变频分机提供光本振信号、上变频本振信号、高本振信号,给高速信号处理分机提供时钟信号;宽带阵列天线分机接收空间的辐...
  • 一种c轴择优取向氧化锌镁脊型波导及制作方法,该方法包括:在c轴择优取向Zn
  • 一种LED封装结构,包括:外壳(1),其内密封有发光元件(2)及相变材料(4),其中,所述发光元件(2)产生的光波可透过所述相变材料(4),所述相变材料(4)用于吸收所述发光元件(2)产生的热量。该LED封装结构通过设置相变材料,将发光...
  • 一种基于LED可见光的定位方法,包括:发射LED可见光,使LED可见光射向预设空间内的各探测位置;探测各探测位置的可见光光强;将可见光光强输入预设的位置数据库,使可见光光强与预设的位置数据库中的预存光强匹配,其中,位置数据库中预存有预设...