本实用新型涉及玻璃暂存机技术领域，特别是涉及一种玻璃基板冷却暂存机。包括底座、冷却部和暂存部，所述冷却部和暂存部叠放在底座上，所述冷却部和暂存部内均设置有多层用于放置玻璃基板的分层结构，所述冷却部内还设置有用于冷却玻璃基板的冷却设备，所...

本发明公开了一种晶圆贴膜机，包括膜输送装置、贴膜装置以及拉膜装置。膜输送装置包括两个膜输送轮。两个膜输送轮之间具有贴膜工作区，且膜输送装置用以使薄膜于贴膜工作区沿输送方向自其中一膜输送轮移动至另一膜输送轮。贴膜装置设置于贴膜工作区，且贴...

本实用新型公开了一种侧压连动屏蔽门结构，包括屏蔽门和门架，所述门架上设有与屏蔽门对应的通口，所述通口边缘或屏蔽门上设有密封条，所述屏蔽门外侧设有固定骨架，所述固定骨架与所述门架滑动连接；所述固定骨架上设有使其左右移动的驱动装置和使屏蔽门...

本实用新型公开了一种真空吸附式接料装置，其包括接料平台、压制装置以及将薄膜平整吸附在接料平台上的吸附装置，所述压制装置设置于所述接料平台的台面上，所述吸附装置包括用于吸附上膜的第一吸附装置和用于吸附下膜的第二吸附装置，所述接料平台上放置...

本实用新型公开了一种新型的干燥固化机，包括固化机主体，所述固化机主体包括平行布置的IR加工通道和UV加工通道，所述IR加工通道的进料端和UV加工通道的出料端位于两者的同一端，所述IR加工通道的出料端和UV加工通道的进料端之间设有与两者连...

本实用新型公开了一种非接触式输送隧道炉，包括基座、沿物料输送方向依次布置在基座上的放料机构、轮组机构和收料机构；所述的轮组机构包括若干个上下交替布置的传动轮和气浮轮；所述的传动轮与基座旋转连接；所述的气浮轮设有进气通道，在气浮轮的轮面设...

本实用新型公开了一种高温旋转烤炉式烘箱，包括烤箱本体，所述的烤箱本体的内侧底部设有绕竖直轴线旋转的转盘，所述的转盘下方连接有能使转盘转动的驱动装置，所述的转盘上侧快拆式连接有承盘组架，所述的承盘组架底部设有横向延伸的插孔。本实用新型的优...

本实用新型公开了一种氮气空气共用烤箱，包括箱体和与箱体连接的控制机构，所述控制机构上设有氮气进口，所述箱体上设有氮气出口、空气进口和空气出口，所述箱体内设有两个中转腔，其中一个所述中转腔的一侧与空气进口连接，另一个所述中转腔的一侧与空气...

本实用新型公开了一种UV能量恒定输出装置，包括UV室，所述的UV室内设有灯罩，所述的灯罩中部设有UV灯，所述的灯罩上设有位于UV灯上方的抽风口，在所述的UV灯的下方设有UV传感器；所述的灯罩在UV灯与UV传感器之间设有透明板，还包括控制...

本实用新型公开了一种玻璃基板多层存放机构，包括固定支架和多层水平布置的支撑层，每层支撑层包括多条间隔设置的悬臂，每层所述的支撑层的悬臂在水平面上的投影重合，并形成多列悬臂，所述的悬臂的一端与固定支架连接，所述的悬臂的另一端为自由端。本实...

本实用新型公开了一种可移动式压膜预热机，包括预热机本体，所述的预热机本体包括由上至下依次设置的上机架、输送机构和下机架，所述的上机架和下机架内均设有多个并排设置的短波灯具组，所述的输送机构一端穿过上机架且位于下机架的上侧形成入料端，所述...

本实用新型公开了一种用于输送工作物整板的机构，包括机架，所述机架设有多条输送辊，所述机架设有能顶起工作物整板的顶起机构，所述机架在输送辊的两侧皆设有调整机构，所述调整机构包括沿输料方向布置的安装板、推动安装板向输送辊一侧移动的第一驱动装...

一种曝光组件及曝光装置，其中，曝光组件包含：一底座及一吸附板。底座用以与一抽气模块连接。吸附板用以承载一待曝光件，吸附板设置于底座上，吸附板包含有多个穿孔，抽气模块能通过穿孔使待曝光件贴附于吸附板；吸附板能吸收通过吸附板而由底座反射的部...

本发明公开了一种玻璃基板多层存放机构，包括固定支架和多层水平布置的支撑层，每层支撑层包括多条间隔设置的悬臂，每层所述的支撑层的悬臂在水平面上的投影重合，并形成多列悬臂，所述的悬臂的一端与固定支架连接，所述的悬臂的另一端为自由端。本发明的...

本发明公开了一种非接触式输送隧道炉，包括基座、沿物料输送方向依次布置在基座上的放料机构、轮组机构和收料机构；所述的轮组机构包括若干个上下交替布置的传动轮和气浮轮；所述的传动轮与基座旋转连接；所述的气浮轮设有进气通道，在气浮轮的轮面设有多...

一种晶圆加工机台及其加工方法，包括一腔体、一上压装置、一承载装置及一对位装置，腔体可为一真空状态，上压装置、承载装置及对位装置分设于腔体内，于腔体内设有一晶圆及一玻璃基板并于所述腔体内完成烘烤、消除翘曲及冷却的工艺，达到一具有三合一功能...

本实用新型公开了一种气态溶剂快速回收装置，包括一收集箱，所述收集箱包括顶部为开口的收集槽与盖体，所述盖体与收集槽开口匹配，盖体通过扣锁与收集槽拆卸连接，所述盖体上接通有第一接口、第二接口与第一接头，所述第一接头位于第一接口与第二接口之间...

本发明公开了一种切膜装置，用以裁切适于贴附于一晶圆的一薄膜，其中晶圆具有一外缘以及位于外缘的一凹槽。切膜装置包含一承载座、一运动模块、一凹槽切刀以及一外缘切刀。运动模块设置于承载座。凹槽切刀设置于运动模块，使得运动模块可带动凹槽切刀相对...

本实用新型公开了一种用于基板表面清洁与改质的机台，该装置包括机台主体，所述机台主体包括腔体、高真空挡板阀以及与高真空挡板阀连接的真空泵；所述腔体的一侧设有匹配器，所述匹配器与一出线电极连接，所述出线电极与设置在所述腔体侧壁上的电极接触柱...

本实用新型公开了一种无氧隧道炉，包括入料段、入料缓冲段、加热段、出料缓冲段和出料段，且各段之间分别通过气密闸门封闭；入料缓冲段和出料缓冲段设有排氧管路；加热段内设有垂直向上延伸的提升机构和下降机构，提升机构与下降机构顶部通过平移机构移动...