本发明提供一种基板处理装置，其可在维护时确保操作员的安全，并且抑制装置整体的大型化，进而提高生产性。本发明的装置包括：多个载台(10A、10B)，相邻地设置，且分别保持基板(W)；单元(20B、20C)，分别与载台(10A、10B)相向...

本发明提供一种接触位置设置装置、安装装置及接触位置设定方法，可抑制偏移地设定用于保持部与接触对象接触的接触基准高度位置。接触位置设定装置具有：驱动机构，使抽吸保持电子零件的保持部在与接触对象接触分离的方向上移动；接触检测部，检测保持部与...

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，可抑制生产性的降低。实施方式的基板处理装置包括：搬送机器人，设于搬送室内，搬送基板；移动机构，设于搬送室内，使搬送机器人移动；以及控制单元(72)。控制单元(72)包括：识别部(73)，检测搬...

本发明提供一种可提高经处理的基板的品质的基板处理装置。实施方式的基板处理装置具有：供给部，对利用旋转体旋转的基板供给处理液；基座构件，沿着以旋转体的轴为中心的圆配置有三个以上；夹紧销，设置于从基座构件的转动的轴偏心的位置，随着基座构件的...

本发明提供一种可进行ACF相对于基板的粘附状态的检查并且提高生产效率的粘附装置及粘附方法。实施方式的粘附装置具有：工作台，对多个基板进行保持；压接部，将ACF压接于多个基板；供给部，供给ACF；驱动机构，使基板与压接部对位；拍摄部，对粘...

本发明提供一种安装装置以及安装方法，能够抑制漂移的影响而将电子零件安装至基板的准确位置。实施方式的安装装置(10)具有：摄像机位置计算部(110)，基于由基准摄像机(40)所拍摄的载台基准标记(SM)的图像与由副摄像机(50)所拍摄的载...

本发明提供一种可提高基板的面内的处理速率的均匀性的基板处理装置。基板处理装置(1)包括：保持部(10)，对基板(W)进行保持且能够旋转；处理液供给部(21)，向基板(W)供给第一处理液以及温度比第一处理液低的第二处理液；环构件(31)，...

本发明的基板处理装置以及基板处理方法能够抑制基板的下表面的污染。基板处理装置包括：旋转保持部，在保持着基板的状态下使所述基板旋转；处理液供给部，在所述基板旋转的状态下对所述基板的上表面及下表面供给处理液；清洗液供给部，在对所述基板的所述...

本发明提出一种干燥装置、干燥状态确认方法及晶片收纳容器清洗装置。本发明的课题在于对于对象物的干燥状态进行确认。实施方式的干燥装置包括：干燥槽，在内部对干燥处理的对象物进行保持；减压装置，使干燥槽的内部减压；以及控制部，通过对减压装置进行...

本发明提供一种安装工具及安装装置，即使是不同尺寸的电子零件也可在不改变安装工具的形状的情况下使用，可降低安装于基板时的气泡的残留。实施方式的安装工具具有：保持部，具有相较电子零件的相反的一对外缘更靠内侧处进行保持的保持面；扩张部，具有相...

本发明提供一种可减小工件的面内的温度的偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室，在内部具有对工件进行加热处理的加热区域；至少一个第一加热器，在所述腔室的内部设置于所述加热区域的上方及下方中的至少任一者，且沿第一方向延伸；以及...

本发明的晶片收纳容器清洗装置抑制在清洗槽中被清洗的晶片收纳容器的污染。所述晶片收纳容器具有壳体及门，所述晶片收纳容器清洗装置包括：清洗槽主体，为在上表面具有开口部、且能够在内部收容所述晶片收纳容器的容器；盖部，设置于所述清洗槽主体；载置...

本发明的课题是提供一种晶片收纳容器干燥装置及清洗系统，可抑制干燥槽的内部空间的容积的增大。实施方式的晶片收纳容器干燥装置具有对晶片收纳容器进行干燥的干燥槽，晶片收纳容器具有：主体，具有对晶片进行收纳且与开口部连通的收纳空间，并具有由机器...

本发明提供一种无论所拍摄的图像如何均可提高图案匹配的成功率的图像处理装置与方法、定位装置与方法、安装装置与方法。实施方式的图像处理装置具有：模型生成部，生成图像生成模型；物品图像分割部，由物品图像生成分割物品图像；分割特征图像生成部，利...

本发明提供一种可提高基板的清洗处理中的清洁度的清洗装置及清洗方法。实施方式的清洗装置(1)具有：多个辊(100)，与基板(W)的外周接触而使基板(W)旋转；旋转机构(110)，使辊(100)旋转；基板清洗液喷出部(40)，对基板(W)喷...

本发明提供一种送风器及电子零件的安装装置，可形成能够抑制尘埃卷起的下降流。实施方式的送风器(1)包括：风扇过滤单元(10)；加压室(20)，供来自风扇过滤单元(10)的气体流入；以及通气板(30)，构成加压室(20)的底面的至少一部分，...

本发明提供一种既可维持基板的表面润湿的状态，又可在处理装置间搬送基板的基板传送装置和基板传送方法。实施方式的基板传送装置2具有：台车收容部210，具有从外部接纳并收容基板搬送用台车1的收容室211，所述基板搬送用台车1搭载有与水一同收容...

本发明提供一种可抑制工件的面内的温度分布产生偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室；第一加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第二加热器，并且与所述第一加热...

本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，其能够将残留于板的相向面的处理液去除而保持板的清洁度。实施方式的基板处理装置(1)具有：旋转体(10)，使基板(W)旋转；处理液供给部(411)，向基板(W)供给处理液(Le)；板(50)，与被...

本发明提供一种可抑制所产生的尘埃的影响地进行安装的电子零件的安装装置。实施方式的电子零件的安装装置包括：安装机构，保持电子零件的安装头在安装位置将电子零件安装于基板；基板支撑机构，支撑供安装电子零件的基板；供给部，供给电子零件；以及移送...