本发明提供一种不会对元件造成负担而能够形成表面平坦的保护膜的保护膜形成装置。保护膜形成装置包括：树脂供给部，对基板的、搭载有元件的面供给液状的固化性树脂；基板保持部，保持被供给有固化性树脂的基板；支承部，与基板保持部相向地设置；带供给部...

本发明提供一种不会对元件造成负担而能够形成表面平坦的保护膜的保护膜形成装置。保护膜形成装置包括：树脂供给部(32)，对基板的搭载有元件的面供给液状的固化性树脂(R)；基板保持部(33)，保持被供给有固化性树脂(R)的基板；支承部(34)...

本发明提供一种可抑制工件的面内的温度分布产生偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室；第一加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第二加热器，并且与所述第一加热...

本发明提供一种可降低对形成了有机膜的工件进行冷却所花费的成本且维持有机膜的品质的有机膜形成装置及有机膜的制造方法。有机膜形成装置包括：腔室；排气部；处理区域，用来支撑工件；加热部，与工件相向地设置；冷却部，对加热部供给冷却气体；以及控制...

本发明提供一种加热处理装置，即使在从工件的两面侧进行加热的情况下，也能够通过简单的方法对附着有加热处理的对象物的工件的表面温度、背面温度以及面内的温度分布的偏差进行更详细的控制。加热处理装置包括：腔室；第一加热部；第二加热部，与第一加热...

本发明提供一种适合对碱性片剂进行印刷的油墨、使用其的印刷片剂的制造方法及片剂印刷装置。实施方式的油墨是用于对碱性片剂以蓝色或包含蓝色在内的颜色印刷识别信息的喷墨用的油墨，且至少包含食用蓝色1号以及虫胶。且至少包含食用蓝色1号以及虫胶。

本发明提供一种能够抑制预处理的影响而实现稳定的成膜的成膜装置。本发明的实施方式的成膜装置(1)具有：腔室(2)，可以将内部设为真空；搬送体(3)，设置在腔室(2)内，以圆周的轨迹循环搬送工件(W)；成膜部(8)，设置在腔室(2)内，通过...

本发明提供一种可以不接触的方式拾取电子零件的拾取筒夹、拾取装置及安装装置。实施方式的拾取筒夹(200)是抽吸保持电子零件(2)并进行拾取的拾取筒夹(200)，具有多孔质构件(201)，所述多孔质构件(201)具有通气性且将被供给的气体经...

本发明提供一种可以不接触的方式拾取电子零件的拾取筒夹、拾取装置及安装装置。实施方式的拾取筒夹(200)是抽吸保持电子零件(2)并进行拾取的拾取筒夹(200)，具有多孔质构件(201)，所述多孔质构件(201)具有通气性且将被供给的气体经...

本发明提供一种能够以不接触的方式拾取电子零件的拾取筒夹、拾取装置及安装装置。实施方式的拾取筒夹(200)是抽吸保持电子零件(2)并进行拾取的拾取筒夹(200)，具有多孔质构件(201)，所述多孔质构件(201)具有通气性且将被供给的气体...

本发明提供一种能够在不停止电子零件安装装置的情况下持续贴合ACF的电子零件安装装置。本发明的电子零件安装装置包括：供给装置，供给膜状电子零件(F)；第一贴合装置(50a)，将各向异性导电构件贴合于膜状电子零件(F)；第二贴合装置(50b...

本发明提供一种电子零件安装装置，可简化在每次COF的尺寸发生变化时所需要的ACF的切缝相对于COF的端部的位置对准，并且可省略加压头的移动机构。本发明的电子零件安装装置包括：供给装置，供给膜状电子零件(F)；贴合装置(50)，在特定的贴...

本发明提供一种能够减少图案闭塞的发生的基板干燥装置及基板处理装置。本发明的实施方式的基板干燥装置(300)具有：加热部(32)，对基板(W)进行加热；干燥室(31)，供在被处理面上形成有处理液所形成的液膜的状态的基板(W)搬入；支撑部(...

本发明提供一种能够提高在基板的整个周向上的处理速率的均匀性的基板处理装置。实施方式的基板处理装置包括：保持部，包括保持基板的外周缘的多个卡盘销；卡盘开闭机构，使多个卡盘销在远离基板的打开位置和与基板的外周缘相接而保持基板的关闭位置之间移...

本发明提供一种可减少将电子零件安装在基板上时的气泡的残留及基板的破损的安装工具及安装装置。实施方式是将电子零件(2)安装在基板(W)上的安装工具(31)，具有：保持面(311)，以将电子零件(2)弯曲并相接的方式隆起；多个开口(312)...

本发明提供一种可提高污染物的去除率的基板处理装置。实施方式的基板处理装置包括：载置台，能够使基板旋转；冷却部，能够向载置台与基板之间的空间供给冷却气体；液体供给部，能够向基板的与载置台侧相反的面供给液体；检测部，能够检测处于基板的面上的...

本发明提供一种能对保持基板的保持构件的荷载简易地进行测定的测定工具、基板处理装置以及基板制造方法。本发明的实施方式的测定工具(10)具有：基体(11)，具有多个接触部(111)，所述多个接触部(111)在对旋转的基板(W)进行处理的基板...

本发明提供一种可抑制由污染物引起的污染的等离子体处理装置、及等离子体处理方法。实施方式的等离子体处理装置包括：第一腔室；第一排气部；等离子体产生部；第一气体供给部；第二腔室；搬送部；第二排气部；第二气体供给部；以及控制器。所述控制器在进...

本发明提供一种可准确地进行检查用晶片上的粒子的测定的等离子体处理装置的检查方法。实施方式的等离子体处理装置的检查方法包括：利用搬送部从第二腔室向第一腔室搬送检查用晶片的工序；在利用所述搬送部进行的所述检查用晶片向所述第一腔室的搬送结束后...

本发明提供一种能够充分去除处于腔室的内部的异物的有机膜形成装置、及有机膜形成装置的清洁方法。实施方式的有机膜形成装置包括：腔室，具有搬入或搬出工件的开口，能够维持较大气压进一步经减压的气体环境；门，能够使所述腔室的开口开闭；排气部，能够...