浙江英德赛半导体材料股份有限公司专利技术

浙江英德赛半导体材料股份有限公司共有13项专利

  • 本技术公开了一种超纯水提纯设备,属于超纯水制备技术领域,包括箱体,箱体上下两侧分别固定有进水口、出水口,箱体表面设有箱门,箱门与箱体活动连接,箱体内两侧开设有滑槽,滑槽内滑动连接有初滤滤芯,箱体两侧均设有第一安装板、第二安装板,第一安装...
  • 本实用新型提供了一种半导体电子特气生产全自动化控制设备,属于半导体领域。本实用新型包括机架、安装板,安装板固定在机架上,安装板的底部固定有箱体和气泵,箱体底部中心处通过轴承转动连接有抽气管,箱体内固定有两个隔板,隔板上滑动连接有滑杆,滑...
  • 本实用新型提供了一种三氯化硼尾气处理装置,属于三氯化硼尾气处理领域。它解决了现有处理装置管道内容易堵塞,且尾气量大后处理效率低的问题。本三氯化硼尾气处理装置除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构,冷凝机构上设置有能够将...
  • 本实用新型提供了一种电子级氨水混配装置,属于混合管领域。它解决了现有混合管在混合时震动大,容易使得法兰盘与混合管的连接处发生松动的问题。本电子级氨水混配装置,包括混合管,所述混合管的两端分别开设有进水口与出水口,所述进水口与出水口处分别...
  • 本实用新型旨在于提供一种超纯水制备装置,此种装置通过曝气装置提高水体的活性,能够提高除铁架的除铁效果,保证水体的处理效果。包括制水设备主体、外接净化罐、隔板、出水管、螺旋净化管、过滤网和除铁架,制水设备主体的顶部连接有加水管,制水设备主...
  • 本实用新型提供了一种超纯氨精馏设备,属于超纯氨水加工处理领域。它解决了现有超纯氨水的蒸馏效率与蒸馏的出料率较低问题。本超纯氨精馏设备,包括精馏釜壳体,所述壳体的侧部还设置有加热箱,所述壳体内部还安装有加热管,加热管与加热箱相连接,所述壳...
  • 本发明提供了一种三氯化硼提纯设备,属于三氯化硼技术领域。本发明包括制取机构、输送管、尾气处理机构,输送管与制取机构相连通,输送管上安装有减速装置,尾气处理机构包括主体,主体内设置有进气筒,输送管一端穿过主体侧壁与进气筒相连通,进气筒内滑...
  • 发明旨在于提供一种用于乙硼烷反应釜的温度控制装置,此种装置中温度计采用可伸缩结构,在不使用时能够收缩,从而避免对反应釜的清洁工作产生干扰。反应釜包括主体,主体的顶部设置有顶盖,顶盖的下端连接有第一搅拌组件,主体的内部嵌设有加热器,温度控...
  • 本实用新型提供一种高纯氨的充装装置,它包括充装管、液化器、抽送泵、汽化器,其特征在于,所述的充装管一段连接汽化器另一端连接液化器,所述的汽化器与抽送泵连接,所述的充装管外表面缠绕有加热管,所述的加热管外表面具有将加热管与充装管完全包裹的...
  • 本实用新型提供一种液氨汽化器,它包括内罐体、燃烧室、中间层、外保护壳,其特征在于,所述的外保护壳设置在内罐体外表面,所述的中间层设置在内罐体与外保护壳之间,所述的燃烧室设置在内罐体下方且与内罐体固定连接,所述的中间层内设有呈S形的电导热...
  • 本实用新型提供一种高纯氨的储存罐,它包括罐体、用于与槽车连接的连接座、密封盖和冷却装置,其特征在于,所述的罐体一侧固定有连接座,所述的罐体横向设置且连接座与槽车连接,所述的密封盖密封连接在罐体的进口处,所述的冷却装置包括压缩机、冷却管路...
  • 本实用新型提供一种高纯氨储存装置,它包括内罐体、中间层、外罐体,其特征在于,所述的内罐体设置在外罐体内,内罐体小于外罐体,所述的中间层位于内罐体与外罐体之间,所述的中间层包括抗震垫,所述的抗震垫内具有若干抗震弹簧,所述的外罐体与内罐体的...
  • 本实用新型提供一种高纯氨钢瓶的转运车,它包括底座、缓冲组件、钢瓶架,其特征在于,所述的底座呈方形且底座下方四角固定有万向轮,所述的底座上开设有供缓冲组件安装的凹槽,所述的缓冲组件固定在凹槽内,所述的缓冲组件包括缓冲垫、固定板和缓冲弹簧,...
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