【技术实现步骤摘要】
一种液氨汽化器
[0001]本技术属于液氨过滤器
，尤其是涉及一种液氨汽化器。
技术介绍
[0002]现有的液氨汽化器普遍采用竖直设置的耐压罐体，即耐压罐体的长度方向为竖直方向，耐压罐体内安装立式电热棒，比如申请公布号CN 102320623A中公开的电子级超纯氨的提纯装置及其提纯方法的技术方案中，采用的是上述结构的液氨汽化器，也有些新型的液氨汽化器，耐压罐体外表面设有水套夹，比如授权公告号CN 202432237所公开的技术方案，通过水套夹的加热耐压罐体实现汽化，然而，上述结构加热不均匀，所以汽化稳定性较差。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种液氨汽化器，该汽化器具有两种加热形式，在内罐体下端和周侧设置，使内罐体加热均匀，汽化稳定性好。
[0004]本技术的技术方案是：一种液氨汽化器，它包括内罐体、燃烧室、中间层、外保护壳，其特征在于，所述的外保护壳设置在内罐体外表面，所述的中间层设置在内罐体与外保护壳之间，所述的燃烧室设置在内罐体下方且与内罐体固定连接，所述的中间层内设有呈S形的电导热丝，所述的外保护壳上设有电加热器，所述的电加热器与电导热丝连接。
[0005]该汽化器具有两种加热方式，一为电加热，通过电加热器带动中间层的电导热丝，将内罐体周侧加热，二为燃烧加热，通过燃烧室燃烧对内罐体加热，并传递到整体，二者同时使用时，使内罐体的各个部位加热均匀，使汽化器内部加热稳定性最佳。
[0006]进一步的，所述的内罐体内耐压罐体。
[0007]进一步的，所述...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液氨汽化器，它包括内罐体、燃烧室、中间层、外保护壳，其特征在于，所述的外保护壳设置在内罐体外表面，所述的中间层设置在内罐体与外保护壳之间，所述的燃烧室设置在内罐体下方且与内罐体固定连接，所述的中间层内设有呈S形的电导热丝，所述的外保护壳上设有电加热器，所述的电加热器与电导热丝连接。2.根据权利要求1所述的一种液氨汽化器...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓兰，潘佳伟，丁高松，潘伟，
申请(专利权)人：浙江英德赛半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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