本实用新型专利技术提供了一种半导体电子特气生产全自动化控制设备，属于半导体领域。本实用新型专利技术包括机架、安装板，安装板固定在机架上，安装板的底部固定有箱体和气泵，箱体底部中心处通过轴承转动连接有抽气管，箱体内固定有两个隔板，隔板上滑动连接有滑杆，滑杆两端固定有推板，推板外壁与箱体内壁紧密贴靠，安装板下方设有环形板，环形板开有供抽气管下端穿过的圆孔，箱体两侧固连通有单向出水管，单向出水管一端连接有雾化喷头，环形板底部固定连接有硅烷检测仪，硅烷检测仪一侧设有警报器。本实用新型专利技术便于对泄露的硅烷进行吸收的同时并且还能扩大吸收范围，增加了安全性，同时还能通过雾化喷头喷出水雾来减少空气中形成的燃烧产物。产物。产物。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体电子特气生产全自动化控制设备
[0001]本技术属于半导体
，涉及一种半导体电子特气生产全自动化控制设备。
技术介绍
[0002]电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”，狭义的“电子特气”特指电子半导体行业用的特种气体，在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏，电子特气的产品种类丰富，硅烷是半导体制造中所用最重要的气体品种之一：硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体，吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因，它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。
[0003]因此在半导体电子特气生产过程中需要对其进行监测和警报，所以人们会在半导体电子特气生产设备的机架顶端内壁安装硅烷报警器(是检测硅烷气体泄漏的安全仪器)，但是硅烷报警器仅仅起到警报作用，并没有对泄露的气体进行吸收或减少空气中形成的燃烧产物等缓减措施，安全性较差。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种导体电子特气生产全自动化控制设备。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种半导体电子特气生产全自动化控制设备，包括机架、安装板，所述安装板固定在机架上，所述安装板的底部固定有箱体和抽气泵，其特征在于，所述箱体底部中心处通过轴承转动连接有抽气管，所述箱体内固定有两个隔板，两个所述隔板外端为储水腔，两个所述隔板内端为收集腔，所述隔板上滑动连接有滑杆，所述滑杆两端固定有分别位于储水腔内和收集腔内的推板，所述推板外壁与箱体内壁紧密贴靠，所述安装板下方设有环形板，所述环形板开有供抽气管下端穿过的圆孔，所述箱体两侧固连有单向出水管，所述单向出水管一端穿过箱体侧壁连通储水腔，另一端连接有雾化喷头，所述环形板底部固定连接有硅烷检测仪，所述硅烷检测仪一侧设有警报器。
[0006]优选的，所述抽气管一端连通收集腔，所述抽气管另一端穿过圆孔连接有位于环形板下端的吸气罩，所述抽气管上设有单向阀。
[0007]优选的，所述抽气管上套设有固定块，所述固定块一端具有限位块，所述环形板内壁开有供限位块卡嵌的环形的滑槽。
[0008]优选的，所述箱体顶部固定连接有出气管，所述出气管顶端穿过安装板并延伸出一部分，所述出气管上连接有位于安装板上端的电磁阀。
[0009]优选的，所述抽气管外壁固定有位于箱体下端的从动齿轮，所述环形板顶部固定有电机，所述电机的输出轴连接有主动齿轮，所述主动齿轮和从动齿轮之间套设有齿链。
[0010]优选的，所述箱体顶部连接有两根单向进水管，所述单向进水管下端穿过箱体顶部连通储水腔，单向进水管上端穿过安装板并延伸出一部分。
[0011]优选的，所述隔板上开有供滑杆穿过的滑孔，所述滑孔内壁固定有密封圈，所述滑杆穿过密封圈。
[0012]优选的，所述安装板和环形板之间固定有若干个连接杆，所述抽气泵一端具有连接管，所述连接管穿过箱体侧壁与收集腔相连通。
[0013]优选的，所述收集腔顶壁和底壁均固定有上下相对称的挡块，所述挡块能与位于收集腔内的推板的外一侧相抵靠。
[0014]与现有技术相比，本技术的优点有：
[0015]1、本技术通过设置气泵、箱体、环形块、抽气管、电机，便于对泄露的硅烷进行吸收，并且还能扩大吸收范围，检测到硅烷泄露后，气泵开启，使箱体通过抽气管吸收外部混合有硅烷的空气，同时驱动电机带动主动齿轮转动，主动齿轮通过齿链、从动齿轮带动抽气管转动，扩大吸收范围，便于更好的减少空气中硅烷气体的浓度，不仅能起到警报作用，还能增加安全性，
[0016]2、本技术通过设置滑杆、推板、单向出水管、雾化喷头，气泵开启，使得箱体通过抽气管吸收外部混合有硅烷的空气，空气进入收集腔内，使收集腔内压强变大并推动收集腔内的推板移动，收集腔内的推板通过滑杆推动储水腔内的推板移动，储水腔内的推板挤压储水腔，并使储水腔内的水通过单向出水管进入雾化喷头，水经过雾化喷头雾化喷出，喷出的水雾可以减少空气中形成的燃烧产物，进一步提高安全性，有效减低危险系数。
附图说明
[0017]图1是本技术半导体电子特气生产全自动化控制设备的结构示意图。
[0018]图2是本技术半导体电子特气生产全自动化控制设备的剖视图。
[0019]图3是本技术半导体电子特气生产全自动化控制设备的环形板的结构示意图。
[0020]图中，1、安装板；2、箱体；3、抽气泵；4、抽气管；5、隔板；6、储水腔；7、收集腔；8、滑杆；9、推板；10、环形板； 11、圆孔；12、单向出水管；13、雾化喷头；14、硅烷检测仪；15、吸气罩；16、单向阀；17、出气管；18、电磁阀；19、从动齿轮；20、电机；21、主动齿轮；22、齿链；23、单向进水管； 24、密封圈；25、连接杆；26、挡块；27、警报器；28、固定块； 29、限位块；30、滑槽。
具体实施方式
[0021]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0022]如图1所示1
‑
3所示，本半导体电子特气生产全自动化控制设备，包括机架、安装板1，所述安装板1固定在机架上，所述安装板1的底部固定有箱体2和抽气泵3，所述箱体2底部中心处通过轴承转动连接有抽气管4，所述箱体2内固定有两个隔板5，两个所述隔板5外端为储水腔6，两个所述隔板5内端为收集腔7，箱体2内腔依次被分隔为储水腔6、收集腔7、储水腔6，所述隔板5上滑动连接有滑杆8，所述隔板5上开有供滑杆8穿过的滑孔，所述滑孔内
壁固定有密封圈24，所述滑杆8穿过密封圈24，密封圈24能有效防止收集腔7内的气体进入储水腔6内，所述滑杆8两端固定有分别位于储水腔6内和收集腔7内的推板9，所述推板9外壁与箱体2内壁紧密贴靠，收集腔7内的推板9能够通过滑杆8推动储水腔6内的推板9，反之，同理，所述安装板1 下方设有环形板10，所述安装板1和环形板10之间固定有若干个连接杆25，所述抽气泵3一端具有连接管，所述连接管穿过箱体2侧壁与收集腔7相连通，所述环形板10开有供抽气管4下端穿过的圆孔11，所述箱体2两侧固连有单向出水管12，所述单向出水管12一端穿过箱体2侧壁连通储水腔6，另一端连接有雾化喷头13，所述环形板10底部固定连接有硅烷检测仪14，所述硅烷检测仪14一侧设有警报器27，硅烷检测仪14、警报器27和气泵3均与外部控制机构连接，硅烷检测仪14、警报器27、气泵3 和雾化喷头13均为现有技术，在此不多做陈述。
[0023]进一步的，参照图2可以得知，所述抽气管4一端连通收集腔7，所述抽气管4另一端穿过圆孔11连接有位于环形板10下端的吸气罩15，所述抽气管4上设有单向阀16，单向阀16的设置可以防止收集腔7内的气体留出，所述箱体2顶部固定连接有出气管17，所述出气本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体电子特气生产全自动化控制设备，包括机架、安装板(1)，所述安装板(1)固定在机架上，所述安装板(1)的底部固定有箱体(2)和抽气泵(3)，其特征在于，所述箱体(2)底部中心处通过轴承转动连接有抽气管(4)，所述箱体(2)内固定有两个隔板(5)，两个所述隔板(5)外端为储水腔(6)，两个所述隔板(5)内端为收集腔(7)，所述隔板(5)上滑动连接有滑杆(8)，所述滑杆(8)两端固定有分别位于储水腔(6)内和收集腔(7)内的推板(9)，所述推板(9)外壁与箱体(2)内壁紧密贴靠，所述安装板(1)下方设有环形板(10)，所述环形板(10)开有供抽气管(4)下端穿过的圆孔(11)，所述箱体(2)两侧固连有单向出水管(12)，所述单向出水管(12)一端穿过箱体(2)侧壁连通储水腔(6)，另一端连接有雾化喷头(13)，所述环形板(10)底部固定连接有硅烷检测仪(14)，所述硅烷检测仪(14)一侧设有警报器(27)。2.根据权利要求1所述的一种半导体电子特气生产全自动化控制设备，其特征在于，所述抽气管(4)一端连通收集腔(7)，所述抽气管(4)另一端穿过圆孔(11)连接有位于环形板(10)下端的吸气罩(15)，所述抽气管(4)上设有单向阀(16)。3.根据权利要求1所述的一种半导体电子特气生产全自动化控制设备，其特征在于，所述抽气管(4)上套设有固定块(28)，所述固定块(28)一端具有限位块(29)，所述环形板(10)内壁开有供限位块(29)卡嵌的环形的滑槽(30)。4.根据权利要求1所述的一种半导体电子特气生产全自动化...
【专利技术属性】
技术研发人员：周平，朱强，丁高松，赵晓兰，朱天琪，周俊伟，肖春林，潘佳伟，董夏梦，王龙，杨康，
申请(专利权)人：浙江英德赛半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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