超纯氨精馏设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种超纯氨精馏设备，属于超纯氨水加工处理领域。它解决了现有超纯氨水的蒸馏效率与蒸馏的出料率较低问题。本超纯氨精馏设备，包括精馏釜壳体，所述壳体的侧部还设置有加热箱，所述壳体内部还安装有加热管，加热管与加热箱相连接，所述壳体的两侧还分别开设有进气口与进液口，所述壳体内部还安装有搅拌机构，所述壳体上端还设置有排气管，所述壳体的一侧还设置有接取箱，所述接取箱的正上方还设置有支架，且支架固连在壳体的侧部，所述排气管的端部位于支架上，且支架上还安装有冷凝组件，通过冷凝组件够将排气管处冷凝出来的超纯氨水输送至接取箱内。被精馏出来的超纯氨水直接被输送出壳体外部，提高出料率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
超纯氨精馏设备


[0001]本技术属于超纯氨水加工
，涉及一种超纯氨精馏设备。

技术介绍

[0002]超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要材料，近年来，全球信息产业飞速发展，据全球电子化学品消费量最新统计数据表明，亚太地区尤其是中国，已成为全球电子业及其化学品的主导市场，而信息产业所需的半导体产业的蓬勃发展也使得高纯电子化学品需求量急剧增长。而在纯净的半导体产品中掺入极微量的杂质元素，就会使产品的电阻率发生极大的变化，因此半导体行业对化学材料的纯净度要求极高。
[0003]电子级超纯氨水作为半导体行业常用的八大超纯化学材料之一，消耗量位居IC行业第三，在集成电路、LCD等制造行业中有着重要作用，芯片工艺中使用的超纯化学品的纯度和洁净度对集成电路(IC)的成品率、电性能及可靠性有着十分重要的影响。利用氨水的弱碱性，活化硅晶圆及微粒表面，可以去除其表面颗粒、部分金属不纯物。因此，超高纯氨水广泛应用于在芯片的清洗及蚀刻工艺。
[0004]现有的精馏设备对超纯氨进行蒸馏的时候，先将超纯氨与超纯水互相混合，混合的超纯氨水在设备的内部被加热，由于加热较为缓慢，混合的超纯氨水由外向内缓慢的被加热，需要对超纯氨水进行长时间的加热，才能进行蒸馏，大大的降低了精馏设备的使用效率，同时经过蒸发冷凝的超纯氨水有一部分会回流至设备内部的待蒸馏超纯氨水中，使得已经提纯的超纯氨水与未提纯的超纯氨水相互混合在一起，从而降低蒸馏效率与蒸馏的出料率，在对超纯氨水进行蒸馏的过程中可能会掺入部分杂质，既而导致得到的超纯氨水的纯度降低，使得蒸馏更加费时费力，不利于现有的工况。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种结构紧凑且稳定性高的超纯氨精馏设备，通过在精馏釜内设置多个过滤吸附，同时蒸馏出来的超纯氨水汽被输送至外部的气管内被冷凝后排出。
[0006]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0007]一种超纯氨精馏设备，包括精馏釜壳体，其特征在于，所述壳体的侧部还设置有加热箱，所述壳体内部还安装有加热管，加热箱的输出端与加热管相连接，所述壳体的两侧还分别开设有进气口与进液口，所述壳体内部还安装有能够对超纯氨水混合物进行搅拌的搅拌机构，所述壳体上端还设置出气口，所述出气口处还连接有排气管，所述壳体的外侧还设置有接取箱，所述壳体的侧部还固连有支架，且支架位于接取箱的正上方，所述支架上还安装有冷凝组件，所述排气管的端部与冷凝组件相连接，通过冷凝组件够将排气管内的气体冷凝成超纯氨水，所述排气管的端部处还连接有能够将冷凝出来的超纯氨水输送至接取箱的排液管。
[0008]精馏釜壳体的两侧分别开设有一个供氨气进入的进气口与一个供超纯水进入的
进液口，氨气与超纯水分别添加进入壳体内部，使得氨气与超纯水在壳体内部进行混合，壳体外部加热箱能够对壳体内部的加热管进行加热，既而能够加热壳体内部的氨气与超纯水混合物，同时搅拌机构能够对位于壳体下部的氨气与超纯水混合物进行搅拌，这样能够提高氨气与超纯水混合物加热速率，同时能够使得氨气与超纯水混合物受热更加均匀，汽化的氨气与超纯水混合物上升，能够通过壳体上部的排气管被输送至壳体外部，通过壳体外部的的冷凝组件进行对排气管内的气体进行液化，液化凝结的超纯氨水被输送至壳体外部的接取箱内被收集，这样的结构能够使得被精馏出来的气体直接输送至排气管的端部进行冷凝，有效的避免多余气体在壳体内部发生冷凝既而回流至氨气与超纯水混合物处，提高出料率，同时通过多个加热管与搅拌机构，能够使得壳体内部的氨气与超纯水混合物增加其流动性与流通性，既而能够使得氨气与超纯水混合物受热更加均匀，进一步的提高出料率，增加出料的纯度，大大的降低了生产成本，能够高效的排出基本不含有杂质的超纯氨水。
[0009]在上述的一种超纯氨精馏设备中，所述冷凝组件包括支撑块与冷凝器，所述排气管的端部呈波浪状，所述支架的端部为呈矩形的连接部，所述支撑块嵌入在连接部内，且支撑块的内部还开设有与排气管端部相匹配的凹槽，所述凹槽内还安装有冷凝块，且冷凝块的数量具有若干个，若干个所述冷凝块分别安装在相邻排气管之间，所述冷凝块呈U形，冷凝块均与排气管面接触，所述排气管的底部均还连接有排液管，所述排液管的底部设置在接取箱内部，若干个所述冷凝块均与冷凝器相连接，所述冷凝器固连在支架上，所述支架的下表面还固连有若干个架腿，所述排气管的中部还安装有输送泵，所述排气管的端部还连接有循环管，且循环管与输送泵相连接。
[0010]支架的一端固连在壳体侧部，另一端设置有一个呈矩形的连接部，支撑块嵌设在支架的连接部处，排气管的端部呈波浪状，支撑块的内部开设有与波浪状排气管相匹配的凹槽，且排气管的端部嵌入于凹槽上，在相邻的两个排气管管体之间还安装有呈U形的冷凝块，由于波浪状的排气管端部，使得排气管端部具有若干段互相平行的排气管管体，每相邻的两个排气管管体之间均安装有冷凝块，多个弯折的呈波浪状的排气管，且在每个排气管管体之间均安装有冷凝块，冷凝块与外部的冷凝器相连接，使得位于排气管内的气体被遇冷液化，液化出来的超纯氨水通过排气管底部的排液管输送至接取箱内，排气管端部呈波浪状，且多段管体均与冷凝块相接触，增加了接触面积，波浪状的排气管端部害连接有循环管，循环管的一端与排气管端部相连通，另一端连接在输送泵上，使得排气管内的气体能够被循环输送，使得大大的增加了冷却效率，同时连接部的两侧还分别开设有供排气管进入与循环管进入的安装口，排液管的底部还安装有阀门，排气管内的气体与冷液化时，阀门为关闭，在排气管内的气体均液化呈超纯氨水，并在重力的作用下，均位于每个排液管内，然后人工开启阀门，既而能够将全部的超纯氨水下部的接取箱接取。
[0011]在上述的一种超纯氨精馏设备中，所述搅拌机构包括安装在左侧精馏釜底部的搅拌电机，所述精馏釜内部安装有搅拌架，且搅拌架与搅拌电机的输出端相连接，所述搅拌架上还连接有搅拌杆，所述搅拌杆的下部还可转动连接有搅拌叶，所述搅拌叶阵列设置在搅拌杆上，且搅拌叶的截面呈十字状，所述搅拌叶的每个叶片均呈弧面，所述搅拌杆、多个连接在搅拌杆上的搅拌叶为一个搅拌单元，多个所述搅拌单元沿着搅拌架的长度方向设置。
[0012]搅拌电机能够驱动搅拌架，使得搅拌架上的搅拌杆与搅拌叶同步转动，连接在搅
拌杆上的搅拌叶为可转动连接，在搅拌杆转动的同时，由于搅拌叶为可转动连接，在水流的作用下，能够使得搅拌叶圆周旋转，搅拌杆围绕着搅拌电机的输出轴旋转，搅拌杆、多个连接在搅拌杆上的搅拌叶为一个搅拌单元，多个搅拌单元的设置能够使得位于壳体内部的氨气与超纯水混合物混合的更加充分，同时在加热的时候，通过多个搅拌的设置，能够使得壳体内的氨气与超纯水混合物受热更加均匀，增加流动性。
[0013]在上述的一种超纯氨精馏设备中，所述壳体的中部还安装有挡板，所述挡板呈T字状，所述挡板的表面还开设有对称设置的通孔，所述通孔沿着挡板的长度方向均布设置，所述挡板的内部还安装有转动轴，所述转动轴的两侧还具有能够堵塞通孔的密封片，所述转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超纯氨精馏设备，包括精馏釜壳体，其特征在于，所述壳体的侧部还设置有加热箱，所述壳体内部还安装有加热管，加热管与加热箱相连接，所述壳体的两侧还分别开设有进气口与进液口，所述壳体内部还安装有能够对超纯氨水混合物进行搅拌的搅拌机构，所述壳体上端还设置出气口，所述出气口处还连接有排气管，所述壳体的外侧还设置有接取箱，所述壳体的侧部还固连有支架，且支架位于接取箱的正上方，所述支架上还安装有冷凝组件，所述排气管的端部与冷凝组件相连接，通过冷凝组件够将排气管内的气体冷凝成超纯氨水，所述排气管的端部处还连接有能够将冷凝出来的超纯氨水输送至接取箱的排液管。2.根据权利要求1所述的超纯氨精馏设备，其特征在于，所述冷凝组件包括支撑块与冷凝器，所述排气管的端部呈波浪状，所述支架的端部为呈矩形的连接部，所述支撑块嵌入在连接部内，且支撑块的内部还开设有与排气管端部相匹配的凹槽，所述凹槽内还安装有冷凝块，且冷凝块的数量具有若干个，若干个所述冷凝块分别安装在相邻排气管之间，所述冷凝块呈U形，冷凝块均与排气管面接触，所述排气管的底部均还连接有排液管，所述排液管的底部设置在接取箱内部，若干个所述冷凝块均与冷凝器相连接，所述冷凝器固连在支架上，所述支架的下表面还固连有若干个架腿，所述排气管的中部还安装有输送泵，所述排气管的端部还连接有循环管，且循环管与输送泵相连接。3.根据权利要求2所述的超纯氨精馏设备，其特征在于，所述搅拌机构包括安装在左侧精馏釜底部的搅拌电机，所述精馏釜内部安装有搅拌架，且搅拌架与搅拌电机的输出端相连接，所述搅拌架上还连接有搅拌杆，所述搅拌杆的下部还可转动连接有搅拌叶，所述搅拌叶阵列设置在搅拌杆上，且搅拌叶的截面呈十字状，所述搅拌叶的每个叶片均呈弧面，所述搅...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘佳伟，卢勇华，董夏梦，杨康，王龙，潘云涛，张杰，
申请(专利权)人：浙江英德赛半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：