本实用新型专利技术提供了一种三氯化硼尾气处理装置，属于三氯化硼尾气处理领域。它解决了现有处理装置管道内容易堵塞，且尾气量大后处理效率低的问题。本三氯化硼尾气处理装置除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体硼酸刮除的刮复机构，过滤处理腔的顶部存气罐的进口与除酸腔的出口设置有输送管道，过滤处理腔底部的存储槽内还设置有NaOH溶液，存气罐内还设置有能够将存气管内的三氯化硼尾气输送至存储槽内NaOH溶液中的输送组件，存储槽的侧壁上设置有与排气腔连通的导气管，排气腔内设置有气液分离器，气液分离器的排气口与出气口连接。有效的避免管道内发生堵塞，尾气充分的与NaOH溶液相接触被吸收。NaOH溶液相接触被吸收。NaOH溶液相接触被吸收。
【技术实现步骤摘要】
三氯化硼尾气处理装置
[0001]本技术属于三氯化硼尾气处理
，涉及一种三氯化硼尾气处理装置。
技术介绍
[0002]在纯化或者生产工厂三氯化硼的工厂中，需要对三氯化硼的尾气进行处理，但是尾气三氯化硼的量较大且浓度较高，不易处理，仅仅通过一次处理，无法对三氯化硼的尾气进行有效的处理过滤，同时三氯化硼极易与空气中的水分发生反应，生成盐酸或是硼酸，硼酸为固体酸，则容易堵塞废气处理装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种结构紧凑且稳定性高的三氯化硼尾气处理装置，通过先将三氯化硼尾气进行冷凝去除固体硼酸，再将三氯化硼尾气输送至过滤处理腔内的多个存储槽内的NaOH溶液，进行多次处理后，最终从出气口处排出，提高效率。
[0004]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0005]一种三氯化硼尾气处理装置，包括处理装置本体，本体两侧开设的进气口与出气口，所述本体的内部设有除酸腔、过滤处理腔和排气腔，除酸腔的入口与进气口连接，排气腔的出口与出气口连接，其特征在于，所述除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体硼酸刮除的刮复机构，所述过滤处理腔的顶部设置有存气罐，存气罐的进口与除酸腔的出口设置有输送管道，所述过滤处理腔的底部设置有存储槽，所述存储槽内还设置有NaOH溶液，所述存气罐内还设置有能够将存气管内的三氯化硼尾气输送至存储槽内NaOH 溶液中的输送组件，存储槽的侧壁上设置有与排气腔连通的导气管，所述排气腔内设置有气液分离器，气液分离器的排气口与出气口连接。
[0006]三氯化硼尾气通过壳体侧部的进气口进入至除酸腔，进入至除酸腔内的三氯化硼尾气通过冷凝机构遇冷后发生凝结，凝结成固体硼酸，通过刮复机构能够将凝结的固体硼酸从冷凝机构上刮落下来，从而将三氯化硼尾气中大部分的硼酸去除掉，除酸腔内的被初次处理的三氯化硼尾气通过输送管道被输送至过滤处理腔的顶部存气罐内，存气罐能够存储三氯化硼尾气并将存气罐内的三氯化硼尾气输送至下部存储槽内的NaOH溶液内，通过NaOH溶液对三氯化硼尾气进行处理，能够除去或吸收三氯化硼尾气中混有的酸性气体杂质，除去完成后通过将三氯化硼尾气位于靠近排气腔的存储槽处，通过导气管排出至排气腔内，气液分离器进行对排入排气腔内的三氯化硼尾气气液分离，最终将气体与液体分别排出壳体，能够提高三氯化硼尾气的除酸效率，使得三氯化硼尾气与NaOH溶液吸收更加充分，同时经过初次除酸，能够有效的避免管道内发生堵塞，保障三氯化硼尾气能够更加顺畅的进入至 NaOH溶液内。
[0007]在上述的一种三氯化硼尾气处理装置中，所述冷凝机构包括设置在壳体外壁的冷
凝器与设置在除酸腔内的冷凝管，所述冷凝管通过管道与冷凝器相连接，所述壳体的两侧内壁上还平行设置有安装块，所述冷凝管的两端分别连接在对称的两个安装块上，所述冷凝管矩阵均布在除酸腔的上部，所述安装块的数量与冷凝管的数量一一对应。
[0008]通过冷凝器的驱动下，能够使得位于除酸腔内的冷凝管温度下降，既而使得输送进入除酸腔内的三氯化硼尾气能够遇冷发生凝结，多根冷凝管的设置能够提高凝结效率，多个冷凝管能够提高三氯化硼尾气的接触面积，使得三氯化硼尾气大量固体硼酸被固化，能够有效的避免后道工序的管道内发生堵塞。
[0009]在上述的一种三氯化硼尾气处理装置中，所述刮复机构包括除酸腔两侧内壁上开设的滑道与套设在冷凝管上的刮刷，两相邻所述刮刷之间通过支撑杆相连接，所述滑道内还滑动连接有滑块，所述滑道与冷凝管为平行设置，位于两侧的所述支撑杆上还连接有连接杆，两所述连接杆分别对两滑道内的滑块连接在一起，所述支撑杆、连接杆均与冷凝管为垂直设置，所述壳体的外侧还安装有驱动器，驱动器的输出端连接在中部的支撑杆上，通过驱动器驱动能够使得滑块与滑块相连接的连接杆、支撑杆沿着滑道位移。
[0010]每个冷凝管上均套设有刮刷，刮刷与支撑杆相连接，且支撑杆的两侧分别与两个连接杆相连接在一起，连接杆上的滑块滑动连接在除酸腔两侧的滑道上，通过外部的驱动器能够驱动连接杆沿着滑道来回反复位移，使得刮刷能够沿着冷凝管来回反复的将凝结在冷凝管上的固体硼酸进行刮刷，多个匹配在冷凝管上刮刷能够增加刮刷的效率，通过来回反复刮刷能够去除大量凝结的硼酸，有效的起到了保护后道工序的管道，不易因为硼酸的凝结导致堵塞后道工序的管道。
[0011]在上述的一种三氯化硼尾气处理装置中，所述存气罐的下部设置有注气管，所述注气管的端部设置有喷气罩，所述喷气罩设置在NaOH溶液内部，所述存储槽的侧部还设置有与其相邻的存储槽，两所述存储槽之间还设置有呈U形的导流管，所述导流管的两端分别嵌入在两个相邻存储槽的NaOH溶液内部，所述过滤处理腔的下部处还安装有密封板，所述密封板扣合在存储槽的上部，且密封板的两端分别固定连接在过滤处理腔的两侧。
[0012]过滤处理腔为一个恒温的密闭腔体，能够减少尾气遇冷发生凝结，输送管道能够将除酸腔内的被初次除酸后的尾气输送至过滤处理腔顶部的存气罐内，通过存气罐与连接在存气罐下部的注气管，能够将存气罐内的尾气输出至注气管端部的喷气罩内，且喷气罩位于存储槽内的NaOH溶液内，输出的尾气能够通过NaOH 溶液被吸收除酸，同时存储槽的侧部还设置有存储槽，两个相邻的存储槽之间还设置有呈U形的导流管，能够将喷气罩处存储槽内的尾气循环导流至另一个存储槽，再被另一个存储槽内的NaOH 溶液吸收除酸，且密封板扣合在每个存储槽内，起到密封的作用，同时导流管两端穿过密封板，并分别穿设在两个相邻的存储槽内的NaOH溶液内，导流管的端部露出密封板，能够直接将存气罐内的尾气输送至存储槽内的NaOH溶液被吸收除酸，且通过多个存储槽与导流管，能够将一侧存储槽导流至另一侧存储槽内进行，多次吸收除酸，提高除酸的稳定性与除酸的效率。
[0013]在上述的一种三氯化硼尾气处理装置中，所述存储槽的数量具有若干个，且多个存储槽均布在过滤处理腔内，存储槽的数量呈双数，且两个相邻的存储槽均设置有导流管，两所述存储槽与连接在两个相邻存储槽的导流管形成一个处理单元，所述处理单元的数量具有若干个，且多个处理单元均沿着过滤处理腔的长度方向均布设置。
[0014]两存储槽与连接在两个相邻存储槽的导流管形成一个处理单元，多个处理单元能
够大大的提高除酸的效率，通过多次导流与将尾气依次排入每个存储槽NaOH溶液内，既而将尾气的酸性去除的更加彻底，提高效率，使得尾气与NaOH溶液接触更加充分。
[0015]在上述的一种三氯化硼尾气处理装置中，所述导气管的一端穿设在靠近排气腔处存储槽处，且导气管的端部平行设置在NaOH 溶液液面，另一端穿入在排气腔的上部，并与气液分离器相连接，所述气液分离器的出口处还分别安装有两根支管，所述排气腔的底部开有排液口，所述一根支管与出气口相连通，另一根支管与下部的排液口相连通。
[0016]导气管的一端位于存储槽的NaOH溶液液面，另一端与排气腔内的气液分离器相本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三氯化硼尾气处理装置，包括处理装置本体，本体两侧开设的进气口与出气口，所述本体的内部设有除酸腔、过滤处理腔和排气腔，除酸腔的入口与进气口连接，排气腔的出口与出气口连接，其特征在于，所述除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体硼酸刮除的刮复机构，所述过滤处理腔的顶部设置有存气罐，存气罐的进口与除酸腔的出口设置有输送管道，所述过滤处理腔的底部设置有存储槽，所述存储槽内还设置有NaOH溶液，所述存气罐内还设置有能够将存气管内的三氯化硼尾气输送至存储槽内NaOH溶液中的输送组件，存储槽的侧壁上设置有与排气腔连通的导气管，所述排气腔内设置有气液分离器，气液分离器的排气口与出气口连接。2.根据权利要求1所述的三氯化硼尾气处理装置，其特征在于，所述冷凝机构包括设置在壳体外壁的冷凝器与设置在除酸腔内的冷凝管，所述冷凝管通过管道与冷凝器相连接，所述壳体的两侧内壁上还平行设置有安装块，所述冷凝管的两端分别连接在对称的两个安装块上，所述冷凝管矩阵均布在除酸腔的上部，所述安装块的数量与冷凝管的数量一一对应。3.根据权利要求2所述的三氯化硼尾气处理装置，其特征在于，所述刮复机构包括除酸腔两侧内壁上开设的滑道与套设在冷凝管上的刮刷，两相邻所述刮刷之间通过支撑杆相连接，所述滑道内还滑动连接有滑块，所述滑道与冷凝管为平行设置，位于两侧的所述支撑杆上还连接有连接杆，两所述连接杆分别对两滑道内的滑块连接在一起，所述支撑杆、连接杆均与冷凝管为垂直设置，所述壳体的外侧还安装有驱动器，驱动器的输出端连接在中部的支撑杆上，通过驱动器驱动能够使得滑块与滑块相连接的连接杆、支撑杆沿着滑道位移。4.根据权利要求3所述的三氯化硼尾气处理装置，其特征在于，所述存气罐的下部设置有注气管，所述注气管的端部设置有喷气罩，所述喷气罩设置在NaOH溶液内部，所述存储槽的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，丁高松，赵晓兰，周俊伟，董夏梦，朱强，潘佳伟，王龙，
申请(专利权)人：浙江英德赛半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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