三氯化硼尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种三氯化硼尾气处理装置，属于三氯化硼尾气处理领域。它解决了现有处理装置管道内容易堵塞，且尾气量大后处理效率低的问题。本三氯化硼尾气处理装置除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体硼酸刮除的刮复机构，过滤处理腔的顶部存气罐的进口与除酸腔的出口设置有输送管道，过滤处理腔底部的存储槽内还设置有NaOH溶液，存气罐内还设置有能够将存气管内的三氯化硼尾气输送至存储槽内NaOH溶液中的输送组件，存储槽的侧壁上设置有与排气腔连通的导气管，排气腔内设置有气液分离器，气液分离器的排气口与出气口连接。有效的避免管道内发生堵塞，尾气充分的与NaOH溶液相接触被吸收。NaOH溶液相接触被吸收。NaOH溶液相接触被吸收。

【技术实现步骤摘要】
三氯化硼尾气处理装置


[0001]本技术属于三氯化硼尾气处理
，涉及一种三氯化硼尾气处理装置。

技术介绍

[0002]在纯化或者生产工厂三氯化硼的工厂中，需要对三氯化硼的尾气进行处理，但是尾气三氯化硼的量较大且浓度较高，不易处理，仅仅通过一次处理，无法对三氯化硼的尾气进行有效的处理过滤，同时三氯化硼极易与空气中的水分发生反应，生成盐酸或是硼酸，硼酸为固体酸，则容易堵塞废气处理装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种结构紧凑且稳定性高的三氯化硼尾气处理装置，通过先将三氯化硼尾气进行冷凝去除固体硼酸，再将三氯化硼尾气输送至过滤处理腔内的多个存储槽内的NaOH溶液，进行多次处理后，最终从出气口处排出，提高效率。
[0004]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0005]一种三氯化硼尾气处理装置，包括处理装置本体，本体两侧开设的进气口与出气口，所述本体的内部设有除酸腔、过滤处理腔和排气腔，除酸腔的入口与进气口连接，排气腔的出口与出气口连接，其特征在于，所述除酸腔内设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氯化硼尾气处理装置，包括处理装置本体，本体两侧开设的进气口与出气口，所述本体的内部设有除酸腔、过滤处理腔和排气腔，除酸腔的入口与进气口连接，排气腔的出口与出气口连接，其特征在于，所述除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体硼酸刮除的刮复机构，所述过滤处理腔的顶部设置有存气罐，存气罐的进口与除酸腔的出口设置有输送管道，所述过滤处理腔的底部设置有存储槽，所述存储槽内还设置有NaOH溶液，所述存气罐内还设置有能够将存气管内的三氯化硼尾气输送至存储槽内NaOH溶液中的输送组件，存储槽的侧壁上设置有与排气腔连通的导气管，所述排气腔内设置有气液分离器，气液分离器的排气口与出气口连接。2.根据权利要求1所述的三氯化硼尾气处理装置，其特征在于，所述冷凝机构包括设置在壳体外壁的冷凝器与设置在除酸腔内的冷凝管，所述冷凝管通过管道与冷凝器相连接，所述壳体的两侧内壁上还平行设置有安装块，所述冷凝管的两端分别连接在对称的两个安装块上，所述冷凝管矩阵均布在除酸腔的上部，所述安装块的数量与冷凝管的数量一一对应。3.根据权利要求2所述的三氯化硼尾气处理装置，其特征在于，所述刮复机构包括除酸腔两侧内壁上开设的滑道与套设在冷凝管上的刮刷，两相邻所述刮刷之间通过支撑杆相连接，所述滑道内还滑动连接有滑块，所述滑道与冷凝管为平行设置，位于两侧的所述支撑杆上还连接有连接杆，两所述连接杆分别对两滑道内的滑块连接在一起，所述支撑杆、连接杆均与冷凝管为垂直设置，所述壳体的外侧还安装有驱动器，驱动器的输出端连接在中部的支撑杆上，通过驱动器驱动能够使得滑块与滑块相连接的连接杆、支撑杆沿着滑道位移。4.根据权利要求3所述的三氯化硼尾气处理装置，其特征在于，所述存气罐的下部设置有注气管，所述注气管的端部设置有喷气罩，所述喷气罩设置在NaOH溶液内部，所述存储槽的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，丁高松，赵晓兰，周俊伟，董夏梦，朱强，潘佳伟，王龙，
申请(专利权)人：浙江英德赛半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：