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本实用新型提供了一种三氯化硼尾气处理装置，属于三氯化硼尾气处理领域。它解决了现有处理装置管道内容易堵塞，且尾气量大后处理效率低的问题。本三氯化硼尾气处理装置除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体...
该专利属于浙江英德赛半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江英德赛半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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