本实用新型公开了一种便于加工的半导体装备用石英体，包括支撑体和主体，主体呈圆弧面，主体的两端之间形成第一缺口，主体套在支撑体上，支撑体外侧固定连接有环形凸起，环形凸起的外侧朝向支撑体的一端延伸有翻边，翻边和支撑体之间形成限位槽，主体设置...

本实用新型公开了一种石英产品加工用定位工装，包括底座，底座的上侧固定连接有用于固定石英件的定位凸起，石英件呈圆环形，定位凸起呈圆形，定位凸起的直径和石英件的内径适配，底座的上方固定连接有顶板，顶板的下侧转动连接有转动座，顶板设置有用于驱...

本实用新型公开了一种石英环精密加工的治具，包括底座和设置在底座上的装夹板，所述底座内设有由内到外直径依次增大的若干环形真空槽，所述真空槽对应的装夹板上设有与真空槽连通的若干通孔，每个真空槽上均连通有抽真空管。本实用新型适配不同尺寸和规格...

本实用新型公开了一种用于高强度石英的加工的铣床打磨用刀头，包括转轴、转动盘、加劲板；转轴设置有进水道和出水道；转动盘朝向转轴的一侧固定连接有若干呈圆弧形的凸起，转动盘设置有若干呈圆弧形的冷却通道，转动盘设置有若干第一连接通道；加劲板的数...

本实用新型公开了一种半导体用石英平面磨削洗净治具，包括吸盘和底座，所述吸盘上设有用于吸附产品的真空槽，所述吸盘一端与底座转动连接，所述底座上设有气缸，所述气缸内设有活塞，所述活塞将气缸分隔为两个腔体，所述活塞一端向气缸外延伸并与吸盘另一...