一种石英环精密加工的治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英环精密加工的治具，包括底座和设置在底座上的装夹板，所述底座内设有由内到外直径依次增大的若干环形真空槽，所述真空槽对应的装夹板上设有与真空槽连通的若干通孔，每个真空槽上均连通有抽真空管。本实用新型专利技术适配不同尺寸和规格石英环的装夹；提高了对大宽度石英环装夹的固定力；多个抽真空管均能够从治具一侧向外延伸，降低治具厚度，方便与抽真空设备连接；治具结构简单，加工方便；避免对石英产品造成损伤。避免对石英产品造成损伤。避免对石英产品造成损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种石英环精密加工的治具


[0001]本技术涉及石英加工
，尤其是涉及一种石英环精密加工的治具。

技术介绍

[0002]石英产品的加工精度要求高，且表面易产生划伤和损坏，因此石英产品的装夹固定方式非常重要。现有石英产品装夹治具包括粘蜡固定和吸盘固定等方式，其中粘蜡固定是将石英产品先通过融化的蜡黏住，粘蜡冷却后固定住产品，该方式通常需要手动作业完成，固定效果难以保证，且效率低、能耗大；而吸盘固定通常是对吸盘和石英产品之间抽真空的方式使产品吸附在吸盘上，该方式固定难度低，效率较高。石英环作为石英产品中的重要类别之一，其尺寸规格种类丰富，而现有的装夹治具通常仅适配同一尺寸或规格的石英环，导致治具种类过多，成本较高。

技术实现思路

[0003]本技术是为了克服现有石英环治具适配产品范围窄，治具成本过高的问题，提供一种石英环精密加工的治具，适配产品尺寸规格范围广，降低治具成本。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种石英环精密加工的治具，包括底座和设置在底座上的装夹板，所述底座内设有由内到外直径依次增大的若干环形真空槽，所述真空槽对应的装夹板上设有与真空槽连通的若干通孔，每个真空槽上均连通有抽真空管。
[0006]本技术的特点在于设置了装夹板和底座，装夹板上对应真空槽的位置设有通孔，当石英环放置在装夹板上，覆盖住对应的通孔时，石英环、通孔和真空槽形成真空腔，通过抽真空管对真空腔进行抽真空形成负压，确保石英环吸附固定在治具上。其中底座内若干环形的真空槽用于对应不同直径的石英环，另一方面，产品同时覆盖住相邻的若干真空槽上的通孔可增大对宽度较大石英环的固定力，只要对这些真空槽同时进行抽真空即可，石英环宽度越大，所同时抽真空的真空槽数量越多，石英环底面始终与装夹板表面贴合，确保不同尺寸规格的石英环与治具之间的密封性。
[0007]作为优选，所述真空槽开口朝向装夹板设置，所述装夹板粘接与底座粘接。
[0008]作为优选，若干真空槽同心设置。
[0009]作为优选，真空槽的深度由内向外逐渐减小，所述抽真空管与真空槽侧壁连通。
[0010]作为优选，所述通孔沿周向均布设置。
[0011]作为优选，所述装夹板和底座均为石英构件。
[0012]作为优选，所述底座包括底座主体和底板，所述真空槽设置在底座主体上，所述底板粘接在底座主体底部。
[0013]因此，本技术具有如下有益效果：（1）适配不同尺寸和规格石英环的装夹；（2）提高了对大宽度石英环装夹的固定力；（3）多个抽真空管均能够从治具一侧向外延伸，降低治具厚度，方便与抽真空设备连接；（4）治具结构简单，加工方便；（5）避免对石英产品造成
损伤。
附图说明
[0014]图1是本技术的一种结构示意图。
[0015]图2是本技术的一种俯视图。
[0016]图3是本技术装夹产品后的结构示意图。
[0017]图中：1、装夹板，11、通孔，2、底座，21、真空槽，211、第一真空槽，212、第二真空槽，213、第三真空槽，22、底座本体，23、底板，3、抽真空管，4、石英环。
具体实施方式
[0018]下面结合附图与具体实施方式对本技术做进一步的描述。
[0019]如图1、图2所示的实施例中，一种石英环精密加工的治具，包括均为石英制成的装夹板1和底座2，装夹板1为圆形板，装夹板1中心设有圆形孔，底座2包括底座主体22和底板23，底座主体22中心设有与装夹板1直径相同的圆形孔，圆形孔用于减重。底座主体22上设有同心的三个环形的真空槽21，从内到外分别为第一真空槽211、第二真空槽212和第三真空槽213，真空槽21开口向上，装夹板1粘接在底座主体22上表面，装夹板1上对应三个真空槽21分别设有三圈通孔11，通孔11连通底部的真空槽21，通孔11横截面为圆形，若干通孔11沿装夹板1周向均布设置，保证均匀的吸附力。底板23为圆形板，粘接在底座主体22底部。
[0020]如图1所示，第一真空槽211、第二真空槽212和第三真空槽213的深度逐渐变浅，且三个真空槽横截面均为矩形。每个真空槽21上均连通一个抽真空管3，抽真空管3端部设置在真空槽21的外侧壁，抽真空管3与抽真空泵连接。抽真空管3可从治具一侧通出，不会在加工时与工作台产生干涉，且能适当减薄治具。
[0021]本技术可适配多种尺寸和规格的石英环，对于径向的宽度较窄的石英环，可根据石英环直径选择对应的真空槽21，例如可将石英环放置在装夹板1上，并将石英环覆盖住第一真空槽211上方所对应的环形投影区域内的所有通孔11，此时石英环、通孔、第一真空槽之间形成真空腔，对真空腔内抽真空形成负压，将石英环吸附在治具上。
[0022]如图3所示，对于径向宽度较宽的石英环4，可根据石英环的宽度选择对应的若干真空槽21，例如可将石英环覆盖第一真空槽211和第二真空槽212上方对应的环形投影区域内的所有通孔，此时石英环、通孔、第一真空槽和第二真空槽之间形成真空腔，通过两个抽真空管对真空腔内抽真空形成负压，将石英环吸附在治具上。
[0023]真空槽21的宽度和数量等均可根据实际情况进行适应性调整。
[0024]最后应说明的是：以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英环精密加工的治具，其特征是，包括底座（2）和设置在底座（2）上的装夹板（1），所述底座（2）内设有由内到外直径依次增大的若干环形真空槽（21），所述真空槽（21）对应的装夹板（1）上设有与真空槽（21）连通的若干通孔（11），每个真空槽（21）上均连通有抽真空管（3）。2.根据权利要求1所述的一种石英环精密加工的治具，其特征是，所述真空槽（21）开口朝向装夹板（1）设置，所述装夹板（1）粘接与底座（2）粘接。3.根据权利要求1所述的一种石英环精密加工的治具，其特征是，若干真空槽（21）同心设置。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林华，巴宝平，刘玉宝，
申请(专利权)人：浙江芯微聚源半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：