本实用新型公开了一种全自动大型晶圆UV擦除设备,包括取片机械手以及位于取片机械手两侧的UV组件,所述UV组件从上到下设置有多个灯箱，每个灯箱中设置有UV灯，灯箱中靠近取片机械手的一侧设置槽口，所述取片机械手用于将晶圆通过槽口放入灯箱中，...

本实用新型公开了一种针卡磨针机，包括观测组件以及磨针组件，所述磨针组件包括一个磨针台面以及针卡固定组件，所述磨针台面可水平以及上下移动，其表面可安装砂纸用于对针头进行磨平，所述针卡固定组件用于将针卡固定在磨针台面上，所述观测组件包括显微...

本实用新型公开了一种晶圆检测装置，包括检测镜头以及晶圆放置台，检测镜头位于晶圆放置台上方，所述晶圆放置台表面设置有负压吸孔用于吸附晶圆，所述晶圆放置台可沿轴心转动，还包括第一滑动基板和第二滑动基板，在第一滑动基板和第二滑动基板上均设置有...

本实用新型公开了一种晶圆取片装置，包括多轴机械手以及机座，所述多轴机械手包括两个平行的转臂，分别为第一转臂和第二转臂，第一转臂一端安装在基座上且可转动设置，另一端连接第二转臂端部，第二转臂的另一端设置转台，转台上设置有晶圆吸盘以及红外传...

本实用新型公开了一种平面型关节机器人，旨在提供一种可以抓取晶圆的平面型关节机器人，其技术方案要点是，包括底座，所述底座上设有升降机，所述升降机上设有抓取装置，所述抓取装置包括位于升降机上方的转动电机、位于转动电机上的减速器、与转动电机连...

本实用新型公开了一种XY轴工业操纵杆，所述XY轴工业操纵杆包括底座、位于底座上的主体、位于主体上的推杆、及位于推杆外侧的旋转手柄，所述底座上还设有若干方向传感器和接线端子，主体上设有与方向传感器对应设置的方向传感器拨片和与接线端子对应设...

本实用新型公开了一种基于自动晶圆测试台中的针孔载物平台，所述针孔载物平台包括底座及固定安装于底座上的针孔平台，所述针孔平台的表面设有镀金层，所述针孔平台上设有若干针孔及顶针孔以增大针孔平台的表面与其上晶圆的接触面积。本实用新型提高了针孔...