本发明提供了一种复合精细遮罩，复合精细遮罩包括复合材料薄片以及框架结构。复合材料薄片包括第一聚合物层、设置在第一聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在第一聚合物层的第二表面的第二金属层，其中第二表面相反于第一表面。复合材料薄片具有第一...

本发明公开了一种复合精细遮罩，其包括复合材料薄片。复合材料薄片包括聚合物层、设置在所述聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在所述聚合物层的第二表面的第二金属层。复合材料薄片具有第一区和第二区，其中第一区环绕第二区。第一金属层在第一区的...

本发明提供了一种复合精细遮罩，其包括复合材料薄片以及框架结构。复合材料薄片包括聚合物层、设置在聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在聚合物层的第二表面的第二金属层，其中第二表面相反于第一表面。复合材料薄片具有第一区和第二区，第一区环绕...

本发明提供了一种复合精细遮罩，其包括复合材料薄片以及框架结构。复合材料薄片包括第一聚合物层、设置在第一聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在第一聚合物层的第二表面的第二金属层，其中第二表面相反于第一表面。复合材料薄片具有第一区和第二区...

本揭露涉及掩模结构及其制造方法及工作件加工系统。一种掩模结构包括衬底、第一图案化金属层以及第二图案化金属层。衬底具有第一表面和与第一表面相对的第二表面。第一图案化金属层设置在衬底的第一表面上，具有复数个第一开口，第一开口具有第一侧壁。第...

本发明提供一种挠性衬底结构，其包括挠性衬底、第一图案化金属层以及第二图案化金属层。挠性衬底具有第一表面以及相对的第二表面，第一图案化金属层设置于挠性衬底的第一表面上，第二图案化金属层设置于挠性衬底的第二表面上，其中挠性衬底具有至少一个穿孔。