本发明公开了各种方法（６００、７００）以及系统（１００），用以相对于一半导体基板（１３０）来量测、决定、或是对齐一激光束点的位置，该半导体基板（１３０）之上或之内具有要通过传递一处理激光束至一处理激光束点（１３５）来进行选择性处理的多个...

一种用于检查半导体的成像装置，所述成像装置包括：　　　　一个或多个成像透镜，用于成像从物体反射的光线；　　　　平面电路板；　　　　第一光源，附接到所述平面电路板；　　　　第二光源，附接到所述平面电路板；　　　　第一菲涅耳棱镜，用于指引来...

本发明提供一种系统及方法，通过本发明提出以成像平面镜状物体（１０２），诸如：半导体晶圆。于实施例中，用于成像于平面镜状物体（１０２）的缺陷的一种成像系统（１００）包括远心透镜（１１０），其具有充分非球面表面，使远心透镜实质修正光学像差。...

片式偏振分束器２２分离入射激光束２１以形成第一激光束２４和第二激光束２５。使用弓形反射镜２３对第一激光束进行光学修正以使第一激光束具有不同于第二激光束的发散或会聚特性。第一激光束２４聚焦在位于聚焦透镜２６的光轴上的第一焦点２７处，并且第...

一种用于提高激光微加工系统的处理量的方法及系统，其运用超过一个激光器。两个或更多个脉冲式激光束（５６，５８）组合且接着分离成为多个激光束（８０，８２），这使得系统以大于独立操作的激光所能达成的脉冲率而同时运作在工件（２０）上的多个位置，...

一种用于执行表面轮廓测量的有效率的方法和系统（９０），其促进激光加工的生产率。激光加工处理期间可执行靶材（３０）样本的多点表面轮廓测量或是靶材样本表面（６６）轮廓和靶材样本厚度（７０）的即时连续测量和监测。针对欲进行激光加工的靶材样本的...

一种机器，用于终止一个具有一条或几条可焊剂条纹的计算机芯片，包括一个进给盘轮子，该轮子由一个外边沿所定义，且具有一个平板形的上面暴露出来的盘形表面，该表面与水平面相倾斜，一个三维芯片的存货处靠着该表面，用于装载轮子，至少一个狭窄的沟槽，...