本发明的目的在于提供一种能够定位不同尺寸的工件的腔室。本发明的一个方式的腔室(10)是将具有开口(100a)的工件(100)容纳在内部的泄漏测试器用腔室，该泄漏测试器用腔室具备：第一部件(11)，其具有形成工件(100)的容纳空间(S)...

本公开的目的在于提供一种能够容易地对不同尺寸的工件进行泄漏测试的检查条件的管理的腔室。本公开的一个方式的腔室(10)是泄漏测试器用腔室，其具备：主腔室(20)，其容纳工件(100)；副腔室(30)，其与主腔室(20)连通；容积变更机构(...

本发明的目的在于提供一种能够使电气检查头相对于印刷基板快速且容易地对位的电气检查装置。本发明一方式的电气检查装置(1)具有：电气检查头(10)，其能够从法线方向侧与印刷基板(W)接触；旋转机构(11)，其使电气检查头(10)以与印刷基板...

在超声波检查装置以及检查装置中，无论输送体的输送方式如何，都能够抑制输送体相对于检查单元的位置变化。超声波检查装置(1)具备：基座(2)；检查单元(3)，其具有发送超声波的发送部(11)以及位于相对于发送部(11)隔开间隔的位置且接收超...

本发明所要解决的技术问题在于在超声波检查装置中，无论发送部与接收部之间的被检体的输送方式如何，都能够减少到达接收部的衍射波。超声波检查装置(1)具备发送超声波W的发送部(10)、位于相对于发送部(10)隔开间隔的位置且接收超声波(W)的...

在超声波检查装置以及检查装置中，无论输送体的输送方式如何，都能够抑制输送体相对于检查单元的位置变化。超声波检查装置(1)具备：基座(2)；检查单元(3)，其具有发送超声波的发送部(11)以及位于相对于发送部(11)隔开间隔的位置且接收超...

本实用新型所要解决的技术问题在于在超声波检查装置中，无论发送部与接收部之间的被检体的输送方式如何，都能够减少到达接收部的衍射波。超声波检查装置(1)具备发送超声波W的发送部(10)、位于相对于发送部(10)隔开间隔的位置且接收超声波(W...

提供一种超声波检查装置，即使在包装容器中的重叠并接合容器用部件的边缘的接合部分从规定物体的表面向与该表面正交的方向突出的状态下，也能够高精度地检查接合部分中的容器用部件的剥离。超声波检查装置(1)具备发送部(10)，在包装容器(100)...

提供一种超声波检查装置，即使在包装容器中的重叠并接合容器用部件的边缘的接合部分从规定物体的表面向与该表面正交的方向突出的状态下，也能够高精度地检查接合部分中的容器用部件的剥离。超声波检查装置(1)具备发送部(10)，在包装容器(100)...

一种超声波检查装置，其具备：发送部，其具有朝向被检查体发送超声波波束的发送面；多个接收部，其具有接收透过了被检查体的超声波波束的接收面，并排列成阵列状。在使超声波波束的波长为λ时，接收面的面积为(10

一种超声波检查装置，其具备：发送部，其具有朝向被检查体发送超声波波束的发送面；多个接收部，其具有接收透过了被检查体的超声波波束的接收面，并排列成阵列状。在使超声波波束的波长为λ时，接收面的面积为(10

提供检查装置以及检查方法，其能够与有没有电火花发生的判定的结果无关地，得到检查时的印刷基板各自的测量值。在基于通过对印刷基板的电路图案间施加检查电压而得到的所述电路图案间的电压值、或者流过所述电路图案间的电流值，判定所述电路图案间的绝缘...

提供检查装置以及检查方法，其即使在电缆存在寄生电容的情况下，也能够高精度地检查电路图案间的绝缘状态。检查装置包括：电缆，连接成为检查对象的印刷基板和检查装置；消除部，消除所述电缆的寄生电容；以及判定部，基于通过经由所述电缆而对所述印刷基...

在将从水电解部产生的氢气与混合用气体混合的氢气混合装置中，能够将水电解部中产生的氧气进行处理之后释放到外部。提供一种氢气混合装置(1)，其包含：水电解部(2)，其通过水的电解产生氢气与氧气；供给混合用气体的混合用气体供给部(3)；以及将...

在将氢气与混合用气体混合的氢气混合装置中，即使在发生异常时也能够处理氢气。提供一种氢气混合装置(1)，包含：产生氢气的氢产生部(2)；供给混合用气体的混合用气体供给部(3)；将氢气以及混合用气体混合的气体混合部(4)；供给非可燃性的稀释...

提供检查装置，其即使在电缆存在寄生电容的情况下，也能够高精度地检查电路图案间的绝缘状态。检查装置包括：电缆，连接成为检查对象的印刷基板和检查装置；消除部，消除所述电缆的寄生电容；以及判定部，基于通过经由所述电缆而对所述印刷基板的电路图案...

本发明提供高频特性检查装置以及高频特性检查方法，将检查探针与基板自动连接，适当地检查高频特性。高频特性检查装置为检查基板的高频特性的高频特性检查装置，具有：检查夹具，其能够移动，且具有用于从基板的主表面侧检查基板的多个检查探针；摄像部，...

本发明的课题在于提供能够容易地提高检查对象基板的电气检查的效率的电气检查装置。本发明的一方式的电气检查装置具备：电气检查头(11)，其具有能够从检查对象基板(P)的法线方向接触该检查对象基板(P)的多个探针(11a)；切换单元(12)，...

提供一种超声波检查方法，即使除了被检查体内传播而来的超声波之外还接收到经由被检查体的外侧的介质而直接到达的超声波，也能够进行被检查体的检查。一种对被检查体进行检查的超声波检查方法，其中，将超声波发送元件和超声波接收元件对置地配置，从所述...

本发明提供定位装置及定位方法，能够相对于处理对象物准确地定位处理部。本发明的一个方式的定位装置为相对于定位对象物即处理对象物(P)对被定位部件即第一处理部(Ha)进行定位的定位装置，具有：使所述第一处理部(Ha)移动的第一移动机构(1a...