超声波检查装置制造方法及图纸

一种超声波检查装置，其具备：发送部，其具有朝向被检查体发送超声波波束的发送面；多个接收部，其具有接收透过了被检查体的超声波波束的接收面，并排列成阵列状。在使超声波波束的波长为λ时，接收面的面积为(10

【技术实现步骤摘要】
超声波检查装置


[0001]本专利技术涉及一种超声波检查装置。
[0002]本申请基于2021年5月11日在日本申请的特愿2021
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080200号主张优先权，在此引用其内容。

技术介绍

[0003]以往，具有如下结构的超声波检查装置，其具有向被检查体发送超声波的发送部、以及接收透过了被检查体的超声波的接收部，通过分析对接收部的超声波的接收状况，来检测被检查体内部的缺陷。在专利文献1中公开有如下的超声波检查装置(超声波探伤装置)，该超声波检查装置通过使接收部的接收面比发送部的发送面小而以高精度检测被检查体内部的缺陷。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：(日本)特开2020
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176916号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]然而，在以往的超声波检查装置中，具有以下问题：如果要在大范围内以高精度(高分辨率)对被检查体进行缺陷检查时，会耗费时间。
[0009]本专利技术是鉴于上述情况而开发的，其目的在于提供一种即使应检查的被检查体的面积大，也能够以高精度且短时间地进行被检查体的缺陷检查的超声波检查装置。
[0010]用于解决技术问题的手段
[0011]本专利技术第一方式的超声波检查装置具备：发送部，其具有朝向被检查体发送超声波波束的发送面；多个接收部，其具有接收透过了所述被检查体的所述超声波波束的接收面，并排列成矩阵状或阵列状；在使所述超声波波束的波长为λ时，所述接收面的面积为(10
×
λ)2以下。
[0012]专利技术效果
[0013]根据本专利技术，通过超声波检查装置即使应检查的被检查体的面积大，也能够以高精度且短时间地检查被检查体的缺陷。
附图说明
[0014]图1是示意地示出一个实施方式的超声波检查装置的主要部分的剖视图。
[0015]图2是图1的II
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II的向视剖视图。
[0016]图3是示出一个实施方式的超声波检查装置的接收单元的第一例的剖视图。
[0017]图4是示出一个实施方式的超声波检查装置的接收单元的第二例的剖视图。
[0018]图5是示出一个实施方式的超声波检查装置的接收部的接收面的第一例的平面
图。
[0019]图6是示出一个实施方式的超声波检查装置的接收部的接收面的第二例的平面图。
[0020]图7是示出一个实施方式的超声波检查装置的接收部的接收面的第三例的平面图。
[0021]图8是示出在一个实施方式的超声波检查装置中，被检查体的端部和发送部及接收部的位置关系的剖视图。
[0022]图9是一个实施方式的超声波检查装置的功能框图。
[0023]图10是示出从一个实施方式的超声波检查装置的发送部发送的超声波在被检查体的缺陷的边缘处衍射的情况的图。
[0024]图11是示意地示出其他实施方式的超声波检查装置的主要部分的立体图。
[0025]附图标记说明
[0026]1：超声波检查装置；
[0027]10：发送部；
[0028]10a：发送面；
[0029]21：接收部；
[0030]21a：接收面；
[0031]22：树脂；
[0032]23：FET基板；
[0033]30：存储部；
[0034]40：判定部；
[0035]100：被检查体；
[0036]104：缺陷；
[0037]W：超声波波束。
具体实施方式
[0038]以下，参照图1～10说明本专利技术的一个实施方式。
[0039]如图1、2所示，本实施方式的超声波检查装置1使用超声波进行被检查体100中的缺陷的检查。本实施方式的被检查体100是通过将容器用部件101的边缘重叠接合而在内部形成了收纳空间102的包装容器。图示例中的容器用部件101是薄片部件，但容器用部件101可以是杯状部件等任意的部件。作为包装容器的被检查体100中成为缺陷检查对象的部位是将容器用部件101重叠接合的接合部分103。在以下的说明中，有时也将该接合部分103称为被检查体100。如图10所示例地，本实施方式的被检查体100中的缺陷104是接合部分103中的容器用部件101的剥离部分。
[0040]在附图中，在接合部分103中，以Z轴方向表示容器部件101重叠的方向。另外，将接合部分103离开非接合部分105的方向设为接合部分103的宽度方向，以Y轴方向表示，所述非接合部分105在容器用部件101中不接合而形成收纳空间102。另外，以X轴方向表示与Z轴方向及Y轴方向正交的接合部分103的长度方向。
[0041]如图1、2所示，超声波检查装置1具备发送部10和接收单元20。
[0042]发送部10具有向被检查体100发送超声波波束W的发送面10a。在本实施方式中，发送部10朝向作为被检查体100的包装容器的接合部分103发送超声波波束W。从发送部10发送的超声波波束W大致在容器用部件101重叠的方向上透过接合部分103。超声波波束W透过接合部分103的方向不是严格地仅限于容器用部件101的重叠方向(Z轴方向)，也可以是相对于容器用部件101的重叠方向倾斜的方向。
[0043]在本实施方式中，如图2所示，发送部10的发送面10a形成为从Y轴方向观察向Z轴正方向侧凹陷的圆弧状。另外，如图1所示，发送面10a在Y轴方向上直线状地延伸。因此，从Y轴方向观察的发送面10a的形状与Y轴方向的位置无关地不变化。即，本实施方式的发送面10a的形状是与圆柱的内周面的周向的一部分相同的形状。
[0044]通过发送面10a如上所述地形成，从发送部10的发送面10a发送的超声波波束W如图1、图2所示，随着朝向Z轴负方向在X轴方向上会聚(聚焦)，但在Y轴方向上不会聚。由此，超声波波束W在会聚的位置成为X轴方向上的长度小、Y轴方向上的长度大的线状。
[0045]接收单元20具有多个接收部21。各个接收部21具有接收面21a，该接收面21a接收透过了被检查体100的超声波波束W。接收面21a的面积有限制，使用超声波波束W的波长来表示。将超声波波束W的波长设为λ，接收面21a的面积例如是(10
×
λ)2以下。
[0046]例如，如图5所示，接收部21的接收面21a可以形成为正方形。在接收面21a的面积为(10
×
λ)2以下的情况下，接受面21a的一边长度l1可以是(10
×
λ)以下。需要注意的是，作为正方形的接收面21a的对角线的长度也可以为(10
×
λ)以下。
[0047]例如如图6所示，接收部21的接收面21a也可以形成为长方形。在接收面21a的面积为(10
×
λ)2以下的情况下，接收面21a的短边的长度l2可以为(10
×...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波检查装置，其特征在于，具备：发送部，其具有朝向被检查体发送超声波波束的发送面；多个接收部，其具有接收透过了所述被检查体的所述超声波波束的接收面，并根据规定的图案而排列；在使所述超声波波束的波长为λ时，所述接收面的面积为(10
×
λ)2以下。2.如权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，多个所述接收部以矩阵状或阵列状排列。3.如权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，形成为正方形的所述接收面的一边的长度为(10
×
λ)以下。4.如权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，形成为长方形的所述接收面的短边的长度为(10
×
λ)以下。5.如权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，形成为圆形的所述接收面的直径的长度为(10
×
λ)以下。6.如权利要求1～5中任一项所述的超声波检查装置，其特征在于，所述接收面的面积为(6
×
λ)2以下。7.如权利要求1～5中任一项所述的超声波检查装置，其特征在于，所述接收面的面积为(4
×
λ)2以下。8.如权利要求1～5中任一项所述的超声波检查装置，其特征在于，所述接收面的面积为(2
×
λ)2以下。9.如权利要求1～8中任一项所述的超声波检查装置，其特征在于，多个所述接收部相互隔开间隔地排列。10.如权利要求9所述的超声波检查装置，其特征在于，在相邻的所述接收部之间介入声学特...

【专利技术属性】
技术研发人员：奈良晃宽，小山孝生，
申请(专利权)人：雅马哈精密科技株式会社，
类型：发明
国别省市：