本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆键合设备中视觉对位装置的视觉机构，主要解决现有晶圆键合设备中视觉对位装置的视觉机构设计较为复杂、装置整体体积偏大的技术问题。所述晶圆键合设备中视觉对位装置的视觉机构包括机架、箱体、龙门架、上静...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆键合设备中视觉对位装置的预键合机构，主要解决现有晶圆键合设备中视觉对位装置的预键合机构结构复杂导致装置整体体积较大的技术问题。所述晶圆键合设备中视觉对位装置的预键合机构包括箱体，通过设于箱体侧...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆键合装置的开合机构，主要解决键合装置开闭操作效率低的技术问题。所述晶圆键合装置的开合机构包括机架、键合腔壳、盖体组件和开合驱动件，盖体组件包括盖板和安装板，盖板与安装板之间的安装空间以及安装板...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆键合装置的上键合机构，主要解决现有晶圆键合装置的上加热板冷却效率较低的技术问题。所述晶圆键合装置的上键合机构包括基板、上加热板、上冷却板和升降驱动件，在上加热板的上方设置环状的上冷却板，并通过...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆键合装置的下键合机构，主要解决现有键合台容易导致晶圆受压过大而损坏的技术问题。所述晶圆键合装置的下键合机构在下加热板的外侧设有倒置桶状的下键合台，下键合台的侧壁设有用以轴向缓冲的变形部，且下键...

本发明涉及升降机构技术领域，具体涉及一种用于真空腔体内部件的外置式升降机构，主要解决现有用以提升真空腔体内部件的升降结构容易影响腔体真空度的技术问题。外置式升降机构的升降杆与箱体底板之间通过滑动密封组件连接，滑动密封组件包括波纹管和法兰...

本技术涉及抬升装置技术领域，尤其涉及一种加热器抬升装置，解决了现有的抬升装置水平不易调节，承载力比较差，不能满足生产需求的技术问题，其包括顶板、底板、抬升支撑板、波纹密封管、陶瓷支撑筒、第一限位保护组件和第二限位保护组件，抬升支撑板位于...

本发明属于共烧多层陶瓷基板制造领域，具体涉及一种全自动高精度LTCC生瓷片贴膜装置及贴膜方法，包括收放膜组件、工作台组件、全自动上下料组件和整理台组件，通过控制收膜轴、放膜轴保持贴膜过程中张力恒定，进而提升覆膜精度；将微粘膜装入收放膜组...

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种小型动密封晶圆抓取防撞装置，包括传输腔腔体，传输腔腔体外壁上等间距开设有若干进料口，传输腔腔体内圆周壁上安装有晶圆抓取机构；晶圆抓取机构包括晶圆取放板、机械手小臂、机械手大臂和大臂驱动机构，大臂驱动...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种用于晶圆键合设备中的烘烤装置，主要解决现有晶圆烘烤装置效率较低的技术问题。本装置设有烘烤箱，烘烤箱的前侧壁设有操作窗口，烘烤箱内设有可独立升降的热盘载箱和顶撑机构，热盘载箱的前侧敞口且与烘烤箱的前...

本发明涉及一种用于生瓷片大压力填孔的网板升降装置，包括台板组件，台板组件包括台板和支撑方轴，支撑方轴竖直固定安装在台板上，还包括电机传动组件、网板升降传递组件、网板锁紧组件和填孔组件；电机传动组件为网板升降传递组件提供动力；网板升降传递...

本发明涉及晶体加工领域，尤其涉及一种新式SiC抗翘曲薄膜沉积工艺方法，在工艺开始阶段，会先对晶圆进行吸附，并检查真空度确保晶圆吸附平整无漏吸；在工艺过程中，加热台全程进行吸附，保证薄膜生长均匀性；在工艺结束后，增加应力释放环节，通过提高...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种用于晶圆键合设备中的键合装置，主要解决现有键合装置开闭操作效率低、冷却效率低以及易导致晶圆损坏的技术问题。本装置包括机架、腔壳、盖体组件、键合组件和冷却组件；盖板通过开合驱动件开启或闭合，在更换工...

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，主要解决现有视觉对位装置存在的体积偏大的技术问题。所述用于晶圆键合设备中的视觉对位装置包括箱体，通过设于箱体侧壁的操作窗口实现与机械手的对接，箱体内设有龙门架，通...

本发明涉及电机控制领域，公开了一种基于CIC滤波器的永磁同步电机位置参数估算方法及系统，该方法包括以下步骤：将永磁同步电机αβ轴下的电压和电流经坐标变换后得到γδ轴下的电压和电流，然后将γδ轴下的电压、电流以及同步锁相环反馈的速度估算信...

本发明涉及硅片切换设备领域，公开了一种电机顶升皮带横移变轨机构，包括，顶升组件包括基座和第一驱动源，基座上转动设置有转轴，转轴上同轴安装有偏心轴承，偏心轴承的外圆面上连接有连接部，连接部上设置有滑轨，滑轨上设置有滑块，第一驱动源的输出端...

本发明涉及多层陶瓷器件生产技术领域，尤其涉及一种多兼容性孔壁金属化印刷工作台，其中汇流板的顶部连接有盖板，盖板上设置有矩形通孔，矩形通孔通过十字交叉梁分隔为四个大面积真空区域；盖板上固定有外台，外台上设置小面积真空区域，每个小面积真空区...

本发明属于固体氧化物燃料电池生产技术领域，具体为一种用于燃料电池印刷工艺的柔性吸附机构，解决了弯曲变形材料印刷难度大、成品率低、生产效率低的技术问题，其包括工作台、底板、橡胶垫和金属框，工作台上设有产品吸附区，产品吸附区的周向设置有橡胶...

本发明涉及SiC衬底稳固技术领域，公开了一种PECVD用抗翘曲SiC衬底稳固装置，包括衬底加热铝盘，衬底加热铝盘上开设有第一顶针通孔，还包括陶瓷吸盘，陶瓷吸盘包括从上到下依次设置在衬底加热铝盘底部的吸盘上板和吸盘下板；吸盘上板上开设有第...

本发明属于陶瓷基板加工技术领域，具体为一种覆膜生瓷片叠片工艺的自动撕膜机构和方法。一种覆膜生瓷片叠片工艺的自动撕膜机构，包括切角单元、生瓷片预定位单元、下压台平移单元、撕膜单元、废料收集单元和底座，所述切角单元、生瓷片预定位单元、下压台...