本实用新型公开一种晶圆贴膜机，包括供料盒、收料盒、晶圆插放机械手和贴膜装置，贴膜装置包括拉膜机构、晶圆载台和切膜机构；供料盒和收料盒用于放置晶圆；晶圆插放机械手用于将供料盒的晶圆插放到晶圆载台，并将晶圆载台的晶圆插放到收料盒；拉膜机构包...

本实用新型公开一种晶圆贴膜贴片装置，包括输送线、贴膜装置和切膜装置；输送线用于传送晶圆和铁环，输送线上的晶圆处于铁环中央的镂空处；贴膜装置设置在输送线上方，包括贴膜架以及转动设置在贴膜架上的膜料卷和贴膜辊，膜料卷上卷绕有离型纸，离型纸一...

本实用新型公开一种晶圆的晶片数量计数打标机，包括机架，以及设置在机架上的上料盒、上料机械手、转运组件、计数打标组件、下料机械手和收料盒；上料盒内放置有扩膜件；上料机械手位于上料盒和转运组件上方，用于将上料盒内的扩膜件抓取移送到转运组件上...

本发明公开一种晶圆贴膜贴片机，包括铁环输送线，以及沿铁环输送线依次布置的铁环供料装置、晶圆供料装置、贴膜装置和切膜装置；铁环供料装置在铁环输送线上放置铁环，铁环沿铁环输送线传送，铁环中央具有镂空；晶圆供料装置在途径的铁环的镂空处放置晶圆...

本实用新型公开一种晶圆扩膜机，包括：转运装置，具有转运座；子环上料装置，包括子环上料机械手和放置有子环的子环供料区，子环上料机械手用于将子环供料区内的子环转运到转运座；铁环上料装置，包括铁环上料机械手和放置有铁环的铁环供料区，铁环上料机...

本实用新型公开一种晶圆扩张环清洗机，包括机架，以及设置在机架上的上药装置、静置装置、清洗装置、干燥装置和搬运机械手；上药装置包括上药座、上药驱动机构、毛刷和药液供给装置，上药座顶面供晶片扩张环放置，上药驱动机构用于驱动毛刷在上药座上方刷...

本实用新型公开一种晶圆称重排序机，包括机架，以及设置在机架上的晶圆料盒、中转料盒、电子秤、存储控制器和晶圆搬运机械手；晶圆料盒侧壁纵向阵列开设有多个晶圆插槽，每个晶圆插槽供一片晶圆插入放置；中转料盒上开设有多个中转插槽，每个中转插槽供一...

本实用新型公开一种晶圆刮边清洗机，包括机架，以及设置在机架上的上料料盒、刮边装置、清洗装置、甩干装置和搬运机械手组；上料料盒内放置有晶圆，并开设有取料口；刮边装置包括刮边座、刮刀驱动机构和旋转刮刀，刮边座顶面适于承载晶圆，刮刀驱动机构连...

本实用新型公开一种晶圆载盘，包括下载盘和上载盘；下载盘的上表面供至少一个晶圆放置，并在晶圆所在位置镂空形成有晶圆镀膜口，以供晶圆的底面露出下载盘；上载盘扣合固定在下载盘上方，用于将放置在下载盘上的晶圆夹紧在下载盘和上载盘之间，上载盘或下...

本实用新型公开一种芯片的聚量转移设备，包括粘性膜、离型纸、张紧胶辊、供给粘性膜的放料卷、供给离型纸的离型纸卷、同步卷入离型纸与粘性膜的收料卷、驱动收料卷旋转的收料电机，所述放料卷、离型纸卷、收料卷、张紧胶辊均对应设置有相互平行的转轴，所...

本实用新型公开一种铁环扩膜机，包括：安装架和扩膜装置，扩膜装置设置在安装架上；扩膜装置包括上部扩膜架和下部扩膜架；下部扩膜架埋设在安装架上，上部扩膜架可翻折地设置在安装架上，上部扩膜架位于下部扩膜架的上方；置环座架设在下部扩膜架顶部，置...

本实用新型公开一种全自动上下膜一体机，包括机架，机架由晶圆物料的加工顺序依次设置上料组件、条形取料机构、第一转盘、晶圆数量检测机构、脱模机构、第二转盘、贴膜机构、离型纸上料机构和成品处理组件；上料组件设置在机架右侧，晶圆物料盛放在所述上...

本实用新型公开一种全自动扩膜机，包括机架和机壳，机壳套设在机架外，还包括平行设置在机架两侧的大铁环架和小铁环架，大铁环架和小铁环架分别供大铁环和小铁环盛放，大铁环架和小铁环架的左侧均设置一个自动扩膜装置，一自动扩膜装置两侧分别滑设延伸至...

本实用新型公开一种蓝膜剥离装置，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构；第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构均包括...

本实用新型公开一种蓝膜打包装置，包括安装面板、打包膜架、拉膜机械手和夹膜移动架；打包膜架设置在安装面板一端，拉膜机械手架设在安装面板另一端的上方，夹膜移动架滑设在安装面板上；安装面板中部设置供打包成品落下的开口；拉膜机械手通过伸缩气缸抓...

本实用新型公开一种全自动铁环脱膜机，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有上料机构、送料机构、第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构、脱模机构、铁环收料装置和蓝膜打包装置；所述送料机构设置有红外检测器，所述第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机...

本实用新型公开全自动晶圆外观检测机，包括机架，所述机架上设置加工转盘，加工转盘设置有加工盘，所述加工转盘带动加工盘转动，其特征在于：所述加工盘沿转动方向依次经过上料工位、蓝膜检测工位、晶圆检测工位、不合格品收料工位和合格品收料工位；所述...

本实用新型公开一种全自动晶圆扫码装袋机，包括机架，所述机架上设置上料模组、加工转盘、扫码器、下料模组和装袋模组；所述加工转盘设置在机架中部，所述上料模组设置在加工转盘右侧，所述下料模组设置在加工转盘左侧，所述扫码器设置在加工转盘前侧，扫...

本发明公开一种铁环扩膜装置，包括：上部扩膜架和下部扩膜架；上部扩膜架可开合地设置于下部扩膜架的上方；上部扩膜架上安装有小铁环抓取机械手和压环圈，小铁环抓取机械手上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架上，小铁环抓取机械手下部为抓...

本实用新型公开一种全自动子母环脱膜机，包括机架，机架上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置、取料装置、预热加工位、上料机械手、脱膜装置、第二脱膜装置、晶圆成品盒、收料机械手、蓝膜打包装置和蓝膜收料桶；所述上料装置供待加工的子母环放置，所述...